管式pecvd石墨舟工艺点上料装置的制造方法
【专利摘要】本发明涉及一种管式PECVD石墨舟工艺点上料装置，包括工艺点排布装置和工艺点移送装置，工艺点移送装置设置在工艺点排布装置的正上方。本发明使用工艺点排布装置对工艺点按石墨舟上工艺孔的位置在安装板上进行一一对应排布，将排布好的工艺点通过工艺点移送装置输送到下一工序进行工艺点的安装，工艺点的全部输送工序均通过机器自动完成，节省了人力，提高了安装效率，提高了劳动生产率。
【专利说明】
管式PECVD石墨舟工艺点上料装置
技术领域
[0001]本发明涉及太阳能电池片制造技术领域，尤其是涉及一种管式PECVD石墨舟工艺点上料装置。【背景技术】
[0002]在太阳能电池片的制造过程中，硅片进行其表面镀膜工序时，需要将未镀膜的硅片插入PECVD真空镀膜设备的载片器上，目前，载片器通常采用如图8所示的石墨舟，具体操作过程是:将硅片插入石墨舟并通过石墨舟工艺点定位于其上，然后，将载有硅片的石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备中，采用PECVD工艺对硅片进行镀膜。
[0003]现有的石墨舟工艺点主要由卡块和用于安装在石墨舟片安装孔中的柱体形安装部组成，卡块为两个且对称分布在安装部两端面上，卡块是自外向内渐缩的圆柱体，其端面与侧面之间采用圆弧过渡面，卡块的根部与安装部的端面之间分别形成用于卡合硅片的卡槽。现有的石墨舟在使用到30run(次)时，会出现边缘发白现象，且到后期愈发严重，且在做 MUL和NY工艺时，工艺点会烧焦，尤其是做MUL工艺时，工艺点烧焦加重，烧焦比例一度超过 30%。因此在日常生产中，管式PECVD石墨舟维修及维护较为频繁，现有的半自动石墨舟工艺点安装装置在石墨舟的工艺点上料时，是采用人工上料，由于石墨舟上的工艺孔较多，因此上料时需要较多的工艺点，若仅靠人工安装，人工工作量非常大，安装效率较低。
【发明内容】
[0004]本发明要解决的技术问题是:为了克服现有现有的半自动石墨舟工艺点安装装置在石墨舟的工艺点上料时，是采用人工上料，由于石墨舟上的工艺孔较多，因此上料时需要较多的工艺点，若仅靠人工安装，人工工作量非常大，安装效率较低的问题，提供一种管式 PECVD石墨舟工艺点上料装置。
[0005]本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种管式PECVD石墨舟工艺点上料装置，包括工艺点排布装置和工艺点移送装置，所述工艺点移送装置设置在所述工艺点排布装置的正上方。
[0006]进一步的，所述工艺点排布装置包括底座、安装板和振动料盘，所述安装板滑动安装在所述底座上，所述安装板通过移动装置驱动实现往复直线运动，两个所述振动料盘分别位于所述移动装置的两侧，所述安装板上开有若干与石墨舟上的工艺孔相对应的盲孔， 两个所述振动料盘的出料口分别与所述安装板同一端部的两个所述盲孔同轴设置。
[0007]进一步的，所述工艺点移送装置包括吸盘、驱动吸盘升降的升降装置和驱动吸盘移动的移动装置，所述吸盘通过吸盘安装板固定安装在所述升降装置上，所述吸盘为陶瓷吸盘，若干所述吸盘在所述吸盘安装板上的位置与石墨舟上的工艺孔的位置相对应，所述升降装置滑动安装在所述移动装置上。
[0008]为了便于在下一工序中，吸盘吸取工艺点，所述安装板上盲孔的深度小于工艺点的高度。
[0009]为了更准确的定位工艺点的位置，所述振动料盘的出料口的半径和盲孔的半径均与工艺点的半径相等，所述振动料盘的出料口与所述安装板的上表面贴合，工艺点从振动料盘出来后，可以直接落入盲孔内，避免了工艺点在落入盲孔的过程中工艺点的移动与竖立。
[0010]进一步的，为了简化本发明的整体结构，所述移动装置为丝杆驱动装置，包括丝杆，丝杆转动装置、具有滑槽的导轨和滑块，所述丝杆转动装置与所述丝杆固定连接，所述滑块与所述丝杆传动连接，所述滑块滑动安装在所述导轨内。
[0011]进一步的，为了简化本发明的整体结构，所述升降装置为推动缸。
[0012]本发明的有益效果是:本发明使用工艺点排布装置对工艺点按石墨舟上工艺孔的位置在安装板上进行一一对应排布，将排布好的工艺点通过工艺点移送装置输送到下一工序进行工艺点的安装，工艺点的全部输送工序均通过机器自动完成，节省了人力，提高了安装效率，提高了劳动生产率。【附图说明】
[0013]下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
[0014]图1是本发明的三维装配示意图；
[0015]图2是本发明的主视图；[〇〇16]图3是本发明中工艺点排布装置的三维装配示意图；
[0017]图4是本发明图3中A处的放大图；[〇〇18]图5是本发明中工艺点移送装置的三维装配示意图；
[0019]图6是本发明中安装板的三维示意图；
[0020]图7是本发明中吸盘与吸盘安装的三维装配示意图；
[0021]图8是石墨舟的俯视图。
[0022]图中:1.底座，2.安装板，3.振动料盘，4.盲孔，5.出料口，6.吸盘，7.丝杆，8.导轨， 9.电机，10.石墨舟，11.升降气缸，12.支架，13.吸盘安装板。【具体实施方式】
[0023]现在结合附图对本发明做进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。[〇〇24]如图1和图2所示的一种管式PECVD石墨舟工艺点上料装置，包括工艺点排布装置， 所述工艺点排布装置包括底座1、如图6所示的安装板2和振动料盘3,所述底座1上固定安装有两条开有滑槽的平行导轨8,所述安装板2下方固定安装有滑块，所述滑块滑动安装在所述导轨8上，所述底座1上转动安装有丝杆7,所述滑块与所述丝杆7传动连接，所述丝杆7通过电机9驱动转动，两个所述振动料盘3分别位于所述导轨8的两侧，如图3所示，所述安装板 2上开有若干与石墨舟10上的工艺孔相对应的盲孔4,所述盲孔4的深度略小于工艺点的高度，两个所述振动料盘3的出料口 5分别与所述安装板2同一端部的两个所述盲孔4同轴设置，如图4所示，为了更准确的定位工艺点的位置，所述振动料盘3的出料口 5的半径和盲孔4 的半径均与工艺点的半径相等，所述振动料盘3的出料口 5与所述安装板2的上表面贴合，工艺点从振动料盘3出来后，可以直接落入盲孔4内，避免了工艺点在落入盲孔4的过程中工艺点的移动与竖立。
[0025]所述底座1上通过支架12固定安装两条平行导轨8,支架12上转动安装丝杆7,丝杆 7通过电机9驱动转动，丝杆7上传动安装滑块，滑块滑动设置在导轨8上的滑槽内，滑块上固定安装升降气缸11，升降气缸11的伸出端穿过滑块，与如图7所示的吸盘安装板13固定连接，如图5所示，吸盘安装板13位于安装板2的正上方，吸盘安装板13上固定安装有吸盘6,若干所述吸盘6在所述吸盘安装板13上的位置与石墨舟10上的工艺孔的位置相对应，所述吸盘6为陶瓷吸盘。
[0026]工作工程:
[0027]1、将需要安装的工艺点放入振动料盘3内，启动振动料盘3,使工艺点进入振动料盘3的出料口 5。
[0028]2、本装置工作前，两个振动料盘3的出料口 5分别与安装板2同一端部的两个盲孔4 同轴设置，启动工艺点排布装置中的电机9，电机9驱动丝杆7转动，丝杆7带动安装板2移动， 振动料盘3的出料口5间歇性出料，出料的间隔时间相同，即安装板2移动一定距离后振动料盘3出料，保证工艺点准确落入安装板2上的盲孔4内。
[0029]3、在振动料盘3的出料□ 5出料七次后，安装板2上的盲孔4内均已装有工艺点，关闭振动料盘3的出料口 5。
[0030]4、安装板2在装满工艺点后，正好移动到吸盘安装板13的正下方，吸盘安装板13上的吸盘6与安装板2上的盲孔4一一对应，启动驱动吸盘安装板13升降的升降气缸11，升降气缸11伸出端带动吸盘安装板13向安装板2靠近，待吸盘6与工艺点接触后，关闭升降气缸11， 启动吸盘6，吸盘6将工艺点吸住，启动升降气缸11，升降气缸11伸出端回缩，带动吸盘安装板13复位，关闭升降气缸11。[〇〇31]5、启动工艺点排布装置中的电机9,电机9反转，带动安装板2复位，重复第2和第3步骤。
[0032]6、启动工艺点移送装置中的电机9，电机9转动，带动丝杆7转动，丝杆7转动，带动滑块移动，滑块带动吸盘安装板13向下移工序移动，移动到下移工序后，关闭电机9。
[0033]7、启动驱动吸盘安装板13升降的升降气缸11，升降气缸11伸出端伸出，带动吸盘安装板13向其正下方移动，待吸盘6移动到相应位置时，关闭吸盘6,使吸盘6上的工艺点下落。
[0034]8、启动工艺点移送装置中的电机9，电机9反动，带动丝杆7转动，丝杆7转动，带动滑块移动，滑块带动吸盘安装板13远离，进行复位，复位后关闭电机9。
[0035]以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
【主权项】
1.一种管式PECVD石墨舟工艺点上料装置，其特征在于:包括工艺点排布装置和工艺点 移送装置，所述工艺点移送装置设置在所述工艺点排布装置的正上方。2.如权利要求1所述的管式PECVD石墨舟工艺点上料装置，其特征在于:所述工艺点排 布装置包括底座(1)、安装板(2)和振动料盘(3)，所述安装板(2)滑动安装在所述底座(1) 上，所述安装板(2)通过移动装置驱动实现往复直线运动，两个所述振动料盘(3)分别位于 所述移动装置的两侧，所述安装板(2)上开有若干与石墨舟(10)上的工艺孔相对应的盲孔 (4)，两个所述振动料盘(3)的出料口(5)分别与所述安装板(2)同一端部的两个所述盲孔 (4)同轴设置。3.如权利要求2所述的管式PECVD石墨舟工艺点上料装置，其特征在于:所述工艺点移 送装置包括吸盘(6)、驱动吸盘(6)升降的升降装置和驱动吸盘(6)移动的移动装置，所述吸 盘(6)固定安装在所述升降装置上，所述升降装置滑动安装在所述移动装置上。4.如权利要求2所述的管式PECVD石墨舟工艺点上料装置，其特征在于:所述安装板(2) 上盲孔(4)的深度小于工艺点的高度。5.如权利要求2所述的管式PECVD石墨舟工艺点上料装置，其特征在于:所述振动料盘 (3)的出料口(5)的半径和盲孔(4)的半径均与工艺点的半径相等，所述振动料盘(3)的出料 口(5)与所述安装板(2)的上表面贴合。6.如权利要求3所述的管式PECVD石墨舟工艺点上料装置，其特征在于:所述移动装置 为丝杆驱动装置，包括丝杆(7)，丝杆转动装置、具有滑槽的导轨(8)和滑块，所述丝杆转动 装置与所述丝杆(7)固定连接，所述滑块与所述丝杆(7)传动连接，所述滑块滑动安装在所 述导轨(8)内。7.如权利要求3所述的管式PECVD石墨舟工艺点上料装置，其特征在于:所述升降装置 为推动缸。
【文档编号】H01L21/673GK105957922SQ201610483918
【公开日】2016年9月21日
【申请日】2016年6月27日
【发明人】邹海军, 吴佳俊, 吴俊 , 王少华
【申请人】常州亿晶光电科技有限公司