一种柔性双面异种光传感的有机光敏器件的制作方法
【专利说明】
【技术领域】
[0001]本发明涉及柔性有机光敏器件，尤其是一种柔性双面异种光传感的有机光敏器件。
【【背景技术】】
[0002]传统柔性有机光敏器件通常只能单面感光，如常见的有机光敏场效应管或光敏二极管，光敏有源层只有单面能传感光，无法同时双面传感和区分不同波长的光。并且传统有机光敏器件电极的电场透过性及光透过性不理想，这些因素限制了有机光敏器件的进一步应用。
[0003]与传统有机光敏器件相比，本发明提出的一种柔性双面异种光传感的有机光敏器件，基于纳米金属薄层实现了垂直方向电场传输和光传输，通过中间不透明有机柔性衬底施加电场可控制双面的有机光敏半导体A和有机光敏半导体B对不同波长的光分别传感。一种柔性双面异种光传感的有机光敏器件采用全柔性有机材料，可实现低成本大面积制备，且可贴附于不同形状物体的表面，实现双面不同波长光，即双面异种光，的光敏传感。
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【发明内容】
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[0004]本发明的目的在于克服传统有机光敏器件的不足，提出一种柔性双面异种光传感的有机光敏器件，可实现双面异种光的传感，且具备柔性和大面积的特点。
[0005]本发明的内容:一种柔性双面异种光传感的有机光敏器件由透明柔性有机衬底构成顶层和底层衬底，中间层衬底为不透明柔性有机衬底。底层和顶层之间的结构自下而上由氧化铟锡(ΙΤ0)、有机光敏半导体B、纳米金属薄层、有机绝缘层、ΙΤ0、不透明柔性有机衬底、ΙΤ0、有机绝缘层、纳米金属薄层、有机光敏半导体Α、ΙΤ0依次叠加。其中，纳米金属薄层厚度为1纳米，是接近10层原子厚度的金属材料作为电流传输层，该纳米金属薄层具有良好的电场透过率和光透过率。有机光敏半导体A和有机光敏半导体B是对不同波长的光敏感的有机半导体材料。
【【附图说明】】
[0006]图1是柔性双面异种光传感的有机光敏器件的结构示意图。其中:1为透明柔性有机衬底，2为ΙΤ0，3为有机光敏半导体A，4为有机光敏半导体B，5为有机绝缘层，6为纳米金属薄层，7为不透明柔性有机衬底，
【【具体实施方式】】
[0007]本发明制备过程如下:
[0008]1)用标准工艺清洗不透明柔性有机衬底；
[0009]2)用CVD工艺在不透明柔性有机衬底上双面同时制备ΙΤ0;
[0010]3)用真空蒸发法在ΙΤ0上双面同时制备有机绝缘层；[0011 ]4)用真空蒸发法在有机绝缘层上双面同时制备纳米金属薄层；
[0012]5)用真空蒸发法在纳米金属薄层上分别制备有机光敏半导体A和有机光敏半导体B；
[0013]6)用CVD工艺在有机光敏半导体A和有机光敏半导体B上双面同时制备ΙΤ0;
[0014]7)双面贴附高清洁表面的透明柔性有机衬底。
【主权项】
1.一种柔性双面异种光传感的有机光敏器件，其特征在于:由透明柔性有机衬底构成顶层和底层衬底，中间层衬底为不透明柔性有机衬底。底层和顶层之间的结构自下而上由氧化铟锡(ITO)、有机光敏半导体B、纳米金属薄层、有机绝缘层、ITO、不透明柔性有机衬底、ITO、有机绝缘层、纳米金属薄层、有机光敏半导体A、ITO依次叠加。2.根据权利要求1所述的纳米金属薄层，其特征在于:厚度为1纳米，是接近10层原子厚度的金属材料。3.根据权利要求1所述的有机光敏半导体A和有机光敏半导体B，其特征在于:有机光敏半导体A和有机光敏半导体B是对不同波长光敏感的有机半导体材料。
【专利摘要】本发明公开了一种柔性双面异种光传感的有机光敏器件，由透明柔性有机衬底构成顶层和底层衬底，中间层衬底为不透明柔性有机衬底。底层和顶层之间的结构自下而上由氧化铟锡(ITO)、有机光敏半导体B、纳米金属薄层、有机绝缘层、ITO、不透明柔性有机衬底、ITO、有机绝缘层、纳米金属薄层、有机光敏半导体A、ITO依次叠加。其中，纳米金属薄层厚度为1纳米，是接近10层原子厚度的金属材料作为电流传输层，该纳米金属薄层具有良好的电场透过率和光透过率。有机光敏半导体A和有机光敏半导体B是对不同波长的光敏感的有机半导体材料。通过对不透明柔性有机衬底施加电场可控制双面的有机光敏半导体A和有机光敏半导体B对不同波长的光分别传感。该器件采用全柔性有机材料，可实现低成本大面积制备，且可贴附于不同形状物体的表面实现双面异种光传感。
【IPC分类】H01L51/44
【公开号】CN105489774
【申请号】CN201610044362
【发明人】唐莹, 张璇, 郑亚开, 韦一, 彭应全
【申请人】中国计量学院
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2016年1月19日