一种硅片传输机械手的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及夹具技术领域，尤其涉及一种硅片传输机械手。
【背景技术】
[0002]手部机构最常见是夹持式与吸附式两种。抓取对象是圆形薄片，放置在平面上，夹持式机械手很难抓取起来。通常，采用负气压吸附式机械手比较合适的。半导体工艺对硅片加工面(即上表面)玷污程度有极高的要求。负气压吸附式机械手接触硅片上表面导致瑕疵与坏点增多，其多为橡胶或塑料材料，频繁接触高温处理中的硅片，会导致其加速老化。
【实用新型内容】
[0003]根据以上不足，本实用新型提供一种成本低、精度高且运行稳定可靠的硅片传输机械手。
[0004]为实现上述目的，本实用新型硅片传输机械手，主要内容为:包括壳体、后盖、活塞、滑块、弹簧、紧定螺钉、上螺钉、连接弹簧、下螺钉、销、沉头螺钉、爪片和限位块，其特征在于，所述壳体水平方向上均分布着三个光孔，所述三个活塞分别放置于壳体各光孔内且可以来回滑动，所述壳体径向加工有圆柱孔与各光孔相通，所述三个圆柱孔内都安装有紧定螺钉，所述弹簧安装在活塞内孔里，其左端顶在壳体圆柱孔内的紧定螺钉上，其右端顶在安装在活塞内孔里的紧定螺钉左端面上，所述后盖通过螺钉固定安装在壳体的上端面上，所述滑块卡装在活塞上，所述爪片通过沉头螺钉安装在滑块底部，所述限位块位于爪片上侧，所述爪片通过销定位安装在滑块底部，所述上螺钉安装在滑块螺纹孔内，所述连接弹簧上端连接在上螺钉上，其下端连接在下螺钉上。
[0005]作为优选，所述滑块与活塞为过盈配合，过盈量为0.008?0.015mm。
[0006]作为优选，所述活塞内孔左端为螺纹孔。
[0007]作为优选，所述壳体顶面加工有环形槽口。
[0008]作为优选，所述后盖底部有一环形定位凸台。
[0009]本实用新型有益效果是:保证了硅片精确、洁净的传输，而且运行稳定、重复精度高且机构简单。
【附图说明】
[0010]图1为本实用新型结构示意图；
[0011]附图标记说明:
[0012]1-壳体，2-后盖，3-活塞，4_滑块，5-弹費，6_紧定螺钉，7_上螺钉，8_连接弹費，9-下螺钉，10-销，11-沉头螺钉，12-爪片，13-限位块。
【具体实施方式】
[0013]下面结合附图及实施例描述本实用新型【具体实施方式】:
[0014]该系统主要内容为:包括壳体1、后盖2、活塞3、滑块4、弹簧5、紧定螺钉6、上螺钉7、连接弹簧8、下螺钉9、销10、沉头螺钉11、爪片12和限位块13，其特征在于，所述壳体I水平方向上均分布着三个光孔，所述三个活塞3分别放置于壳体I各光孔内且可以来回滑动，所述壳体I径向加工有圆柱孔与各光孔相通，所述三个圆柱孔内都安装有紧定螺钉6，所述弹簧5安装在活塞3内孔里，其左端顶在壳体I圆柱孔内的紧定螺钉6上，其右端顶在安装在活塞内孔里的紧定螺钉6左端面上，所述后盖2通过螺钉固定安装在壳体I的上端面上，所述滑块4卡装在活塞3上，所述爪片12通过沉头螺钉11安装在滑块4底部，所述限位块13位于爪片12上侧，所述爪片12通过销10定位安装在滑块4底部，所述上螺钉7安装在滑块4螺纹孔内，所述连接弹簧8上端连接在上螺钉7上，其下端连接在下螺钉9上。
[0015]所述机械手模拟指甲结构，有三个120°均匀分布爪片12 ;抓取状态下，爪片12在驱动力作用下收缩并紧贴地面滑行，从硅片侧面楔入下表面与接触面之间，三个限位块13互成120度地均匀地去接触硅片的边缘，将其限定于三个接触点内，完成抓取动作；放置时，下降到工位面，动力撤销为自然状态，爪自动收回，而限位块13不动，硅片在三个限位块13所限定范围内下落至平面上，避免空气浮力造成的位置偏移；然后，驱动力作用下限位块13张开到最大，完成放置动作。
[0016]上面结合附图对本实用新型优选实施方式作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施方式，在本领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的如提下做出各种变化。
[0017]不脱离本实用新型的构思和范围可以做出许多其他改变和改型。应当理解，本实用新型不限于特定的实施方式，本实用新型的范围由所附权利要求限定。
【主权项】
1.一种硅片传输机械手，包括壳体(1)、后盖(2)、活塞(3)、滑块(4)、弹簧(5)、紧定螺钉(6)、上螺钉(7)、连接弹簧(8)、下螺钉(9)、销(10)、沉头螺钉(11)、爪片(12)和限位块(13)，其特征在于，所述壳体(I)水平方向上均分布着三个光孔，所述三个活塞(3)分别放置于壳体(I)各光孔内且可以来回滑动，所述壳体(I)径向加工有圆柱孔与各光孔相通，所述三个圆柱孔内都安装有紧定螺钉(6)，所述弹簧(5)安装在活塞(3)内孔里，其左端顶在壳体(I)圆柱孔内的紧定螺钉(6)上，其右端顶在安装在活塞内孔里的紧定螺钉(6)左端面上，所述后盖(2)通过螺钉固定安装在壳体(I)的上端面上，所述滑块(4)卡装在活塞(3)上，所述爪片(12)通过沉头螺钉(11)安装在滑块(4)底部，所述限位块(13)位于爪片(12)上侧，所述爪片(12)通过销(10)定位安装在滑块(4)底部，所述上螺钉(7)安装在滑块(4)螺纹孔内，所述连接弹簧(8)上端连接在上螺钉(7)上，其下端连接在下螺钉(9)上。
2.如权利要求1所述的硅片传输机械手，其特征在于:所述滑块(4)与活塞(3)为过盈配合，过盈量为0.008?0.015mm。
3.如权利要求1所述的硅片传输机械手，其特征在于:所述活塞(3)内孔左端为螺纹孔。
4.如权利要求1所述的硅片传输机械手，其特征在于:所述壳体(I)顶面加工有环形槽口。
5.如权利要求1所述的硅片传输机械手，其特征在于:所述后盖(2)底部有一环形定位凸台。
【专利摘要】本实用新型公开了一种硅片传输机械手，包括壳体、后盖、活塞、滑块、弹簧、紧定螺钉、上螺钉、连接弹簧、下螺钉、销、沉头螺钉、爪片和限位块，所述壳体水平方向上均分布着三个光孔，三个活塞分别放置于壳体各光孔内且可以来回滑动，三个圆柱孔内都安装有紧定螺钉，弹簧安装在活塞内孔里，其左端顶在壳体圆柱孔内的紧定螺钉上，其右端顶在紧定螺钉左端面上，后盖通过螺钉固定安装在壳体的上端面上，滑块卡装在活塞上，爪片通过沉头螺钉安装在滑块底部，限位块位于爪片上侧，爪片通过销定位安装在滑块底部，上螺钉安装在滑块螺纹孔内，连接弹簧上端连接在上螺钉上，其下端连接在下螺钉上。本实用新型保证了硅片精确、洁净的传输，而且运行稳定、重复精度高且机构简单。
【IPC分类】H01L21-677
【公开号】CN204441266
【申请号】CN201420871549
【发明人】朱桂林
【申请人】朱桂林
【公开日】2015年7月1日
【申请日】2014年12月30日