基板传送装置用升降装置以及基板传送装置的制造方法
【专利摘要】本发明涉及一种基板传送装置用升降装置以及基板传送装置。所述基板传送装置用升降装置包括：升降单元，用于升降传送臂，以改变用于传送基板的所述传送臂所处的高度；第一升降引导部和第二升降引导部，相互并排配置，用于引导所述传送臂的升降；第一升降导块，包括结合于所述第一升降引导部的第一导槽；以及第二升降导块，包括结合于所述第二升降引导部的第二导槽，其中，所述第一导槽与所述第二导槽被配置成相互对置。
【专利说明】
基板传送装置用升降装置以及基板传送装置
技术领域
[0001]本发明涉及一种用于传送基板的基板传送装置用升降装置以及包括该升降装置的基板传送装置。
【背景技术】
[0002]通常，显示装置、太阳能电池、半导体元件等(以下称作:电子部件)等经过多个工序而制成。这种制造工序利用用于制造所述电子部件的基板(substrate)来实现。例如，所述制造工序可以包括用于在基板上沉积导体、半导体、介电体等薄膜的沉积工序、用于将沉积的薄膜形成为规定图案的蚀刻工序等。这种多个制造工序在实施相应工序的处理腔内进行。基板传送装置用于在所述多个处理腔之间传送所述基板。
[0003]图1是示出现有技术涉及的基板传送装置的方框示意图，图2是示出现有技术涉及的基板传送装置的升降部的示意图。
[0004]参照图1，现有技术涉及的基板传送装置I由以下部分构成:传送臂2，支撑基板，升降部3，用于升降所述传送臂2，以及旋转部8，用于旋转所述传送臂2。
[0005]所述传送臂2在支撑所述基板的状态下向腔室(未图示)传送所述基板。所述传送臂2沿着水平方向传送所述基板，所述传送臂2结合于所述升降部3。
[0006]所述升降部3升降所述传送臂2。通过所述升降部3升降所述传送臂2，所述基板也升降。所述升降部3结合于所述旋转部8。
[0007]所述旋转部8旋转所述升降部3。通过所述旋转部8旋转所述升降部3，所述传送臂2以及所述基板旋转。
[0008]参照图1以及图2，所述升降部3包括升降单元4、升降引导部5、升降导块6、支持部I。
[0009]所述升降单元4结合于所述旋转部8。所述升降单元4根据所述旋转部8的旋转而一同旋转。
[0010]所述升降引导部5结合于所述升降单元4。所述升降引导部5形成为沿着所述传送臂2的升降方向延伸。所述升降引导部5引导所述升降导块6。所述升降单元4可以结合有多个升降引导部5。例如，所述升降单元4结合有两个升降引导部5a、5b。结合于所述升降单元4的第一升降引导部5a和第二升降引导部5b相互并排配置。所述第一升降引导部5a和所述第二升降引导部5b相互隔开配置。由于所述第一升降引导部5a和所述第二升降引导部5b相互隔开配置，因此所述第一升降引导部5a和所述升降单元4结合的部分与所述第二升降引导部5b和所述升降单元4结合的部分相互具有第一间距GL。
[0011]所述升降导块6结合于所述升降引导部5。所述升降导块6沿着所述升降引导部5升降。所述第一升降引导部5a结合有第一升降导块6a，所述第二升降引导部5b结合有第二升降导块6b。
[0012]所述支持部7使所述升降导块6与所述传送臂2相连接。所述支持部7的一面结合有所述升降导块6，另一面结合有所述传送臂2。所述传送臂2可以结合有多个支持部7。即，所述升降引导部5、所述升降导块6以及所述支持部7依次配置为一列。所述传送臂2可以结合有支撑所述第一升降导块6a的第一支持部7a和支撑所述第二升降导块6b的第二支持部7b。根据所述第一升降引导部5a与所述第二升降引导部5b相互隔开配置，所述第一支持部7a与所述第二支持部7b也相互隔开配置。所述第一支持部7a和所述传送臂2结合的部分与所述第二支持部7b与所述传送臂2结合的部分相互具有第二间距BL。
[0013]根据所述升降引导部5、所述升降导块6以及所述支持部7依次配置为一列，所述第一间距GL与所述第二间距BL相同。
[0014]根据以上现有技术涉及的基板传送装置I，所述传送臂2传送所述基板，并且对所述升降部3与所述传送臂2之间的结合部施加荷重。这种荷重可以是基于扭矩的荷重，所述扭矩通过所述基板的荷重来使所述传送臂2朝向某一方向下垂而发生。尤其是所述支持部7和所述传送臂2结合的部分被施加较大荷重。由于所述支持部7包括所述第一支持部7a和所述第二支持部7b，因此在两个点上支撑所述传送臂2。当进行这种两点支撑时，支撑点之间的距离越远，就越能稳定地进行支撑。所述第一支持部7a和所述第二支持部7b按照所述第二间距BL隔开并且支撑所述传送臂2，为了增大所述第二间距BL，所述第一间距GL也需要增大。由于所述第一间距GL是所述第一升降引导部5a与所述第二升降引导部5b的间距，所以当增大所述第一间距GL时，所述升降单元4的尺寸也需要增大。当增大所述升降单元4的尺寸时，则加重对所述旋转部8施加的荷重，因此为了支撑所述升降单元4，所述旋转部8也需要增大。即，根据现有技术涉及的基板传送装置1，为了使所述支持部7稳定地支撑所述传送臂2，只能增大现有技术涉及的基板传送装置I的整体尺寸。当现有技术涉及的基板传送装置I的尺寸增大时，则现有技术涉及的基板传送装置I占据大量空间，因而存在用于设置现有技术涉及的基板传送装置I的作业空间的空间利用率下降的问题。
【发明内容】
[0015]所要解决的技术问题
[0016]本发明是为了解决所述问题而被提出的，用于提供一种既不增大尺寸又能使传送臂与升降部稳定结合的基板传送装置用升降装置以及包括该升降装置的基板传送装置。
[0017]技术方案
[0018]为了解决上述的技术问题，本发明可以包括如下的结构。
[0019]本发明涉及的基板传送装置用升降装置可以包括:升降单元，用于升降传送臂，以改变用于传送基板的所述传送臂所处的高度;第一升降引导部和第二升降引导部，结合于所述升降单元，相互并排配置，用于引导所述传送臂的升降；第一升降导块，包括结合于所述第一升降引导部的第一导槽，并且沿着所述第一升降引导部升降；以及第二升降导块，包括结合于所述第二升降引导部的第二导槽，并且沿着所述第二升降引导部升降。所述第一导槽与所述第二导槽可以被配置成相互对置。
[0020]本发明涉及的基板传送装置用升降装置可以包括:升降框架，可升降地结合有用于传送基板的传送臂;驱动部，结合于所述升降框架，提供用于升降所述传送臂的驱动力；外壳，用于阻止因所述传送臂升降而从所述驱动部产生的异物飞散；以及外壳支持部，形成为从所述升降框架突出，以支撑所述外壳。所述外壳支持部以及所述升降框架可以形成为一体。
[0021]本发明涉及的基板传送装置可以包括:传送臂，用于传送基板;升降装置，用于升降所述传送臂，以改变所述传送臂所处的高度;旋转部，用于旋转所述升降装置，以改变所述传送臂的朝向；以及移动部，用于沿着行驶方向移动所述旋转部。
[0022]在本发明涉及的基板传送装置中，所述升降装置可以包括:第一升降引导部和第二升降引导部，相互并排配置，用于引导所述传送臂的升降；第一升降导块，沿着所述第一升降引导部升降；以及第二升降导块，沿着所述第二升降引导部升降。所述第一升降引导部和所述第二升降引导部可以配置在所述第一升降导块与所述第二升降导块之间。
[0023]有益效果
[0024]根据本发明，可以获得如下效果。
[0025]本发明使第一升降导块与第二升降导块的间距大于第一升降引导部与第二升降引导部的间距，从而使支持部稳定地支撑传送臂。
【附图说明】
[0026]图1是示出现有技术涉及的基板传送装置的方框示意图。
[0027]图2是示出现有技术涉及的基板传送装置的升降部的示意图。
[0028]图3是本发明的第一实施例涉及的基板传送装置的立体示意图。
[0029]图4是本发明的第一实施例涉及的用于基板传送装置的升降装置的剖视示意图。
[0030]图5是本发明的第一实施例涉及的用于基板传送装置的升降装置的分解剖视示意图。
[0031]图6是示出本发明的第二实施例涉及的基板传送装置的立体图。
[0032]图7是示出图6的基板传送装置中的升降装置的立体图。
[0033]图8是示出图7的升降装置的剖视图。
【具体实施方式】
[0034]下面，参照附图，详细说明本发明涉及的基板传送装置的第一实施例。由于本发明的第一实施例涉及的基板传送装置用升降装置包含于本发明的第一实施例涉及的基板传送装置中，因此在说明本发明的第一实施例涉及的基板传送装置时一同予以说明。
[0035]本发明的第一实施例涉及的基板传送装置10传送基板S。例如，所述基板S用于制造显示装置、太阳能电池、半导体元件等电子部件。所述基板S可以是用于制造所述电子部件的玻璃基板。所述基板S也可以是金属(Metal)基板、聚酰亚胺(Polyimide)基板、塑料(Plastic)基板等。当所述电子部件为显示装置时，所述基板S也可以是由两张以上的基板相互粘合而成的粘合基板。所述基板S大致呈矩形板状，但是并非限定于此，还可以形成为其它形状。所述基板S在处理腔内经过沉积工序、蚀刻工序等制造工序而制成。本发明的第一实施例涉及的基板传送装置10将所述基板S传送至所述处理腔。本发明的第一实施例涉及的基板传送装置10将所述基板从用于保管所述基板S的基板盒传送至所述处理腔盒。另夕卜，本发明的第一实施例涉及的基板传送装置10在用于实施不同的制造工序的多个处理腔之间传送所述基板S。
[0036]参照图3以及图4，本发明的第一实施例涉及的基板传送装置10包括:传送臂20，用于传送基板S;升降装置100，用于升降所述传送臂20，以改变所述传送臂20所处的高度;旋转部30，用于旋转所述升降装置100，以改变所述传送臂20的朝向。
[0037]所述升降装置100可以包括:升降单元110，用于升降所述传送臂20;第一升降引导部120以及第二升降引导部130，结合于所述升降单元110;第一升降导块140，沿着所述第一升降引导部120升降;第二升降导块150，沿着所述第二升降引导部130升降。
[0038]所述第一升降引导部120和所述第二升降引导部130结合于所述升降单元110。所述第一升降引导部120和所述第二升降引导部130相互并排配置并且结合于所述升降单元110。所述第一升降引导部120与所述第二升降引导部130相互隔开第一间距GL并且结合于所述升降单元110。
[0039]所述第一升降导块140包括结合于所述第一升降引导部120的第一导槽141，所述第二升降导块150包括结合于所述第二升降引导部130的第二导槽151。所述第一升降引导部120插入于所述第一导槽141内，从而与所述第一升降导块140结合。所述第二升降引导部130插入于所述第二导槽151内，从而与所述第二升降导块150结合。
[0040]所述第一导槽141与所述第二导槽151相互对置。最终，所述第一升降引导部120和所述第二升降引导部130配置在所述第一升降导块140与所述第二升降导块150之间。因此，所述第一升降导块140与所述第二升降导块150之间的间距只能大于所述第一间距GL。另夕卜，所述第一升降导块140和所述第二升降导块150通过后述的多个支持部与所述传送臂20结合，根据所述第一升降导块140与所述第二升降导块150之间的间距大于所述第一间距GL，所述多个支持部与所述传送部20结合的部分之间的间距(以下称作:第二间距BL)也可以大于所述第一间距GL。
[0041]因此，本发明的第一实施例涉及的基板传送装置10可以获得如下作用效果。
[0042]第一，当所述传送臂20传送所述基板S时，则所述多个支持部与所述传送臂20结合的部分被施加较大荷重。通过将所述第二间距BL形成为大于所述第一间距GL，所述多个支持部可以稳定地支撑所述传送臂20。与现有技术相比，本发明的第一实施例涉及的基板传送装置10在没有增大所述第一间距GL的状态下，可以增大所述第二间距BL。因此，与现有技术相比，本发明的第一实施例涉及的基板传送装置10可以更加稳定地支撑所述传送臂20。因此，本发明的第一实施例涉及的基板传送装置10提高所述传送臂20与所述多个支持部之间的结合力，从而可以防止所述传送臂20与所述多个支持部因分离而破损。
[0043]第二，根据所述第一间距GL小于所述第二间距BL，可以缩小本发明的第一实施例涉及的基板传送装置10的整体尺寸。即，与现有技术相比，即使所述第二间距BL相同，也可以比现有技术缩短所述第一间距GL。所述第一间距GL为所述第一升降引导部120与所述第二升降引导部130之间的间距，当缩短所述第一间距GL时，则可以缩小结合有所述第一升降引导部120以及所述第二升降引导部130的所述升降单元110的尺寸。最终，由于缩小升降单元110的尺寸，本发明的第一实施例涉及的基板传送装置10的整体尺寸缩小。因此，本发明的第一实施例涉及的基板传送装置10所占据的空间减少，从而可以提高用于配置本发明的第一实施例涉及的基板传送装置10的作业空间的空间利用率。
[0044]下面，参照附图，对于所述传送臂20、所述升降装置100、所述旋转部30进行详细说明。
[0045]参照图3，所述传送臂20传送所述基板S。所述传送臂20支撑所述基板S，并且传送所述基板S。所述传送臂20在支撑所述基板S以前朝向所述基板S移动。所述传送臂20在支撑所述基板S以后，传送所述基板S。所述传送臂20可以直线传送所述基板S。所述传送臂20结合于所述升降装置100。
[0046]所述传送臂20可以包括臂底座21、臂单元22以及支持手23。
[0047]所述臂底座21可升降地结合于所述升降装置100。通过所述升降装置100来升降所述臂底座21。因此，可以改变所述传送臂20所处的高度。
[0048]所述臂单元22可移动地结合于所述臂底座21。所述臂单元22的一端与所述臂底座21结合，另一端与所述支持手23结合。所述支持手23可以根据所述臂单元22的移动而移动。所述臂单元22可以使所述支持手23直线移动。所述臂单元22可以包括至少一个臂机构。所述臂单元22利用朝向不同方向旋转的多个臂机构，可以使所述支持手23直线移动。只是，并非限定于此，还可以利用直线移动的臂机构来使所述支持手23直线移动。
[0049]所述臂单元22可以包括第一臂机构221以及第二臂机构222。所述第一臂机构221可旋转地结合于所述臂底座21。所述第一臂机构221的一端与所述臂底座21结合，另一端与所述第二臂机构222结合。所述第二臂机构222可旋转地结合于所述第一臂机构221。所述第二臂机构222的一端与所述第一臂机构221结合，另一端与所述支持手23结合。所述支持手23可旋转地结合于所述第二臂机构222。所述支持手23支撑所述基板S。所述第一臂机构221、所述第二臂机构222以及所述支持手23以不同旋转比旋转，并且可以使所述支持手23直线移动。因此，所述传送臂20可以直线传送被所述支持手23所支撑的所述基板S。
[0050]所述第一臂机构221和所述第二臂机构222相结合并且在不同高度上旋转。即，所述第一臂机构221结合于所述臂底座21的上面，所述第二臂机构222结合于所述第一臂机构221的上面。通过这种结合，所述第一臂机构221和所述第二臂机构222在不同高度上旋转。相反，所述第一臂机构221可以结合于所述臂底座21的下面，所述第二臂机构222可以结合于所述第一臂机构221的下面。此时，所述第一臂机构221和所述第二臂机构222在不同高度上旋转。
[0051]本发明的第一实施例涉及的基板传送装置10可以形成为能够传送多个基板S。此时，本发明的第一实施例涉及的基板传送装置10可以包括多个传送臂20。例如，当本发明的第一实施例涉及的基板传送装置10形成为能够传送两个基板S时，本发明的第一实施例涉及的基板传送装置10可以包括两个传送臂20。即，可以包括两个支持手23。两个传送臂20可以以升降方向为准相互并排配置并且结合于所述升降装置100。例如，一个传送臂20配置在下侧，另一个传送臂20配置在上侧。因此，两个支持手23能够以升降方向为准在不同高度上支撑并传送所述基板S。两个传送臂20中位于下侧的传送臂20在臂底座21上面设置有第一臂机构221，并且在第一臂机构221上面设置有第二臂机构222。相反，位于上侧的传送臂20在臂底座21下面设置有第一臂机构221，并且在第一臂机构221下面设置有第二臂机构222。
[0052]参照图3，所述升降装置100升降所述传送臂20。因此，所述升降装置100可以改变所述传送臂20所处的高度。所述升降装置100使所述传送臂20升降至由所述传送臂20拟支撑的基板S所处的高度。在所述传送臂20支撑所述基板S以后，所述基板S根据所述升降装置100升降所述传送臂20而升降。即，所述升降装置100使所述基板S升降至所述处理腔所处的高度。所述升降装置100能通过利用电动机和齿条以及小齿轮等的齿轮方式，升降所述传送臂20。只是，并非限定于此，所述升降装置100还能通过利用电动机和滑轮以及传送带等的传送带方式、利用电动机和滚珠丝杠等的滚珠丝杠方式、利用线圈和永久磁铁等的线性电动机方式，升降所述传送臂20。
[0053]参照图3至图5，所述升降装置100包括:升降单元110;第一升降引导部120以及第二升降引导部130，结合于所述升降单元110;第一升降导块140，沿着所述第一升降引导部120升降；第二升降导块150，沿着所述第二升降引导部130升降；第一支持部160，支撑所述第一升降导块140;第二支持部170，支撑所述第二升降导块150。
[0054]所述升降单元110升降所述传送臂20。所述升降单元110支撑所述升降引导部120、130。所述升降单元110可以呈柱状，从而能够支撑所述升降引导部120、130。即，所述升降单元110形成为沿着所述传送臂20的升降方向延伸。所述升降单元110结合有所述旋转部30和所述传送臂20。所述升降单元110与所述旋转部30结合，通过所述旋转部30来旋转。所述升降单元110结合有可升降的所述传送臂20。
[0055]所述升降单元110可以包括结合于所述旋转部30上的第一升降单元110a。所述升降单元110还可以包括可升降地结合于所述第一升降单元11 Oa上的第二升降单元11 Ob。所述第二升降单元IlOb结合有可升降的所述传送臂20。虽然未图示，但是可以省略所述第二升降单元110b。此时，所述传送臂20可升降地结合于所述第一升降单元110a。
[0056]所述第一升降引导部120和所述第二升降引导部130结合于所述升降单元110。所述第一升降引导部120和所述第二升降引导部130并排地结合于所述升降单元110。所述第一升降引导部120和所述第二升降引导部130相互隔开并且结合于所述升降单元110。所述第一升降引导部120和所述第二升降引导部130以第一间距GL隔开并且结合于所述升降单元110。所述第一升降引导部120和所述第二升降引导部130需配置在所述第一升降导块140与所述第二升降导块150之间，因此所述升降单元110形成有用于结合所述第一升降引导部120和所述第二升降引导部130的突出部111。所述突出部111从所述升降单元110朝向所述传送臂20突出。所述第一升降引导部120和所述第二升降引导部130结合于所述突出部111并且朝向不同方向突出。所述第一升降引导部120从所述突出部111朝向所述第一升降导块140突出。相反，所述第二升降引导部130从所述突出部111朝向所述第二升降导块150突出。
[0057]所述第一升降导块140与所述第一升降引导部120结合。所述第一升降导块140包括所述第一导槽141。所述第一升降引导部120插入于所述第一导槽141内，从而使所述第一升降引导部120与所述第一升降导块140结合。
[0058]所述第二升降导块150与所述第二升降引导部130结合。所述第二升降导块150包括所述第二导槽151。所述第二升降引导部130插入于所述第二导槽151内，从而使所述第二升降引导部130与所述第二升降导块150结合。
[0059]所述第一升降导块140和所述第二升降导块150配置成所述第一导槽141与所述第二导槽151相互对置。最终，所述第一升降引导部120和所述第二升降引导部130配置在所述第一升降导块140与所述第二升降导块150之间。
[0060]所述第一支持部160支撑所述第一升降导块140。所述第一支持部160使所述第一升降导块140与所述传送臂20相连接。所述第一支持部160使所述第一升降导块140与所述传送臂20的所述臂底座21相连接。
[0061]所述第一支持部160包括第一底座部件161、第一支持部件162。所述第一底座部件161和所述第一支持部件162支撑所述第一升降导块140的不同的面。所述第一底座部件161配置在所述第一升降导块140与所述传送臂20之间。所述第一底座部件161在所述第一升降导块140与所述传送臂20之间使所述第一升降导块140与所述传送臂20相连接。所述第一支持部件162从所述第一底座部件161突出形成。所述第一支持部件162从所述第一底座部件161朝向所述升降单元110突出形成。所述第一支持部件162可以在所述第一底座部件161的一端与另一端之间突出形成。所述第一支持部件162支撑所述第一升降导块140中的与形成有所述第一导槽141的部分相反的面。最终，所述第一升降导块140配置在所述第一支持部件162与所述第一升降引导部120之间。所述第一支持部件162支撑所述第一升降导块140，从而可以防止所述第一升降导块140与所述第一升降引导部120分离。即，所述第一支持部件162可以使所述第一升降引导部120与所述第一升降导块140更加稳定地结合。因此，根据本发明的第一实施例涉及的基板传送装置10，所述第一升降引导部120与所述第一升降导块140能够更加牢固地结合。
[0062]所述第一底座部件161与所述第一支持部件162利用挤压成型可以形成为一体。所述第一支持部件162支撑所述第一升降导块140，凭借从所述第一底座部件161突出的结构，可以承受较大荷重。因此，本发明的第一实施例涉及的基板传送装置10利用挤压成型，使所述第一底座部件161与所述第一支持部件162形成为一体，从而即使对所述第一支持部件162施加较大荷重，也能防止所述第一支持部件162与所述第一底座部件161分离。
[0063]所述第一支持部160可以包括贯穿所述第一底座部件161而形成的轻量槽163。所述第一支持部160结合于所述第一升降导块140以及所述传送臂20，利用所述第一支持部160的自重，对所述第一支持部160与所述第一升降导块140之间的结合部分以及所述第一支持部160与所述传送臂20之间的结合部分施加荷重。根据所述轻量槽163是贯穿所述第一支持部160而形成，可以减轻所述第一支持部160的重量。因此，所述轻量槽163可以减少对所述第一支持部160与所述第一升降导块140之间的结合部分以及所述第一支持部160与所述传送臂20之间的结合部分施加的荷重。
[0064]所述第一支持部160还可以包括贯穿所述第一底座部件161而形成的贯穿槽164，以使阻隔污染物质用的密封部件穿过所述第一底座部件161。所述第一升降导块140、所述第一支持部160需要边升降边移动，因而需要开放的移动空间。由于所述移动空间开放，在所述第一升降单元IlOa与所述第一升降导块140之间产生的污染物质会向外部飞散。当这种污染物质飞散至所述基板S时，则所述基板S作为残次品而无法使用。因此，为了阻隔这种移动空间，将密封部件配置在所述移动空间内。这种密封部件有可能妨碍所述第一升降导块140、所述第一支持部160的移动。因此，在所述第一支持部160上形成有所述贯穿槽164，以使所述密封部件可以贯穿其中。由于所述密封部件贯穿所述贯穿槽164，因此所述第一升降导块140、所述第一支持部160可以无妨碍地进行移动和升降。此时，所述密封部件可以阻隔所述移动空间，以阻止污染物质向外部飞散。
[0065]所述第二支持部170包括第二底座部件171、第二支持部件172。所述第二底座部件171和所述第二支持部件172支撑所述第二升降导块150的不同的面。所述第二底座部件171配置在所述第二升降导块150与所述传送臂20之间。所述第二底座部件171在所述第二升降导块150与所述传送臂20之间，使所述第二升降导块150与所述传送臂20相连接。所述第二支持部件172从所述第二底座部件171突出。所述第二支持部件172从所述第二底座部件171朝向所述升降单元110突出形成。所述第二支持部件172可以在所述第二底座部件171的一端与另一端之间突出形成。所述第二支持部件172支撑所述第二升降导块150中的与形成有所述第二导槽151的部分相反的面。最终，所述第二升降导块150配置在所述第二支持部件172与所述第二升降引导部130之间。所述第二支持部件172支撑所述第二升降导块150，从而可以防止所述第二升降导块150与所述第二升降引导部130分离。即，所述第二支持部件172可以使所述第二升降引导部130与所述第二升降导块150更加稳定地结合。因此，根据本发明的第一实施例涉及的基板传送装置10，所述第二升降引导部130与所述第二升降导块150能够更加牢固地结合。
[0066]所述第二底座部件171与所述第二支持部件172利用挤压成型可以形成为一体。所述第二支持部件172支撑所述第二升降导块150，凭借从所述第二底座部件171突出的结构，可以承受较大荷重。因此，本发明的第一实施例涉及的基板传送装置10利用挤压成型，使所述第二底座部件171与所述第二支持部件172形成为一体，从而即使对所述第二支持部件172施加较大荷重，也能防止所述第二支持部件172与所述第二底座部件171分离。
[0067]所述第二支持部170可以包括:轻量槽173，贯穿所述第二底座部件171而形成；贯穿槽174，贯穿所述第二底座部件171而形成，以使阻隔污染物质用的密封部件穿过所述第二底座部件171。用对于所述第一支持部160的所述轻量槽163和所述贯穿槽164的说明来替代对于所述轻量槽173和所述贯穿槽174的说明。
[0068]所述第一支持部160和所述第二支持部170分别使所述第一升降导块140以及所述第二升降导块150与所述传送臂20相连接。所述第一支持部160和所述第二支持部170相互隔开并且与所述传送臂20结合。所述第一支持部160和所述传送臂20结合的部分与所述第二支持部170和所述传送臂20结合的部分具有第二间距BL。所述第二间距BL最终意味着所述第一底座部件161和所述臂底座21结合的部分与所述第二底座部件171和所述臂底座21结合的部分之间的距离。所述第二间距BL与所述第一支持部160、所述第二支持部170以及所述传送臂20稳定地支撑所述基板S荷重的程度成正比。即，所述第二间距BL增大时，则所述第一支持部160、所述第二支持部170以及所述传送臂20之间的结合力增大。根据所述第一升降引导部120以及所述第二升降引导部130配置在所述第一升降导块140以及所述第二升降导块150之间，所述第二间距BL大于所述第一间距GL。
[0069]参照图3，所述旋转部30旋转所述传送臂20。所述传送臂20使所述支持手23以及被所述支持手23所支撑的基板S直线移动。所述旋转部30旋转所述传送臂20，从而可以改变所述支持手23以及所述基板S的移动方向。所述旋转部30与所述升降装置100结合。因此，所述旋转部30旋转时，则结合于所述旋转部30上的所述升降装置100以及结合于所述升降装置100的所述传送臂20旋转。
[0070]所述旋转部30可以包括旋转框架和使所述旋转框架旋转的驱动部。所述旋转框架与所述升降装置100结合。所述旋转框架以旋转轴为中心进行旋转。所述驱动部产生使所述旋转框架旋转的驱动力。所述驱动部使所述旋转轴旋转，从而使所述旋转框架旋转。所述驱动部可以包括:电动机，产生驱动力；减速器，调节电动机的驱动力后，传递给所述旋转轴。所述减速器放大所述电动机的驱动力后，传递给所述旋转轴。所述电动机和所述减速器可以利用滑轮和传送带来相连接。所述电动机与所述减速器还可以串联连接。
[0071]参照图3，本发明的第一实施例涉及的基板传送装置10还可以包括移动部40，所述移动部40使所述传送臂20沿着行驶方向移动。所述移动部40与所述旋转部30结合。根据所述移动部40使所述旋转部30移动，结合于所述旋转部30上的所述升降装置100以及所述传送臂20移动。最终，所述移动部40使被所述传送臂20所支撑的基板S沿着行驶方向移动。所述移动部40能通过利用电动机和齿条以及小齿轮等的齿轮方式来移动所述旋转部30。所述移动部40还能通过利用电动机和滑轮以及传送带等的传送带方式、利用电动机和滚珠丝杠等的滚珠丝杠方式、利用线圈和永久磁铁等的线性电动机方式来移动所述旋转部30。
[0072]下面，参照附图，详细说明本发明涉及的基板传送装置的第二实施例。由于本发明的第二实施例涉及的用于基板传送装置的升降装置包含于本发明的第二实施例涉及的基板传送装置中，因此在说明本发明的第二实施例涉及的基板传送装置的同时一同予以说明。
[0073]图6是示出本发明的第二实施例涉及的基板传送装置的立体图，图7是示出图6的基板传送装置中的升降装置的立体图，图8是示出图7的升降装置的剖视图。
[0074]本发明的第二实施例涉及的基板传送装置50用于传送基板S。所述基板S用于制造显示装置、太阳能电池、半导体元件等电子部件。例如，所述基板S可以是用于制造所述电子部件的玻璃基板。所述基板S也可以是金属(Metal)基板、聚酰亚胺(Polyimide)基板、塑料(Plastic)基板等。当所述电子部件为显示装置时，所述基板S也可以是由两张以上的基板相互粘合而成的粘合基板。本发明的第二实施例涉及的基板传送装置50可以在对所述基板S实施沉积工序、蚀刻工序等制造工序的多个处理腔之间传送所述基板S，。另外，本发明的第二实施例涉及的基板传送装置50也可以在所述多个处理腔以及用于储存所述基板S的盒之间传送所述基板S。
[0075]参照图6至图8，本发明的第二实施例涉及的基板传送装置50包括:传送臂60，用于传送所述基板S;升降装置90，用于升降所述传送臂60;旋转部70，用于旋转所述升降装置90;以及移动部80，用于移动所述旋转部70。
[0076]所述升降装置90包括:升降框架91，结合有可升降的所述传送臂60;驱动部92，结合于所述升降框架91;外壳93，用于阻止异物飞散；以及外壳支持部94，用于支撑所述外壳。
[0077]所述传送臂60在结合于所述升降框架91的状态下，通过所述驱动部92来升降。此时，所述外壳93阻止从所述驱动部92发生的异物飞散。
[0078]因此，本发明的第二实施例涉及的基板传送装置50可以阻止由所述驱动部92发生的异物飞散。因此，通过本发明的第二实施例涉及的基板传送装置50阻止异物飞散，能够防止所述基板S以及周边环境遭到污染，因而能够防止基板的质量下降。
[0079]下面，参照附图，对所述传送臂60、所述升降装置90、所述旋转部70以及所述移动部80进行具体说明。
[0080]所述传送臂60传送所述基板S。所述传送臂60结合于所述升降装置90。因此，根据所述升降装置90通过所述旋转部70来旋转，所述传送臂60能够一同被旋转。所述传送臂60可以包括臂底座61、臂主体62、臂单元63以及支持手64。
[0081]所述臂底座61可升降地结合于所述升降装置90。所述臂底座61通过所述升降装置90来升降。因此，可以改变所述传送臂60所处的高度。
[0082]所述臂主体62结合于所述臂底座61。当所述臂底座61的一侧结合于所述升降装置90时，所述臂主体62可以结合于所述臂底座61的另一侧。
[0083]所述臂单元63可移动地结合于所述臂主体62。所述支持手64可以根据所述臂单元63移动而一同移动。所述臂单元63可以使所述支持手64直线移动。此时，通过所述臂单元63直线移动，能够使所述支持手64直线移动。虽然未图示，但是通过所述臂单元63旋转移动，能够使所述支持手64直线移动。所述臂单元63可以包括第一臂机构63a以及第二臂机构63b ο
[0084]所述第一臂机构63a可移动地结合于所述臂主体62。所述第一臂机构63a能通过利用电动机和滚珠丝杠(Ball Screw)等的滚珠丝杠方式移动。所述第一臂机构63a还能通过利用电动机和齿条(Rack Gear)以及小齿轮(Pin1n Gear)等的齿轮方式、利用电动机和滑轮以及传送带等的传送带方式、利用线圈和永久磁铁等的线性电动机(Linear Motor)方式移动。当所述臂单元63表现为直线移动时，所述第一臂机构63a以能够直线移动的方式结合于所述臂主体62。当所述臂单元63表现为旋转移动时，所述第一臂机构63a可旋转地结合于所述臂主体62。
[0085]所述第二臂机构63b可移动地结合于所述第一臂机构63a。所述第二臂机构63b能通过利用电动机和滑轮以及传送带等的传送带方式移动。所述第二臂机构63b还能通过利用电动机和滚珠丝杠等的滚珠丝杠方式、利用电动机和齿条以及小齿轮等的齿轮方式、利用线圈和永久磁铁等的线性电动机方式移动。当所述臂单元63表现为直线移动时，所述第二臂机构63b以能够直线移动的方式结合于所述第一臂机构63a。当所述臂单元63表现为旋转移动时，所述第二臂机构63b可旋转地结合于所述第一臂机构63a。通过所述第二臂机构63b以及所述第一臂机构63a朝向相反方向旋转，能够使所述支持手64直线移动。
[0086]所述支持手64结合于所述臂单元63。所述支持手64根据所述臂单元63移动而进行直线移动，从而能够传送基板S ο所述支持手64可以结合于所述第二臂机构63b。
[0087]所述传送臂60可以传送多个所述基板S。此时，所述传送臂60可以包括多个所述第二臂机构63b以及多个所述支持手64。例如，所述传送臂60形成为能够传送两个所述基板S时，所述传送臂60可以包括两个所述第二臂机构63b以及两个所述支持手64。所述多个第二臂机构63b可以分别结合于所述第一臂机构63a并且分别位于以所述第一臂机构63a为准的相反侧。所述多个支持手64可以结合于所述多个第二臂机构63b并且分别位于以所述升降装置90使所述传送臂60升降的方向为准的不同高度上。
[0088]所述升降装置90升降所述传送臂60。因此，所述升降装置90能够改变所述传送臂60所处的高度。所述升降装置90包括所述升降框架91、所述驱动部92、所述外壳93以及所述外壳支持部94。
[0089]所述升降框架91结合于所述旋转部70上。所述传送臂60可升降地结合于所述升降框架91。所述升降装置90能够改变所述传送臂60所处的高度。
[0090]所述驱动部92结合于所述升降框架91。所述驱动部92提供用于使所述传送臂60升降的驱动力。所述驱动部92包括齿条921以及小齿轮922。
[0091]所述齿条921沿着所述传送臂60升降的升降方向结合于所述升降框架91。在所述齿条921的一面上形成有螺纹。所述齿条921通过螺纹与所述小齿轮922啮合。所述齿条921提供所述小齿轮922移动的路径。
[0092]所述小齿轮922结合于所述传送臂60。在所述小齿轮922的外面形成有螺纹。所述小齿轮922通过螺纹与所述齿条921啮合。因此，在所述小齿轮922与所述齿条921啮合的状态下，所述小齿轮922通过电动机(未图示)旋转，从而可以升降所述传送臂60。
[0093]根据所述传送臂60升降，所述外壳93阻止从所述驱动部92发生的异物飞散。所述外壳93结合于所述升降框架91。因此，本发明的第二实施例涉及的基板传送装置50阻止从所述驱动部92发生的异物向所述外壳93外部飞散。因此，由于本发明的第二实施例涉及的基板传送装置50能够阻止异物向所述外壳93外部飞散，能够防止所述基板S以及周边环境遭到污染，因而能够防止所述基板S的质量下降。
[0094]所述外壳支持部94为了支撑所述外壳93而从所述升降框架91突出形成。沿着所述传送臂60的升降方向，所述外壳支持部94与所述升降框架91形成一体。此时，所述外壳支持部94能够加强所述升降框架91的强度。因此，本发明的第二实施例涉及的基板传送装置50通过所述外壳支持部94支撑所述外壳93，能够防止所述外壳93摇晃。因此，本发明的第二实施例涉及的基板传送装置50能够防止根据所述外壳93摇晃而发生异物。因此，本发明的第二实施例涉及的基板传送装置50能够防止所述基板S以及周边环境被异物所污染，因而能够进一步防止所述基板S的质量下降。
[0095]另外，本发明的第二实施例涉及的基板传送装置50通过一体形成所述外壳支持部94与所述升降框架91，能够加强所述升降框架91的强度。因此，本发明的第二实施例涉及的基板传送装置50在传送所述基板S的过程中能够减少所述升降框架91发生弯曲等变形。因此，本发明的第二实施例涉及的基板传送装置50能够减少因所述升降框架91变形而对其维修维护所需的时间以及费用，进而能够防止所述传送臂60的升降路径变形，因而能够提高传送所述基板S的作业可靠性。
[0096]所述外壳支持部94包括用于设置所述驱动部92的设置槽941。所述设置槽941可以形成为从所述外壳支持部94朝向所述升降框架91方向凹陷。因此，本发明的第二实施例涉及的基板传送装置50通过将所述驱动部92设置于所述设置槽941内，能够防止所述驱动部92从所述升降装置90突出。因此，本发明的第二实施例涉及的基板传送装置50能够有助于使基板传送装置50小型化。
[0097]本发明的第二实施例涉及的基板传送装置50可以包括用于设置引导部95的引导设置部96以及隔尚部件97。
[0098]所述引导设置部96支撑用于引导所述传送臂60的升降的引导部95。所述引导设置部96形成为从所述升降框架91突出。所述引导设置部96包括第一引导设置部件961以及第二引导设置部件962。
[0099]所述第一引导设置部件961形成为从所述升降框架91突出。所述第一引导设置部件961形成于所述驱动部92的一侧。所述第一引导设置部件961沿着所述升降方向与所述升降框架91形成为一体。所述第二引导设置部件962形成为从所述升降框架91突出。所述第二引导设置部件962形成于所述驱动部92的另一侧。所述第二引导设置部件962沿着所述升降方向与所述升降框架91形成为一体。
[0100]因此，本发明的第二实施例涉及的基板传送装置50通过一体形成所述引导设置部96与所述升降框架91，能够加强所述升降框架91的强度。因此，在传送所述基板S的过程中，本发明的第二实施例涉及的基板传送装置50能够进一步减少所述升降框架91发生弯曲等变形。因此，本发明的第二实施例涉及的基板传送装置50不仅能够进一步减少因所述升降框架91变形而对其维修维护所需的时间以及费用，而且能够进一步防止所述传送臂60的升降路径变形，因而能够进一步提高传送所述基板S的作业可靠性。
[0101]另外，本发明的第二实施例涉及的基板传送装置50通过将所述引导部95设置于所述引导设置部96，能够防止所述引导部95摇晃。因此，在所述传送臂60沿着所述引导部95移动的过程中，本发明的第二实施例涉及的基板传送装置50能够防止所述升降路径摇晃。因此，本发明的第二实施例涉及的基板传送装置50能够提高传送所述基板S的作业准确性。
[0102]所述隔离部件97支撑所述外壳93，所述外壳93位于用于设置电缆拖链(未图示)的空间内，所述电缆拖链用于对所述驱动部92供电。为此，所述隔离部件97的一侧结合于所述升降框架91，另一侧结合于所述外壳93。因此，本发明的第二实施例涉及的基板传送装置50通过支撑所述升降框架91和所述外壳93，能够防止用于设置所述电缆拖链的空间上的所述外壳93摇晃。因此，本发明的第二实施例涉及的基板传送装置50能够防止因外壳93摇晃而导致所述基板S以及周边环境遭到污染，并且能够有助于加强所述外壳93的强度。
[0103]所述旋转部70旋转所述升降装置90。因此，所述旋转部70可以改变所述传送臂60的朝向。所述旋转部70可旋转地结合于所述移动部80。所述旋转部70在结合于所述移动部80的状态下以旋转轴为中心旋转，从而能够使所述升降装置90旋转。
[0104]所述移动部80使所述旋转部70沿着行驶方向移动。因此，所述移动部80能够使被所述传送臂60所支撑的基板S沿着行驶方向移动。所述移动部80包括行驶底座81以及行驶引导部82。
[0105]所述行驶底座81沿着所述行驶引导部82，朝向行驶方向移动。所述行驶底座81通过由驱动部(未图示)提供的驱动力，沿着行驶方向移动。例如，通过所述行驶底座81沿着行驶方向移动，能够使所述基板S沿着行驶方向传送。所述行驶底座81结合有所述旋转部70。
[0106]所述行驶引导部82沿着行驶方向设置。所述行驶引导部82提供所述行驶底座81移动的路径。所述行驶引导部82结合有所述行驶底座81。
[0107]本发明所属领域的技术人员应该明白，以上说明的本发明并非限定于前述的实施例以及附图，在不脱离本发明的技术思想的范围内可以进行各种替换、变形以及变更。
【主权项】
1.一种基板传送装置用升降装置，其特征在于，包括: 升降单元，使传送臂升降，以改变用于传送基板的所述传送臂所处的高度； 第一升降引导部和第二升降引导部，结合于所述升降单元，相互并排配置，用于引导所述传送臂的升降； 第一升降导块，包括结合于所述第一升降引导部的第一导槽，并且沿着所述第一升降引导部升降；以及 第二升降导块，包括结合于所述第二升降引导部的第二导槽，并且沿着所述第二升降引导部升降， 其中，所述第一导槽与所述第二导槽被配置成相互对置。2.根据权利要求1所述的基板传送装置用升降装置，其特征在于， 包括第一支持部，所述第一支持部支撑所述第一升降导块， 所述第一支持部包括支撑所述第一升降导块的不同的面的第一底座部件和第一支持部件。3.根据权利要求2所述的基板传送装置用升降装置，其特征在于， 所述第一支持部件突出形成在所述第一底座部件的一端与另一端之间。4.根据权利要求2所述的基板传送装置用升降装置，其特征在于， 所述第一支持部件支撑所述第一升降导块中的与所述第一导槽相反的面。5.根据权利要求2所述的基板传送装置用升降装置，其特征在于， 所述第一支持部包括轻量槽，所述轻量槽形成为贯穿所述第一底座部件。6.根据权利要求2所述的基板传送装置用升降装置，其特征在于， 所述第一支持部包括贯穿形成在所述第一底座部件上的贯穿槽，以使阻隔污染物质用的密封部件穿过所述第一底座部件。7.根据权利要求1所述的基板传送装置用升降装置，其特征在于， 包括第二支持部，所述第二支持部支撑所述第二升降导块， 所述第二支持部包括支撑所述第二升降导块的不同的面的第二底座部件和第二支持部件。8.根据权利要求7所述的基板传送装置用升降装置，其特征在于， 所述第二支持部包括:轻量槽，形成为贯穿所述第二底座部件，以减轻所述第二底座部件的重量；以及贯穿槽，贯穿形成在所述第二底座部件，以使阻隔污染物质用的密封部件穿过所述第二底座部件。9.根据权利要求1所述的基板传送装置用升降装置，其特征在于， 所述第一升降引导部和所述第二升降引导部配置在所述第一升降导块与所述第二升降导块之间。10.一种基板传送装置用升降装置，其特征在于，包括: 升降框架，可升降地结合有传送臂，所述传送臂用于传送基板； 驱动部，结合于所述升降框架，以提供升降所述传送臂所需的驱动力； 外壳，用于阻止因所述传送臂升降而从所述驱动部产生的异物飞散；以及 外壳支持部，形成为从所述升降框架突出，以支撑所述外壳， 其中，所述外壳支持部以及所述升降框架形成为一体。11.根据权利要求10所述的基板传送装置用升降装置，其特征在于， 所述驱动部包括:齿条，沿着所述传送臂升降的升降方向结合于所述升降框架；以及小齿轮，啮合于所述齿条， 所述外壳支持部包括用于设置所述齿条和所述小齿轮的设置槽。12.根据权利要求10所述的基板传送装置用升降装置，其特征在于， 包括引导设置部，设置有引导部，所述引导部用于引导所述传送臂的升降路径， 所述引导设置部包括:第一引导设置部件，形成为从所述升降框架突出并且位于所述驱动部的一侧；以及第二引导设置部件，形成为从所述升降框架突出并且位于所述驱动部的另一侧， 所述第一引导设置部件、所述第二引导设置部件以及所述升降框架形成为一体。13.根据权利要求10所述的基板传送装置用升降装置，其特征在于， 包括隔离部件，所述隔离部件的一侧结合于所述升降框架，另一侧结合于所述外壳，以使所述外壳自所述升降框架隔开。14.一种基板传送装置，其特征在于，包括: 传送臂，用于传送基板； 升降装置，用于升降所述传送臂，以改变所述传送臂所处的高度； 旋转部，用于旋转所述升降装置，以改变所述传送臂的朝向；以及 移动部，用于沿着行驶方向移动所述旋转部， 其中，所述升降装置包括: 第一升降引导部和第二升降引导部，相互并排配置，用于引导所述传送臂的升降； 第一升降导块，沿着所述第一升降引导部升降；以及 第二升降导块，沿着所述第二升降引导部升降， 所述第一升降引导部和所述第二升降引导部配置在所述第一升降导块与所述第二升降导块之间。
【文档编号】H01L21/677GK106062944SQ201580011368
【公开日】2016年10月26日
【申请日】2015年1月2日 公开号201580011368.0, CN 106062944 A, CN 106062944A, CN 201580011368, CN-A-106062944, CN106062944 A, CN106062944A, CN201580011368, CN201580011368.0, PCT/2015/5, PCT/KR/15/000005, PCT/KR/15/00005, PCT/KR/2015/000005, PCT/KR/2015/00005, PCT/KR15/000005, PCT/KR15/00005, PCT/KR15000005, PCT/KR1500005, PCT/KR2015/000005, PCT/KR2015/00005, PCT/KR2015000005, PCT/KR201500005
【发明人】金钟郁, 金祥铉, 金兑炫, 尹大奎
【申请人】现代重工业株式会社