等离子体处理检测指示器的制造方法

等离子体处理检测指示器的制造方法
【专利摘要】本发明提供一种等离子体处理检测指示器，其为使用了纤维质基材、或含有着色颜料的合成树脂基材作为基材的等离子体处理检测指示器，其中，在等离子体处理中防止从基材以粉状产生微细的纤维片或着色颜料。本发明具体提供一种指示器，其为在基材的表面的一部分或全部上至少层叠了变色层的等离子体处理检测指示器，所述变色层在等离子体处理氛围下变色，其特征在于，(1)所述基材为纤维质基材、或含有着色颜料的合成树脂基材，(2)在所述基材与所述变色层之间具有包覆所述基材的所述表面的全部的树脂系或无机系的透明性包覆层。
【专利说明】
等离子体处理检测指示器
技术领域
[0001] 本发明涉及一种等离子体处理检测指示器。予以说明，本说明书中的等离子体处 理是指利用了等离子体的等离子体处理，所述等离子体是对等离子体产生用气体施加交流 电压、脉冲电压、高频、微波等而产生的，相应有低压等离子体及大气压等离子体这两者。
【背景技术】
[0002] 医院、研究所等中所使用的各种器材、器具等为了消毒及杀菌而被实施灭菌处理。 作为该灭菌处理之一，已知有等离子体处理(例如，非专利文献1的"使用了 3.3.1低压力放 电等离子体的灭菌实验"栏）。
[0003] 另外，等离子体处理不仅用于灭菌处理，而且还用于半导体元件的制造中的等离 子体干式蚀刻及电子零件等被处理物的表面的等离子体清洗。
[0004] 就等离子体干蚀刻而言，通常对配置于作为真空容器的反应腔室内的电极施加高 频功率，将导入至反应腔室内的等离子体产生用气体进行等离子体化，对半导体晶圆以高 精度进行蚀刻。另外，等离子体清洗通过除去析出或附着于电子零件等被处理物的表面的 金属氧化物、有机物、毛刺等来改善焊接性或软焊料的润湿性，从而提高粘接强度，或者改 善与密封树脂的密合性或润湿性。
[0005] 作为检测这些等离子体处理的完成的方法，已知有使用变色层在等离子体处理氛 围下变色的等离子体处理检测指示器的方法。
[0006] 例如，在专利文献1中公开有:一种油墨组合物，其为含有1)蒽醌系色素、偶氮系色 素及酞菁系色素的至少1种以及2)粘合剂树脂、阳离子系表面活性剂及增量剂的至少1种的 等离子体处理检测用油墨组合物，其特征在于，用于所述等离子体处理的等离子体产生用 气体含有氧气及氮气的至少1种；以及一种等离子体处理检测指示器，其在基材上形成有包 含该油墨组合物的变色层。
[0007] 另外，在专利文献2中公开有:一种油墨组合物，其为含有1)蒽醌系色素、偶氮系色 素及次甲基系色素的至少1种以及2)粘合剂树脂、阳离子系表面活性剂及增量剂的至少1种 的不活泼气体等离子体处理检测用油墨组合物，其特征在于，所述不活泼气体含有选自由 氦气、氖气、氩气、氪气及氙气构成的组中的至少1种；以及一种等离子体处理检测指示器， 其在基材上形成有包含该油墨组合物的变色层。
[0008] 这些等离子体处理检测指示器为通过变色层的变色而能够判断等离子体处理的 完成的有用的指示器。而且，为了能够更可靠地判断变色层的变色的行为，作为基材，通常 使用可以隐蔽基底色的纤维质基材、或含有二氧化钛等着色颜料(隐蔽颜料)的合成树脂基 材。
[0009] 但是，在使用纤维质基材或含有着色颜料的合成树脂基材的情况下，有时在等离 子体处理中这些基材的表面受到等离子体的影响，而以粉状产生微细的纤维片或着色颜 料，在该微细的纤维片或着色颜料附着于变色层的情况下，可能对等离子体处理后的变色 层的变色的准确判断带来影响。
[0010]因此，期望一种等离子体处理检测指示器的开发，等离子体处理检测指示器使用 纤维质基材或含有着色颜料的合成树脂基材作为基材，在等离子体处理中防止从基材以粉 状产生微细的纤维片或着色颜料。 现有技术文献 专利文献
[0011] 专利文献1:日本特开2013-98196号公报 专利文献2:日本特开2013-95764号公报 非专利文献
[0012] 非专利文献 1: Journal of Plasma and Fusion Research Vol · 83，No · 7July 2007

【发明内容】
发明所要解决的课题
[0013] 本发明的主要目的在于，提供一种等离子体处理检测指示器，其为使用纤维质基 材或含有着色颜料的合成树脂基材作为基材的等离子体处理检测指示器，其中，在等离子 体处理中防止从基材以粉状产生微细的纤维片或着色颜料。 用于解决课题的方案
[0014] 本发明人为了实现上述目的，重复进行了深入研究，结果发现，在使用特定的透明 性包覆层包覆基材的情况下，可以实现上述目的，直至完成本发明。
[0015] g卩，本发明涉及一种下述的等离子体处理检测指示器。 1. 一种等离子体处理检测指示器，其为在基材的表面的一部分或全部上至少层叠了变 色层的等离子体处理检测指示器，所述变色层在等离子体处理氛围下变色，其特征在于， (1) 所述基材为纤维质基材或含有着色颜料的合成树脂基材， (2) 在所述基材与所述变色层之间具有树脂系或无机系的透明性包覆层，所述透明性 包覆层包覆所述基材的所述表面的全部。 2. 根据上述项1所述的指示器，其中，所述透明性包覆层的厚度为5μπι以上。 3. 根据上述项1或2所述的指示器，其中，所述变色层除含有通过在等离子体处理氛围 下化学结构变化而变色的变色色素之外，还含有在等离子体处理氛围下化学结构没有变化 的非变色色素。 4. 根据上述项1~3中任一项所述的指示器，其中，在所述基材与所述透明性包覆层之 间具有含有在等离子体处理氛围下化学结构没有变化的非变色色素的非变色层。 5. 根据上述项4所述的指示器，其中，按照夹持所述透明性包覆层并以相同形状重叠的 方式，层叠所述非变色层和所述变色层。 发明效果
[0016] 本发明的等离子处理检测指示器使用纤维质基材或含有着色颜料的合成树脂基 材作为基材，由于在基材与变色层之间具有包覆所述基材的变色层层叠面的全部的树脂系 或无机系的透明性包覆层，从而即使为未形成变色层的部分，也能缓和等离子体导致的对 基材的直接的影响(蚀刻作用）。因此，防止从基材以粉状产生微细的纤维片或着色颜料，能 够更准确地判断等离子体处理后的变色层的变色。另外，在基材的表面的全部形成有变色 层的情况下，且在除通过变色层的变色之外还通过变色层的消失(蚀刻作用导致的消失)来 判断等离子体处理的完成的情况下，在变色层消失后仍能缓和等离子体导致的对基材的直 接的影响，因此，防止了从基材以粉状产生微细的纤维片或着色颜料。
[0017] 另外，本发明的等离子体处理检测指示器由于具有透明性包覆层，从而能缓和等 离子体导致的对基材的直接的影响，因而，还具有能够防止基于等离子体处理的基材卷曲 的产生以及基材变色的产生这样的优异的效果。
[0018] 这些效果也在作为等离子体处理采用低压等离子体及大气压等离子中的任意者 时获得。
【附图说明】
[0019] 图1是表示本发明的等离子体处理检测指示器的一个方式的图。 图2是表示本发明的等离子体处理检测指示器的一个方式的图。
【具体实施方式】
[0020] 以下，对本发明的等离子体处理检测指示器进行详细说明。
[0021] 本发明的等离子体处理检测指示器（以下简称为"指示器"）为在基材的表面的一 部分或全部上至少层叠了变色层的指示器，上述变色层在等离子体处理氛围下变色，其特 征在于， (1) 上述基材为纤维质基材或含有着色颜料的合成树脂基材， (2) 在上述基材与上述变色层之间具有包覆上述基材的上述表面的全部的树脂系或无 机系的透明性包覆层。
[0022] 具有上述特征的本发明的指示器使用纤维质基材或含有着色颜料的合成树脂基 材作为基材，由于在基材与变色层之间具有包覆上述基材的变色层层叠面的全部的树脂系 或无机系的透明性包覆层，从而即使为未形成变色层的部分，也能够缓和等离子体导致的 对基材的直接的影响(蚀刻作用）。因此，防止从基材以粉状产生微细的纤维片或着色颜料， 能够更准确地判断等离子体处理后的变色层的变色。另外，在基材的表面的全部形成变色 层的情况下，且在除通过变色层的变色之外还通过变色层的消失(蚀刻作用导致的消失)来 判断等离子体处理的完成的情况下，在变色层的消失后仍能缓和等离子体导致的对基材的 直接的影响，因此，防止了从基材以粉状产生微细的纤维片或着色颜料。
[0023]另外，本发明的等离子体处理检测指示器由于具有透明性包覆层，从而能缓和等 离子体导致的对基材的直接的影响，因而，还具有能够防止基于等离子体处理的基材卷曲 的产生以及基材变色的产生这样的优异效果。
[0024]这些效果也在作为等离子体处理采用低压等离子体和大气压等离子中的任意者 时获得。
[0025] [基材] 本发明的指示器使用纤维质基材或含有着色颜料的合成树脂基材作为基材。基材的形 状没有限定，通常为片状或膜状。
[0026] 本发明中使用的基材具有隐蔽配置指示器的场所的基底色的特性，纤维质基材通 常为不透明，着色颜料为所谓的隐蔽颜料。
[0027] 作为纤维质基材，可举出例如：纸（优质纸、铜版纸、合成纸）、纤维类(无纺布、织 布、其它的纤维片）、它们的复合材料等。作为合成纸，可举出聚丙烯合成纸、聚乙烯合成纸 等合成树脂纤维纸。
[0028] 作为用于合成树脂基材的树脂，可举出例如:聚丙烯、聚氯乙烯、聚酯(对苯二甲酸 乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯等）、聚苯乙烯、聚乙烯、聚酰亚胺、聚酰胺、聚碳酸酯、聚丙 烯腈等合成树脂。这些合成树脂可以单独使用或混合使用2种以上。这些合成树脂中，特别 优选聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚乙烯、聚酰亚胺及聚丙烯中的至少1 种。
[0029] 作为合成树脂基材中含有的着色颜料，只要可以隐蔽配置指示器的场所的基底 色，就没有特别限定，可以根据指示器的使用条件而适当设定着色颜料的种类及添加量。作 为着色颜料的种类，例如，在将基材设为白色的情况下，可举出二氧化钛、碳酸钙、氧化锌等 着色颜料。作为着色颜料的粒径，为0.1~1〇μπι左右。一般而言，可以广泛使用市售品的着色 合成树脂片。
[0030] 基材的厚度没有限定，优选为0.1~0.5mm左右。
[0031][树脂系或无机系的透明性包覆层] 本发明的指示器具有包覆上述基材的变色层层叠面的全部的树脂系或无机系的透明 性包覆层。由此，即使为未形成变色层的部分，也能缓和等离子体导致的对基材的直接的影 响（蚀刻作用），防止从基材以粉状产生微细的纤维片或着色颜料。予以说明，如后所述，在 基材与透明性包覆层之间，根据需要可以设置在等离子体处理氛围下不变色的非变色层。 以下，使用图1及图2的例示进行说明。
[0032] 图1是在基材1的表面(一面）的一部分层叠了变色层3的方式，在基材1与变色层3 之间形成有包覆基材1的表面(一面)的全部的透明性包覆层2。图2是在基材1的表面(一面） 的一部分层叠了变色层3的方式，在基材1与变色层3之间形成有包覆基材1的表面(一面)的 全部的透明性包覆层2,进一步在基材1与透明性树脂层2之间重叠（同步)形成有与变色层3 相同形状的非变色层4。另外，如图1和图2所示，"基材1与变色层3之间"是指，不仅直接夹持 在基材1与变色层3之间的区域，还包括基材1的表面的未层叠变色层3的区域。
[0033] 在形成包覆基材的透明性包覆层时，可举出例如在基材表面(在形成非变色层的 情况下为基材及非变色层的表面）1)层压成为透明性包覆层的树脂系或无机系的膜的方 法、或2)涂布用于形成树脂系或无机系的透明性包覆层的涂液并使涂膜固化的方法等。
[0034] 关于上述1)层压成为透明性包覆层的树脂系或无机系的膜的方法，可举出例如： 根据需要使用公知的粘接剂层压聚丙烯、聚氯乙烯、聚酯（聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二 甲酸乙二醇酯等）、聚苯乙烯、聚乙烯、聚酰亚胺、聚酰胺、聚碳酸酯、聚丙烯腈等树脂系的 膜、或玻璃等无机系的膜的方法。粘接剂的种类或使用量可以根据基材及透明性包覆层的 材质而适当选择。
[0035] 关于上述2)涂布用于形成树脂系或无机系的透明性包覆层的涂液并使涂膜固化 的方法，例如根据涂液或固化方法的种类，可举出下述的蒸发干燥型、乳剂型、氧化聚合型、 热固化型、光固化型等。予以说明，在下述的方式中涂布条件及固化条件没有限定，可以根 据透明性包覆层的所期望的厚度及涂液的种类而适当设定。
[0036] 作为蒸发干燥型，可举出例如将在石油系溶剂、芳香族溶剂、脂肪族烃系溶剂、醇 系溶剂、酮系溶剂、酯系溶剂或水中溶解有松香、虫胶、酪蛋白、松香-马来酸树脂、醇酸树 月旨、纤维素衍生物、石油树脂、低分子聚乙烯、聚苯乙烯、聚醋酸乙烯酯、氯乙烯-醋酸乙烯酯 共聚物、聚丙烯酸酯系共聚物、改性橡胶、聚乙烯醇、聚乙烯基吡咯烷酮等的1种或2种以上 的溶液等涂布于基材上，并使其干燥固化的方法。此外，也可以举出将硅酸钠的水溶液(水 玻璃)涂布于基材上，并使其干燥固化的方法。
[0037]作为乳剂型，可举出例如将聚醋酸乙烯酯系、苯乙烯-丁二烯系、丙烯酸系的乳剂 涂布于基材上，并使其干燥固化的方法。
[0038]作为氧化聚合型，可举出例如将聚合亚麻籽油、桐油、脱水蓖麻油等干性油及大豆 油改性醇酸树脂、椰油改性醇酸树脂、亚麻籽油改性醇酸树脂等油改性醇酸树脂等涂布于 基材上，并使其氧化聚合固化的方法。
[0039] 作为热固化型，可举出例如将环氧树脂、醇酸树脂、丙烯酸树脂、二甲苯树脂、胍胺 树脂、酚醛树脂、不饱和聚酯树脂、聚氨酯树脂、马来酸树脂、三聚氰胺树脂、脲树脂等涂布 于基材上，并使其热固化的方法。
[0040] 作为光固化型，可举出例如将光聚合性丙烯酸系树脂、光固化性环氧树脂等、水溶 性合成树脂涂料水溶性醇酸树脂、水溶性三聚氰胺树脂、水溶性脲树脂、水溶性酚醛树脂、 水溶性丙烯酸树脂、水溶性环氧树脂、水溶性聚丁二烯树脂等涂布于基材上，并使其光固化 的方法。
[0041] 其中，特别优选聚酯系树脂、热固化树脂或光固化树脂。
[0042]透明性包覆层的厚度没有限定，厚度优选为5μπι以上，更优选为8~30μπι左右。其中 优选为10~25μηι左右。通过厚度为5μηι以上，可以更可靠地缓和等离子体对基材的直接的影 响。
[变色层]
[0043] 本发明的指示器在透明性包覆层上具有在使用了等离子体产生用气体的等离子 体处理氛围下变色的变色层。形成有变色层的区域相对于基材表面可以为一部分，也可以 为全部。相对于基材表面在一部分所形成的方式例示于图1及图2。予以说明，变色层可以层 叠于基材的一面或两面，但通常如图1及图2所示，层叠于基材的一面。
[0044] 予以说明，在变色层的"变色"中，除颜色变化为其它颜色的变色之外，也包含颜色 褪色或消色的情况。另外，作为通过变色层的变化来确认等离子体处理的完成的方法，并不 限于通过变色层的变色而判断的情况，也包含根据通过等离子体导致的蚀刻作用而变色层 缓慢地变薄，最终变色层消失来确认等离子体处理的完成的方法。在该情况下，为了在变色 层的消失后能够准确地判断在哪里形成变色层，以与变色层同步的方式在透明性包覆层下 形成非变色层的方式是有用的（图2)。
[0045] 在使用了上述等离子体产生用气体的等离子体处理氛围下变色的变色层可以通 过涂布含有因在等离子体处理氛围下化学结构变化而变色的着色剂(本说明书中称为"变 色色素"）的油墨组合物并使其干燥来形成。该油墨组合物可以广泛地使用公知的油墨组合 物，例如可以优选使用含有下述的着色剂、粘合剂树脂、表面活性剂、其它添加剂等的油墨 组合物。以下，对油墨组合物中所含的一般的成分例示地进行说明。 着色剂
[0046] 用于检测等离子体的变色层没有限定，例如可通过含有选自蒽醌系色素、偶氮系 色素、次甲基系色素、酞菁系色素、无色系色素(分子内具有内酯环的色素）、亚硝基色素、硝 基色素、冰染系色素(azoic dyes，重氮组分）、冰染系色素(偶联组分）、均二苯代乙烯系色 素、类胡萝卜素系色素、二芳基甲烧系色素、三芳基甲烧系色素、咕吨系色素、吖啶系色素、喹 啉系色素、噻唑系色素、吲达胺系色素、靛酚系色素、吖嗪系色素、噁嗪系色素、噻嗪系色素、 硫化系色素、内酯系色素、羟基酮系色素、氨基酮系色素、靛蓝系色素、天然系色素及氧化系 色素所构成的组中的1种着色剂(变色色素）的油墨组合物适当地形成。上述色素(也包含染 料)为通过在等离子体处理氛围下化学结构变化而变色的变色色素，可以使用1种或混合使 用2种以上。这些变色色素中，优选为蒽醌系色素、偶氮系色素、次甲基系色素、酞菁系色素 中的至少1种。
[0047] 蒽醌系色素只要以蒽醌为基本骨架，就没有限定，也可以使用公知的蒽醌系分散 染料等。特别优选具有氨基的蒽醌系色素。更优选为具有第一氨基及第二氨基的至少1种氨 基的蒽醌系色素。该情况下，各氨基可以具有2个以上，这些物质可以相互同种或不同。
[0048] 更具体而言，可以举出例如：1，4-二氨基蒽醌(C. I.分散紫1 )、1 -氨基-4-羟基-2-甲基氨基蒽醌(C.I.分散红4)、1_氨基-4-甲基氨基蒽醌(C.I.分散紫4)、1，4_二氨基-2-甲 氧基蒽醌(C.I.分散红11)、1_氨基-2-甲基蒽醌(C.I.分散橙11)、1_氨基-4-羟基蒽醌(C.I. 分散红15)、1，4，5，8-四氨基蒽醌(C. I.分散蓝1)、1，4-二氨基-5-硝基蒽醌(C. I.分散紫8) 等(括弧内为颜色指数名）。
[0049]除此之外，也可以使用作为C.I.溶剂蓝14、C.I.溶剂蓝35、C.I.溶剂蓝63、C.I.溶 剂紫13、C.I.溶剂紫14、C.I.溶剂红52、C.I.溶剂红114、C.I.还原蓝21、C.I.还原蓝30、C.I. 还原紫15、C.I.还原紫17、C.I.还原红19、C.I.还原红28、C.I.酸性蓝23、C.I.酸性蓝80、 C. I.酸性紫43、C. I.酸性紫48、C. I.酸性红81、C. I.酸性红83、C. I.活性蓝4、C. I.活性蓝19、 C.I.分散蓝7等已知的色素。
[0050] 这些蒽醌系色素可以单独使用或并用2种以上。这些蒽醌系色素中，优选C.I分散 蓝7、C.I分散紫1等。另外，本发明中，也可以通过改变这些蒽醌系色素的种类(分子结构等） 而进行检测灵敏度的控制。
[0051] 偶氮系色素只要具有偶氮基-N=N-作为显色团，就没有限定。可举出例如:单偶氮 色素、多偶氮色素、金属络盐偶氮色素、均二苯代乙烯偶氮色素、噻唑偶氮色素等。更具体而 言，如果用颜色指数名记载，则可以举出：C. I.溶剂红1、C. I.溶剂红3、C. I.溶剂红23、C. I. 分散红13、C. I.分散红52、C. I.分散紫24、C. I.分散蓝44、C. I.分散红58、C. I.分散红88、 C. I.分散黄23、C. I.分散橙1、C. I.分散橙5、C. I.分散红167:1等。这些物质可以使用1种或2 种以上。
[0052]作为次甲基系色素，只要是具有次甲基的色素即可。因此，在本发明中，聚次甲基 系色素、花青系色素等也包含在次甲基系色素中。这些物质可以从公知或市售的次甲基系 色素中适当采用。具体而言，可以举出：C.I.碱性红12、C.I.碱性红13、C.I.碱性红14、C.I. 碱性红15、C. I.碱性红27、C. I.碱性红35、C. I.碱性红36、C. I.碱性红37、C. I.碱性红45、 C. I.碱性红48、C. I.碱性黄11、C. I.碱性黄12、C. I.碱性黄13、C. I.碱性黄14、C. I.碱性黄 21、C. I.碱性黄22、C. I.碱性黄23、C. I.碱性黄24、C. I.碱性紫7、C. I.碱性紫15、C. I.碱性紫 16、(：.1.碱性紫20、(：.1.碱性紫21、(：.1.碱性紫39、(：.1.碱性蓝62、(：.1.碱性蓝63等。这些物 质可以使用1种或2种以上。
[0053] 作为酞菁系色素，只要是具有酞菁结构的色素，就没有限定。可以举出例如：蓝色 的铜酞菁、呈现带绿色的蓝色的无金属酞菁、绿色的高氯化酞菁、呈现带黄色的绿色的低氯 化酞菁(溴化氯化铜酞菁)等。具体而言，可以举出：C.I.颜料绿7、C.I.颜料蓝15、C.I.颜料 蓝15:3、C.I.颜料蓝15:4、C.I.颜料蓝15:6、C.I.颜料蓝16、C.I.颜料绿36、C.I.直接蓝86、 C.I.碱性蓝140、C.I.溶剂蓝70等。这些物质可以使用1种或2种以上。
[0054] 除上述一般的酞菁系色素以外，也可以利用具有锌、铁、钴、镍、铅、锡、锰、镁、硅、 钛、钒、铝、铱、铂及钌的至少1种作为中心金属，将这些中心金属配位于酞菁的化合物;进而 以在上述中心金属中键合有氧或氯的状态配位于酞菁的化合物等。
[0055] 上述着色剂的含量可以根据着色剂的种类、所期望的色相等而适当确定，但通常 优选在油墨组合物中设为0.05~5重量％左右，特别是0.1~1重量％。
[0056] 本发明中，也可以使上述着色剂以外的色素或颜料并存。特别是也可以含有在等 离子体处理氛围下化学结构没有变化的着色剂(本说明书中称为"非变色色素"）。由此，可 以根据从某种颜色向其它颜色的色彩的变化进一步提高视认效果。作为非变色色素，可以 使用公知的油墨(普通色油墨）。该情况下的非变色色素的含量只要根据非变色色素的种类 等适当设定即可。予以说明，在非变色色素中也包含在等离子体处理氛围下化学结构没有 变化的颜料。
[0057]油墨组合物除上述着色剂之外，优选含有粘合剂树脂、非离子系表面活性剂、阳离 子系表面活性剂及增量剂中的至少1种。
[0058] 粘合剂树脂 作为粘合剂树脂，只要根据油墨组合物的涂布面(透明性包覆层）的种类适当选择即 可，可以直接采用例如笔记用、印刷用等油墨组合物中使用的公知的树脂成分。具体而言， 可以举出例如：马来酸树脂、酮树脂、烷基酚醛树脂、松香改性树脂、聚乙烯基醇缩丁醛树 月旨、纤维素系树脂、聚酯系树脂、苯乙烯马来酸树脂、苯乙烯丙烯酸树脂、丙烯酸系树脂等。 上述粘合剂树脂可以使用1种或2种以上。
[0059] 本发明中，可以特别优选使用纤维素系树脂。通过使用纤维素系树脂，即使在油墨 组合物中含有增量剂(二氧化硅等），也能够得到优异的定影性，可以有效地防止从透明性 包覆层的脱落、剥离等。另外，可以通过在油墨组合物的涂膜表面有效地产生多个裂缝而有 助于指示器的灵敏度提高。
[0060] 本发明中，作为粘合剂树脂的一部分或全部，除上述举出的树脂以外，可以使用含 氮高分子。含氮高分子除作为粘合剂的作用之外，发挥作为灵敏度强化剂的作用。即，通过 使用灵敏度强化剂，可以进一步提高等离子体处理检测的精度(灵敏度）。
[0061] 含氮高分子可以优选使用例如聚酰胺树脂、聚酰亚胺树脂、聚丙烯腈树脂、氨基树 月旨、聚丙烯酰胺、聚乙烯基吡咯烷酮、聚乙烯基咪唑、聚乙烯亚胺等合成树脂。这些物质可以 使用1种或2种以上。本发明中，优选使用聚乙烯基吡咯烷酮。聚酰胺树脂的种类、分子量等 没有特别限定，可以使用公知或市售的聚酰胺树脂。其中，可以优选使用作为亚油酸的二聚 物和二胺或多胺的反应产物(长链线状聚合物)的聚酰胺树脂。聚酰胺树脂为分子量4000~ 7000的热塑性树脂。这种树脂也可以使用市售品。
[0062] 粘合剂树脂的含量可以根据粘合剂树脂的种类、使用的着色剂的种类等而适当确 定，但通常在油墨组合物中优选设为50重量％左右以下，特别是5~35重量％。在使用含氮 高分子作为粘合剂树脂的情况下，油墨组合物中的含氮高分子的含量优选设为0.1~50重 量％左右，特别是1~20重量％。
[0063] 非离子系表面活性剂 非离子系表面活性剂作为变色促进剂起作用，通过与着色剂并用，可以得到更优异的 检测灵敏度。
[0064] 作为非离子系表面活性剂，使用通式(I)~(V)表示的非离子系表面活性剂的至少 1种。
[0065] 由下述通式（I)表示的非离子系表面活性剂为亚烷基二醇衍生物。
[0066] 【化学式1】 (I) Ri-X-(A0)n-R2
[0067] [其中，上述通式中，RlSR2分别独立地表示氢、碳原子数1~30的直链或支链的脂 肪族烃基。X表示氧或酯键。A0表示来自环氧化物的重复单元。η表示1~200的整数。]
[0068] 另外，由下述通式(II)表示的非离子系表面活性剂为聚甘油衍生物。
[0069] 【化学式2】
[0070] [其中，上述通式中，办、1?2及1?3分别独立地表示氢、碳原子数1~30的直链或支链的 脂肪族烃基。X表示氧或酯键。η表示1~200的整数。]
[0071] 上述通式（I)中，作为Α0(单体），可举出环氧乙烷、环氧丙烷、1，2_环氧丁烷、2,3_ 环氧丁烷、四氢呋喃、环氧苯乙烷等，作为Α0的聚合形态，可举出均聚物、由2种以上的Α0构 成的嵌段共聚物或无规共聚物。另外，通式（I)及（II)中，碳原子数为1~30当中，优选碳原 子数为1~22,更优选碳原子数为10~18，Χ优选为氧，η优选为1~100的整数。
[0072] 作为符合上述通式（I)或（II)的非离子系表面活性剂，具体而言，可举出聚乙烯二 醇（作为市售品的"PEG2000"等）（三洋化成工业株式会社制）、甘油、聚乙烯二醇-聚丙烯二 醇共聚物(作为市售品的"Epan 710"等）（第一工业制药株式会社制)等。
[0073]另外，上述中，还可举出心及此的至少一个被碳原子数1~30的直链或支链的脂肪 族烃基取代的聚合物作为优选的非离子系表面活性剂。
[0074]具体而言，可举出：聚氧乙烯（以下为Ρ0Ε)月桂基醚（作为市售品的"Emulgen 109P"等）、Ρ0Ε鲸蜡醚（作为市售品的"Emulgen 220"等）、Ρ0Ε油基醚（作为市售品的 "Emulgen 404"等）、Ρ0Ε硬脂基醚(作为市售品的"Emulgen 306"等）、Ρ0Ε烷基醚(作为市售 品的"Emu 1 g e n L S -110"）（以上，花王株式会社制）、P0E十三烷基醚（作为市售品的 "Finesurf TD-150"等）、单硬脂酸聚乙稀二醇(作为市售品的"Blaunon S-400A"等）（以上 为青木油脂工业株式会社制）、单油酸聚乙烯二醇(作为市售品的"非离子0-4"等）、四亚甲 基二醇衍生物（作为市售品的"Porisen DC-1100"等）、聚丁二醇衍生物（作为市售品的 "Uniol PB-500"等）、亚烷基二醇衍生物(作为市售品的"Unilube 50MB-5"等）（以上为日油 株式会社制）等）、P0E(20)辛基十二烷基醚(作为市售品的"Emalex 0D-20"等）、P0E(25)辛 基十二烷基醚(作为市售品的"Emalex 0D-25"等）（以上为日本EMULSION株式会社制)等。
[0075]由下述通式（III)及（IV)表示的非离子系表面活性剂为亚烷基二醇甘油酯衍生 物。
[0076]【化学式3】
[0077][其中，上述通式中，办、1?2及1?3分别独立地表示氢、碳原子数1~30的直链或支链的 脂肪族烃基。A0表示来自环氧化物的重复单元。a+b+c表示3~200的整数。]
[0078] 上述两通式中，作为A0(单体），可举出环氧乙烷、环氧丙烷、1，2-环氧丁烷、2，3-环 氧丁烷、四氢呋喃、环氧苯乙烷等，作为A0的聚合形态，可举出均聚物、由2种以上的A0构成 的嵌段共聚物或无规共聚物。另外，两通式中，碳原子数为1~30当中，优选为碳原子数1~ 22,更优选为碳原子数10~18，a+b+c优选为3~50的整数。
[0079] 作为符合上述通式（III)的非离子系表面活性剂，可举出例如心为异硬脂酸残基、 R2及R3为氢、A0(单体)为环氧乙烷的化合物，具体而言，可举出异硬脂酸Ρ0Ε甘油酯(作为市 售品的"UNIOX GM-30IS"等）（日油株式会社制）。
[0080] 作为符合上述通式（IV)的非离子系表面活性剂，可举出例如Ri~R3为异硬脂酸残 基、A0(单体)为环氧乙烷的化合物，具体而言，可举出三异硬脂酸Ρ0Ε甘油酯(作为市售品的 "UNIOX GT-30IS"等）（日油株式会社制）。
[0081] 由下述通式(V)表示的非离子系表面活性剂为乙炔二醇衍生物。
[0082] 【化学式4】 (V) Ri-X-(AO) p-R2-C=C-R3 = X-(AO) q-R4
[0083] [其中，上述通式中，及R4分别独立地表示氢、碳原子数1~30的直链或支 链的脂肪族烃基。X表示氧或酯键。A0表示来自环氧化物的重复单元。p+q表示0~20的整 数。]
[0084] 上述通式(V)中，作为A0(单体），可举出环氧乙烷、环氧丙烷、1，2_环氧丁烷、2,3_ 环氧丁烷、四氢呋喃、环氧苯乙烷等，作为A0的聚合形态，可举出均聚物、由2种以上的A0构 成的嵌段共聚物或无规共聚物。另外，通式（I)及（II)中，碳原子数为1~30当中，优选为碳 原子数1~22，X优选为氧，p+q优选为0~10的整数。
[0085] 作为符合上述通式(V)的非离子系表面活性剂，可举出例如心及以为氢、1?2及1?3为 >C(CH3)(i-C4H9)、X为氧、且p+q = 0的化合物，具体而言，可举出2,4,7,9-四甲基-5-癸炔-4,7-二醇（作为市售品的"Surfynol 104H"等）（Air Products Japan株式会社制）。
[0086]这些通式（I)~（V)表示的非离子系表面活性剂可以单独使用或混合使用2种以 上。
[0087]非离子系表面活性剂的含量可以根据其种类及使用的着色剂的种类等而适当确 定，考虑组合物中的保存性及变色促进效果，一般而言，在油墨组合物中优选设为0.2~10 重量％左右，特别是0.5~5重量％。
[0088] 阳离子系表面活性剂 作为阳离子系表面活性剂，没有特别限制，特别优选使用四烷基铵盐、异喹啉鑰盐、咪 唑鑰盐及吡啶鑰盐中的至少1种。这些物质也可以使用市售品。通过将阳离子系表面活性剂 与上述的着色剂并用，可以得到更优异的检测灵敏度。上述阳离子系表面活性剂可以使用1 种或2种以上。
[0089]四烷基铵盐中，优选烷基三甲基铵盐、二烷基二甲基铵盐等。具体而言，可举出：氯 化椰烷基三甲基铵、牛脂烷基三甲基氯化铵、山嵛基三甲基氯化铵、十四烷基三甲基氯化 铵、四甲基氯化铵、四丁基氯化铵、四丙基氯化铵、四甲基溴化铵、四丁基溴化铵、四丙基溴 化铵、三甲基-2-羟基乙基氯化铵、十六烷基三甲基氯化铵、月桂基三甲基氯化铵、硬脂基三 甲基氯化铵、二辛基二甲基氯化铵、二硬脂基二甲基氯化铵、烷基苄基二甲基氯化铵等。特 别优选山嵛基三甲基氯化铵、月桂基三甲基氯化铵等。
[0090] 作为异卩奎琳鐵盐，可举出例如：月桂基异卩奎琳鐵漠化物、十八烷基异卩奎琳鐵漠化 物、十八烷基异卩奎琳鐵氣化物、月桂基异卩奎琳鐵氣化物等。其中，特别优选月桂基异卩奎琳鐵 溴化物。
[0091] 作为咪唑鑰盐，可举出例如1-羟基乙基-2-油基咪唑鑰氯化物、2-氯-1，3-二甲基 咪唑鑰氯化物等。其中，特别优选2-氯-1，3-二甲基咪唑鑰氯化物。
[0092] 作为P比陡鐵盐，可举出例如：啦陡鐵氣化物、1-乙基P比陡鐵漠化物、十八烷基P比陡 鑰氯化物、十六烷基吡啶鑰氯化物、1-丁基吡啶鑰氯化物、N-正丁基吡啶鑰氯化物、十六烷 基P比陡鐵漠化物、N -十八烷基P比陡鐵漠化物、I-十二烷基P比陡鐵氣化物、3-甲基己基P比陡鐵 氯化物、4-甲基己基吡啶鑰氯化物、3-甲基辛基吡啶鑰氯化物、2-氯-1-甲基吡啶鑰碘化物、 3，4-二甲基丁基吡啶鑰氯化物、吡啶鑰-正十六烷基氯化物-水合物、N-(氰基甲基）吡啶鑰 氯化物、N-丙酮基吡啶鑰溴化物、1-(氨基甲酰基甲基）吡啶鑰氯化物、2-脒基吡啶鑰氯化 物、2-氨基吡啶鑰氯化物、N-氨基吡啶鑰碘化物、1-氨基吡啶鑰碘化物、1-丙酮基吡啶鑰氯 化物、N -丙酬基啦陡鐵漠化物等。其中，特别优选十八烷基啦陡鐵氣化物。
[0093] 阳离子系表面活性剂的含量可以根据上述表面活性剂的种类、使用的着色剂的种 类等而适当确定，但通常在油墨组合物中优选设为0.2~10重量％左右，特别优选设为0.5 ~5重量％。
[0094] 增量剂 作为增量剂，没有特别限制，可以举出例如膨润土、活性白土、氧化铝、二氧化硅、硅胶 等无机材料。除此之外，可以使用作为公知的体质颜料已知的材料。其中，优选为二氧化硅、 硅胶及氧化铝中的至少1种。特别更优选为二氧化硅。在使用二氧化硅等的情况下，特别是 可以在变色层表面有效地产生多个裂缝。其结果，可以进一步提高指示器的检测灵敏度。上 述增量剂可以使用1种或2种以上。
[0095] 增量剂的含量可以根据使用的增量剂或着色剂的种类等而适当确定，但通常在油 墨组合物中优选设为1~30重量％左右，特别是2~20重量％。
[0096] 其它的添加剂 油墨组合物可以根据需要适当配合溶剂、光聚合引发剂、流平剂、消泡剂、紫外线吸收 剂、表面调整剂等公知的油墨中所使用的成分。
[0097] 作为可以在本发明中使用的溶剂，通常只要是印刷用、笔记用等油墨组合物中使 用的溶剂，则均可以使用。例如可以使用醇或多元醇系、酯系、醚系、酮系、烃系、二醇醚系等 各种溶剂，只要根据使用的色素、粘合剂树脂的溶解性等适当选择即可。上述溶剂可以使用 1种或2种以上。
[0098] 溶剂的含量可以根据使用的溶剂或着色剂的种类等而适当确定，但通常在油墨组 合物中优选设为40~95重量％左右，特别是60~90重量％。
[0099] 作为本发明中能够使用的光聚合引发剂，只要是作为提高在等离子体处理氛围下 变色层所含的各种色素(也包含染料）的变色速度的变色促进剂起作用，就没有特别限定。 通过并用这样的光聚合引发剂，能够得到优异的检测灵敏度，并且通过调整光聚合引发剂 的含量，还能够控制变色速度。
[0100] 光聚合引发剂作为变色促进剂起作用的原理虽然并不详细，但光聚合引发剂被认 为通过在等离子体处理氛围下产生自由基而使色素结构变化(部分分解、键结切断等），进 而发挥变色促进效果。
[0101] 作为光聚合引发剂，虽没有限定，但优选为例如:选自烷基苯酮系光聚合引发剂、 酰基氧化膦系光聚合引发剂、茂钛系光聚合引发剂、苯乙酮系光聚合引发剂、二苯甲酮系光 聚合引发剂、硫杂蒽酮系光聚合引发剂、阳离子系光聚合引发剂及阴离子系光聚合引发剂 所构成的组中的至少1种。这些光聚合引发剂中，优选为烷基苯酮系光聚合引发剂及酰基氧 化膦系光聚合引发剂中的至少一种。
[0102] 光聚合引发剂的含量虽可根据其种类及所使用的色素种类等适当决定，但考虑油 墨组合物中的保存性及变色促进效果，一般为油墨组合物中约0.05~20重量％，特别优选 为1~10重量％。光聚合引发剂的含量超过20重量％的情况下，无法于油墨组合物中完全溶 解而有残留的可能性，此外，光聚合引发剂的含量不足0.05重量％的情况下，可能无法充分 发挥变色促进效果。
[0103] 本发明中的油墨组合物的各成分只要同时或依次配合并使用均质机、溶解棒等公 知的搅拌机均匀地混合即可。例如，首先在溶剂中依次配合上述着色剂、以及粘合剂树脂、 阳离子系表面活性剂及增量剂的至少1种(根据需要其它的添加剂），利用搅拌机进行混合、 搅拌即可。
[0104] 变色层的形成方法 变色层的形成可以使用上述油墨组合物、按照旋涂、狭缝涂敷、溶胶凝胶、喷雾、丝网印 刷、凹版印刷、胶版印刷、凸版印刷、柔性印刷等公知的印刷方法以及公知的涂布方法等来 进行。
[0105]变色层优选在其表面具有多个裂缝。即，优选在变色层的表面形成开放气孔，并多 孔质化。根据上述的构成，可以进一步提高等离子体处理检测的灵敏度。在该情况下，即使 在等离子体处理检测指示器的内部配置变色层，也可得到所期望的变色效果。特别是可以 通过使用纤维素系树脂作为本发明中的油墨组合物的粘合剂树脂而有效地形成裂缝。即， 通过纤维素系树脂的使用，可以维持良好的定影性，并且形成如上所述的裂缝。
[0106] 变色层的厚度没有限定，通常为1~ΙΟμπι左右。
[0107][非变色层] 本发明中，可以在基材与透明性包覆层之间形成含有在等离子体处理氛围下化学结构 没有变化的非变色色素的非变色层。将非变色层与变色层不同地设置的方式可以与在变色 层中除变色性色素之外还添加非变色性色素的方式进行二者择一的选择，但只要是在基材 与透明性包覆层之间形成非变色层的方式，就可以缓和等离子体的影响导致的非变色层的 脱色(蚀刻作用导致的物理脱色）的影响，因此，本发明中，优选与变色层不同地在基材和透 明性树脂层之间形成非变色层的方式。
[0108] 非变色层通常可以通过市售的普通色油墨来形成。可以使用例如水性油墨、油性 油墨、无溶剂型油墨等。在用于非变色层的形成的油墨中，也可以含有公知的油墨中所配合 的成分例如树脂粘合剂、增量剂、溶剂等。
[0109] 非变色层的形成与变色层的情况同样地操作即可。例如，可以使用普通色油墨，按 照丝网印刷、凹版印刷、胶版印刷、凸版印刷、柔性印刷等公知的印刷方法来进行。
[0110] 本发明中，只要能够确认等离子体处理的完成，则也可以将变色层和非变色层任 意组合。例如也可以按照通过变色层的变色而开始能够识别变色层与非变色层的色差的方 式形成变色层及非变色层，或者按照通过变色而开始变色层与非变色层的色差消失的方式 形成。此外，也可以通过变色层因等离子体的蚀刻作用而缓慢地变薄、最终变色层消失而非 变色层露出来确认等离子体处理的完成。本发明中，特别优选按照通过变色开始能够识别 变色层和非变色层的色差的方式形成变色层及非变色层。
[0111] 在要想能够识别色差的情况下，例如只要按照通过变色层的变色开始出现文字、 式样及记号中的至少1种的方式形成变色层及非变色层即可。本发明中，文字、式样及记号 包含显现变色的全部的信息。这些文字等只要根据使用目的等适当设计即可。
[0112] 另外，也可以将变色前的变色层和非变色层设为相互不同的颜色。例如也可以将 两者设为实质上相同颜色，变色后开始能够识别变色层与非变色层的色差(对比度）。
[0113] 本发明的指示器只要是使用等离子体产生用气体的等离子体处理，则均可以适 用。即，可以适用于低压等离子体处理和大气压等离子体处理这两者。
[0114]作为低压等离子体处理的具体例，可举出例如，平板显示器(液晶显示器等）的制 膜、灰化、清洗、表面改质等用途;半导体制造工序中的制膜、灰化、清洗、表面改质等用途； 安装基板或印刷电路板的清洗、表面改质等的用途;医疗器具等的杀菌用途;安装部件的清 洗、表面改质等用途等。
[0115] 此外，作为大气压等离子体处理的具体例，可举出例如：平板显示器(液晶显示器 等）的清洗、表面改质等用途;安装基板或印刷电路板的清洗、表面改质等用途;汽车、航空 机部件等的表面改质用途、医疗领域(牙科或外科)的消毒、杀菌、治疗等用途等。
[0116] 作为低压等离子体产生用气体，只要是通过在低压下施加交流电压、脉冲电压、高 频、微波等能够产生等离子体的气体，就没有限定，可举出例如氧气、氮气、氢气、氯气、过氧 化氢、氦气、氩气、硅烷、氨气、溴化硫、水蒸气、一氧化二氮、四乙氧基硅烷、四氟化碳、三氟 甲烷、四氯化碳、四氯化硅、六氟化硫、四氯化钛、二氯硅烷、三甲基镓、三甲基铟、三甲基铝 等。这些低压等离子体产生用气体可以单独使用或将2种以上混合使用。
[0117] 作为大气压等离子体产生用气体，只要是通过在大气压下施加交流电压、脉冲电 压、高频、微波等而能够产生等离子体的气体，就没有限定，可举出例如氧气、氮气、氢气、氩 气、氦气、空气等。这些大气压等离子体产生用气体可以单独使用或将2种以上混合使用。
[0118] 使用本发明的指示器时，具体而言，只要在使用等离子体产生用气体的等离子体 处理装置(具体而言，通过在含有等离子体产生用气体的氛围下施加交流电压、脉冲电压、 高频、微波等而产生等离子体来进行等离子体处理的装置）的内部或容纳于该内部的被处 理物中放置本发明指示器、并使其暴露于等离子体处理氛围下即可。该情况下，能够检测通 过放置于装置内的指示器的变色进行了规定的等离子体处理。 实施例
[0119] 以下示出实施例及比较例，进一步明确本发明的特征。予以说明，本发明并不限制 于实施例的方式。
[0120] 实施例1 准备厚度188μπι的白色PET膜"东洋纺制、Crisper K2323"作为基材，在基材上利用非变 色层形成用油墨"SAKATAINX制、Diatone Ecopure SOY HP J"形成厚度ΙΟμπι的非变色层。
[0121] 接着，在非变色层上干层压厚度25μπι的PET膜"Lintec制、PET25APL·^，由此形 成树脂系的透明性包覆层。
[0122] 接着，在透明性包覆层上使用变色层形成用油墨A形成厚度5μπι的变色层。
[0123] 经过以上的工序而制作指示器。 (变色层形成用油墨Α的组成）
[0124] 【表1】
[0125] 实施例2 准备厚度188μπι的白色PET膜"东洋纺制、Crisper K2323"作为基材，在基材上干层压厚 度25μπι的PET膜"Lintec制、PET25A ，由此形成树脂系的透明性包覆层。
[0126] 接着，在透明性包覆层上使用变色层形成用油墨B形成厚度5μπι的变色层。
[0127] 经过以上的工序而制作指示器。 (变色层形成用油墨Β的组成）
[0128] 【表2】
[0129] 实施例3 在实施例1中，利用聚酯树脂溶液"Die制、Sandoma"形成树脂系的透明性包覆层，除此 之外，与实施例1同样地操作，制作指示器。具体而言，重复6次使用上述聚酯树脂溶液进行 丝网印刷，由此形成厚度1〇μπι的透明性包覆层。
[0130] 实施例4 在实施例2中，利用聚酯树脂溶液"DIC制、Sandoma"形成树脂系的透明性包覆层，除此 之外，与实施例2同样地操作，制作指示器。具体而言，重复6次使用上述聚酯树脂溶液进行 丝网印刷，由此形成厚度1〇μπι的透明性包覆层。
[0131] 实施例5 在实施例1中，利用UV固化型树脂溶液"十条化工制、Ρ7-彳"形成树脂系 的透明性包覆层，除此之外，与实施例1同样地操作，制作指示器。具体而言，重复6次使用上 述UV固化型树脂溶液进行丝网印刷之后通过UV照射使其固化的操作，由此形成厚度ΙΟμπι的 透明性包覆层。
[0132] 实施例6 在实施例2中，利用UV固化型树脂溶液"十条化工制、Ρ7-彳"形成树脂系 的透明性包覆层，除此之外，与实施例2同样地操作，制作指示器。具体而言，重复6次使用上 述UV固化型树脂溶液进行丝网印刷之后通过UV照射使其固化的操作，由此形成厚度ΙΟμπι的 透明性包覆层。
[0133] 实施例7 在实施例1中，将树脂系的透明性包覆层变更为无机系的透明性包覆层(玻璃），除此之 外，与实施例1同样地操作，制作指示器。具体而言，使用3Μ制玻璃用粘着剂贴附厚度ΙΟμπι的 玻璃"松尾硝子工业制、C0VERGLASS"，由此形成透明性包覆层。
[0134] 实施例8 在实施例2中，将树脂系的透明性包覆层变更为无机系的透明性包覆层(玻璃），除此之 外，与实施例2同样地操作，制作指示器。具体而言，使用3M制玻璃用粘着剂贴附厚度ΙΟμπι的 玻璃"松尾硝子工业制、COVERGLASS"，由此形成透明性包覆层。
[0135] 比较例1 将在实施例1中不形成透明性包覆层的方式设为比较例1的指示器。
[0136] 比较例2 将在实施例2中不形成透明性包覆层的方式设为比较例2的指示器。
[0137] 试验例1(等离子体处理) 将各实施例及比较例中制作的指示器设置于高频等离子体装置"SUMC0制、ΒΡ-1"，分别 使用"〇2气体及CF4气体的混合气体"、"Ar气体"产生使等离子体，通过肉眼观察等离子体处 理后的基材的变化。
[0138] 观察的结果是，将在基材表面没有看到粉化的情况评价为〇，将在基材表面可看 到粉化的情况评价为X。将结果示于下述表3。 (使用混合气体时的低压等离子体处理条件） ?装置:平行平板高频等离子体装置BP-1 (SUMC0制） ? 〇2 气体：10ml/min，CF4 气体:5ml/min ?功率:75W，压力：lOOPa，功率距离：5〇mm ?处理时间：lOmin (使用Ar气体时的低压等离子体处理条件） ?装置:平行平板高频等离子体装置BP-1 (SUMC0制） ? Ar 气体：20ml/min ?功率：75W，压力：2〇Pa，功率距离：5〇mm ?处理时间：30min
[0139] 【表3】
[0140] 由表3的结果可知:形成了树脂系或无机系的透明性包覆层的本发明的指示器，在 等离子体处理后于基材表面没有看到粉化，但没有形成透明性包覆层的比较例的指示器， 在等离子体处理后于基材表面可看到粉化。
[0141] 另外，本发明的指示器在等离子体处理后未确认到基材卷曲的产生和基材变色， 但是，比较例的指示器在等离子体处理后确认到基材卷曲的产生和基材变色中的至少一 个。
[0142] 另外，试验例1是低压等离子体处理的情况下的结果，但是，即使在将等离子体处 理的种类改为大气压等离子体处理的情况下也能够获得相同的结果。 符号说明
[0143] 1.基材 2. 透明性包覆层 3. 变色层 4. 非变色层
【主权项】
1. 一种等离子体处理检测指示器，其为在基材的表面的一部分或全部上至少层叠了变 色层的等离子体处理检测指示器，所述变色层在等离子体处理氛围下变色，其特征在于， (1) 所述基材为纤维质基材或含有着色颜料的合成树脂基材， (2) 在所述基材与所述变色层之间具有树脂系或无机系的透明性包覆层，所述透明性 包覆层包覆所述基材的所述表面的全部。2. 根据权利要求1所述的指示器，其中， 所述透明性包覆层的厚度为5μπι以上。3. 根据权利要求1或2所述的指示器，其中， 所述变色层除含有通过在等离子体处理氛围下化学结构变化而变色的变色色素之外， 还含有在等离子体处理氛围下化学结构没有变化的非变色色素。4. 根据权利要求1~3中任一项所述的指示器，其中， 在所述基材与所述透明性包覆层之间具有非变色层，所述非变色层含有在等离子体处 理氛围下化学结构没有变化的非变色色素。5. 根据权利要求4所述的指示器，其中， 按照夹持所述透明性包覆层并以相同形状重叠的方式，层叠所述非变色层和所述变色 层。
【文档编号】H01L21/3065GK106030766SQ201580007914
【公开日】2016年10月12日
【申请日】2015年2月12日
【发明人】森麻里萌
【申请人】株式会社樱花彩色笔