新型石英缸的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体电子元器件制造技术领域，尤其涉及对石英缸提出的改进。
【背景技术】
[0002]目前，在日常生产过程中使用的石英缸酸液达到作业量需要排酸时，主要靠人工使用量勺或量杯挖出，即为费时费工。此外，人工的直接操作也带来了一定的安全隐患(主要由酸液溅出引起)。因此，如何定量、安全的对石英缸进行排酸，成为了本领域技术人员亟待解决的技术问题。
[0003]国家局曾于2014年2月5日公布了一份名为“一种晶片清洗加热石英缸”、申请号为“201310531220.2”的文献，该案中通过底部开口并设置阀门的方式进行排酸。然而，这样极易造成过量排酸或排酸不足两方面的问题(由阀门启、闭时机不好控制导致)；同时，此类排酸方式仍存在一定的安全隐患(由酸液自由下滴引起)。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型针对以上问题，提出了一种结构新型、使用方便，可实现多余酸液的定量排出、且安全性极高的新型石英缸。
[0005]本实用新型的技术方案为:包括顶部敞口的缸体，所述石英缸还包括虹吸组件，所述虹吸组件包括小管、大管、活塞、连杆和端盖；
[0006]所述大管固定连接在缸体的外壁上、且大管的底端延伸至缸体的下方，所述小管设在缸体内、且小管的底端与缸体的底面具有间隙，所述小管的顶端和大管的顶端相连通；所述活塞的外径与大管的内径一致、且滑动连接在大管内，所述连杆与活塞的底面固定连接、且伸出至大管的底口外，所述端盖套接在连杆上、且与大管的底端可拆卸的连接。
[0007]所述大管的下部设有泄流孔，所述泄流孔位于所述缸体的下方。
[0008]所述缸体的底面上还设有垫片，所述垫片的顶面呈倒锥面状、且锥面的中心位于所述小管的下方。
[0009]本实用新型在酸液注入时，可先卸下端盖并将活塞拉出，使得小管中的液面高度与缸体中一致；当需要排酸时，先往复拉动连杆，从而逐步排出大管和小管中的空气(如图2所示)；再下拉连杆，使得缸体中酸液被吸入大管中(如图3所示)，从而实现定量排酸(排出的酸液储存于大管中，从而通过活塞位置的调整实现对缸体内液面高度的精准控制)；最后，使用完成后需倒出酸液时，可直接卸出端盖和活塞(如图4所示)，从而利用虹吸远离全部导出缸体内的酸液。本实用新型具有使用方便、结构原理清晰，可实现多余酸液的定量排出、且安全性极高的特点。
【附图说明】
[0010]图1是本实用新型的结构示意图，
[0011]图2是图1的半剖图，
[0012]图3是本实用新型的使用状态参考图一，
[0013]图4是本实用新型的使用状态参考图二，
[0014]图5是本实用新型的使用状态参考图三；
[0015]图中I是缸体，2是小管，3是大管，30是泄流孔，4是活塞，5是连杆，6是端盖，7是垫片。
【具体实施方式】
[0016]本实用新型如图1-5所示，包括顶部敞口的缸体I，所述石英缸还包括虹吸组件，所述虹吸组件包括小管2、大管3、活塞4、连杆5和端盖6 ;
[0017]所述大管3固定连接在缸体I的外壁上、且大管3的底端延伸至缸体I的下方，所述小管2设在缸体I内、且小管2的底端与缸体I的底面具有间隙，所述小管2的顶端和大管3的顶端相连通；所述活塞4的外径与大管3的内径一致、且滑动连接在大管3内，所述连杆5与活塞4的底面固定连接、且伸出至大管3的底口外，所述端盖6套接在连杆5上、且与大管3的底端可拆卸的连接。
[0018]所述大管3的下部设有泄流孔30，所述泄流孔30位于所述缸体I的下方。这样，可通过增设的泄流孔避免端盖的频繁拆、装动作，大幅提升了工作效率。此外，当排酸量过大时，可通过泄流孔先完成部分酸液的排出(如图5所示)，再通过活塞位置的调整实现对缸体内液面高度的“精准”控制。
[0019]所述缸体I的底面上还设有垫片7，所述垫片7的顶面呈倒锥面状、且锥面的中心位于所述小管2的下方。这样，在酸液整体排出时，降低缸体中酸液的残余量，便于后续处理。
【主权项】
1.新型石英缸，包括顶部敞口的缸体，其特征在于，所述石英缸还包括虹吸组件，所述虹吸组件包括小管、大管、活塞、连杆和端盖； 所述大管固定连接在缸体的外壁上、且大管的底端延伸至缸体的下方，所述小管设在缸体内、且小管的底端与缸体的底面具有间隙，所述小管的顶端和大管的顶端相连通；所述活塞的外径与大管的内径一致、且滑动连接在大管内，所述连杆与活塞的底面固定连接、且伸出至大管的底口外，所述端盖套接在连杆上、且与大管的底端可拆卸的连接。
2.根据权利要求1所述的新型石英缸，其特征在于，所述大管的下部设有泄流孔，所述泄流孔位于所述缸体的下方。
3.根据权利要求1或2所述的新型石英缸，其特征在于，所述缸体的底面上还设有垫片，所述垫片的顶面呈倒锥面状、且锥面的中心位于所述小管的下方。
【专利摘要】新型石英缸。涉及半导体电子元器件制造技术领域。提出了一种结构新型、使用方便，可实现多余酸液的定量排出、且安全性极高的新型石英缸。包括顶部敞口的缸体，所述石英缸还包括虹吸组件，所述虹吸组件包括小管、大管、活塞、连杆和端盖；所述大管固定连接在缸体的外壁上、且大管的底端延伸至缸体的下方，所述小管设在缸体内、且小管的底端与缸体的底面具有间隙，所述小管的顶端和大管的顶端相连通；所述活塞的外径与大管的内径一致、且滑动连接在大管内，所述连杆与活塞的底面固定连接、且伸出至大管的底口外，所述端盖套接在连杆上、且与大管的底端可拆卸的连接。具有使用方便、结构原理清晰，可实现多余酸液的定量排出、且安全性极高的特点。
【IPC分类】H01L21-67
【公开号】CN204271053
【申请号】CN201420844253
【发明人】李运金, 王毅, 韩荣明
【申请人】扬州扬杰电子科技股份有限公司
【公开日】2015年4月15日
【申请日】2014年12月26日