手动的载片花篮装载机构的制作方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及装载平台，尤其涉及一种晶圆装载平台。
【背景技术】
[0002]随着半导体科技的发展，半导体设备的自动化和半自动化也得到了广泛的提高。对于晶圆装载平台自动化也算是比较成熟的技术了，但是由于其技术规格的垄断性，其装载平台极其昂贵。
【发明内容】
[0003]以下给出一个或多个方面的简要概述以提供对这些方面的基本理解。此概述不是所有构想到的方面的详尽综览，并且既非旨在指认出所有方面的关键性或决定性要素亦非试图界定任何或所有方面的范围。其唯一的目的是要以简化形式给出一个或多个方面的一些概念以为稍后给出的更加详细的描述之序。
[0004]本发明的目的在于解决上述问题，提供了一种手动的载片花篮装载机构，对于不要求高度自动化的设备，可极大降低生产成本。
[0005]本发明的技术方案为:本发明揭示了一种手动的载片花篮装载机构，包括上罩和固定的侧罩，上罩和侧罩通过设置在两侧的转轴连接，上罩可绕转轴旋转，从而达到打开和闭合装载机构的状态。
[0006]根据本发明的手动的载片花篮装载机构的一实施例，上罩上方有一把手，通过该把手控制上罩。
[0007]根据本发明的手动的载片花篮装载机构的一实施例，上罩上设有可视窗口。
[0008]根据本发明的手动的载片花篮装载机构的一实施例，可视窗口开设在上罩的上方和两个侧面。
[0009]根据本发明的手动的载片花篮装载机构的一实施例，装载机构还包括设置于机构底部的固定架，装载机构通过该固定架安装在其他设备上。
[0010]根据本发明的手动的载片花篮装载机构的一实施例，侧罩固定在固定架上。
[0011]根据本发明的手动的载片花篮装载机构的一实施例，侧罩的正前方和两侧面均为开口设计。
[0012]根据本发明的手动的载片花篮装载机构的一实施例，装载机构内设多组花篮卡点。
[0013]根据本发明的手动的载片花篮装载机构的一实施例，装载机构的衔接处设有密封圈。
[0014]根据本发明的手动的载片花篮装载机构的一实施例，装载机构的底板上设有传感器，检测是否有晶圆盒。
[0015]本发明对比现有技术有如下的有益效果:本发明可以在不要求高度自动化的情况下，有效节约成本。装载机构设计简单，很方便的实现打开和闭合的状态，便于载片花篮的放置和取出，并有一定的密封防护作用。
【附图说明】
[0016]图1示出了本发明的手动的载片花篮装载机构的较佳实施例的正视图。
[0017]图2示出了图1所示装载机构实施例的侧视图。
[0018]图3示出了图1所示装载机构实施例的斜视图。
[0019]图4示出了图1所示装载机构实施例的上罩打开的斜视图。
[0020]图5示出了图1所示装载机构实施例的内部视图。
[0021]附图标记:
[0022]I 上罩
[0023]2 侧罩
[0024]3 转轴
[0025]4固定架
[0026]5 晶圆
[0027]6 开口
[0028]7花篮卡点
[0029]10上罩把手
[0030]11可视窗口
【具体实施方式】
[0031]在结合以下附图阅读本公开的实施例的详细描述之后，能够更好地理解本发明的上述特征和优点。在附图中，各组件不一定是按比例绘制，并且具有类似的相关特性或特征的组件可能具有相同或相近的附图标记。
[0032]图1示出了本发明的手动的载片花篮装载机构的较佳实施例的正视图，图2和图3分别示出了装载结构的侧视图和斜视图。请同时参见图1至图3，本实施例的装载机构包括上罩I和固定的侧罩2，上罩I和侧罩2通过设置在两侧的转轴3连接。上罩I可绕转轴3旋转，从而达到打开和闭合装载机构的状态。
[0033]较佳的，在上罩I的上方设置一个上罩把手10，通过上罩把手10可以控制上罩的运作。上罩I的两个侧面和顶面共有3个可视窗口 11，可以通过可视窗口 11观察装载机构的内部状况。当然，也可以在侧罩2上设置把手，以方便提取装载机构。
[0034]此外，还可以在装载机构底部设置固定架4，侧罩2固定在固定架4上，且装载机构可以通过固定架4安装在其他的设备上。
[0035]如图4，其示出了装载机构处于打开状态，在侧罩2的正前方为开口 6，设备侧面同样也是开口，这样就达到了装载机构与设备内部连接的目的。
[0036]较佳的，在装载机构内设多组花篮卡点7(图示为4组)，载片花篮是业内通用花篮，尺寸和结构固定，这4组花篮卡点设置好后，载片花篮可以很方便的放置并固定在装载机构的内部，也可以很方便的取出。
[0037]此外，为了防止污染物产生并污染晶圆5，可以在装载机构的各个衔接处设置密封圈。并在装载机构的底板上安装传感器，用于检测是否有晶圆盒。
[0038]初始如图2所示,上罩I和侧罩2处于闭合状态,接着如图4所示,通过上罩I上的把手10打开上罩1，打开的方式是上罩I绕着两侧的轴3向外拉，上罩打开的状态请参见图4。载片花篮通过上罩打开的开口放置在装载机构中。较佳的，载片花篮通过机构内设的四组花篮卡点7固定位置。操作者可通过上罩I的位于两个侧面和顶面的这3个可视窗口11，观察内部情况。在装载结束后，合上上盖1，上盖I绕着转轴3闭合侧罩2。
[0039]提供对本公开的先前描述是为使得本领域任何技术人员皆能够制作或使用本公开。对本公开的各种修改对本领域技术人员来说都将是显而易见的，且本文中所定义的普适原理可被应用到其他变体而不会脱离本公开的精神或范围。由此，本公开并非旨在被限定于本文中所描述的示例和设计，而是应被授予与本文中所公开的原理和新颖性特征相一致的最广范围。
【主权项】
1.一种手动的载片花篮装载机构，其特征在于，包括上罩和固定的侧罩，上罩和侧罩通过设置在两侧的转轴连接，上罩可绕转轴旋转，从而达到打开和闭合装载机构的状态。2.根据权利要求1所述的手动的载片花篮装载机构，其特征在于，上罩上方有一把手，通过该把手控制上罩。3.根据权利要求1所述的手动的载片花篮装载机构，其特征在于，上罩上设有可视窗□。4.根据权利要求3所述的手动的载片花篮装载机构，其特征在于，可视窗口开设在上罩的上方和两个侧面。5.根据权利要求1所述的手动的载片花篮装载机构，其特征在于，装载机构还包括设置于机构底部的固定架，装载机构通过该固定架安装在其他设备上。6.根据权利要求5所述的手动的载片花篮装载机构，其特征在于，侧罩固定在固定架上。7.根据权利要求1所述的手动的载片花篮装载机构，其特征在于，侧罩的正前方和两侧面均为开口设计。8.根据权利要求1所述的手动的载片花篮装载机构，其特征在于，装载机构内设多组花篮卡点。9.根据权利要求1所述的手动的载片花篮装载机构，其特征在于，装载机构的衔接处设有密封圈。10.根据权利要求1所述的手动的载片花篮装载机构，其特征在于，装载机构的底板上设有传感器，检测是否有晶圆盒。
【专利摘要】本发明公开了一种手动的载片花篮装载机构，对于不要求高度自动化的设备，可极大降低生产成本。其技术方案为：装载机构包括上罩和固定的侧罩，上罩和侧罩通过设置在两侧的转轴连接，上罩可绕转轴旋转，从而达到打开和闭合装载机构的状态。
【IPC分类】H01L21/677, H01L21/673
【公开号】CN105225993
【申请号】CN201410236012
【发明人】雷强, 代迎伟, 张怀东, 王坚, 王晖
【申请人】盛美半导体设备（上海）有限公司
【公开日】2016年1月6日
【申请日】2014年5月30日