一种用于硅片清洗机的热交换装置的制造方法

文档序号:8755531阅读:236来源:国知局
一种用于硅片清洗机的热交换装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种用于硅片清洗机的热交换装置,主要用于冷却硅片清洗机中的酸碱液,涉及太阳能电池制造技术领域。
【背景技术】
[0002]常规的化石燃料日益消耗殆尽,在现有的可持续能源中,太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。太阳能发电装置又称为太阳能电池或光伏电池,可以将太阳能直接转换成电能,其发电原理是基于半导体PN结的光生伏特效应。在各类太阳能电池中,晶体硅(单晶、多晶)太阳能电池占有极其重要的地位,目前占据了光伏市场75%以上的份额。晶体硅太阳能电池利用p-n结的光生伏特效应实现光电转换,因此从发展的观点来看,晶体硅太阳能电池在未来很长的一段时间仍将占据主导地位。
[0003]现有的晶体硅太阳能电池的制造流程为:表面清洗、硅片表面织构化、扩散、清洗刻蚀去边、镀减反射膜、丝网印刷、烧结形成欧姆接触、测试。这种商业化晶体硅电池制造技术相对简单、成本较低,适合工业化、自动化生产,因而得到了广泛应用。其中,表面清洗工艺是必不可少的。现有技术中,表面清洗工艺一般都是在硅片清洗机中进行,硅片清洗机主要包括槽体,槽体内装有酸碱液;为了能达到较好的清洗效果,减少因酸碱液温度过高而导致的硅片表面朦胧等问题,有必要对硅片清洗机槽体内的酸碱液进行降温处理。
[0004]针对上述技术问题,现有的方法是采用普通的热交换装置,将酸碱液置于热交换器的储存箱内,再通过冷凝盘管进行热交换降温。然而,由于需要处理的酸碱液的量很大,因此为了有效地进行降温处理,一般需要采用冷却媒介(如冷却剂)在冷凝盘管内流通,同时需要采用冷冻机对冷却媒介进行持续制冷处理。因此现有的设备和方法不仅成本较高,而且冷却效果差强人意。
[0005]因此,开发一种低成本的用于硅片清洗机的热交换装置,以有效地对酸碱液进行降温处理,显然具有积极的现实意义。

【发明内容】

[0006]本实用新型的发明目的是提供一种用于硅片清洗机的热交换装置。
[0007]为达到上述发明目的,本实用新型采用的技术方案是:一种用于硅片清洗机的热交换装置,包括冷凝水储存箱,冷凝水储存箱上设有进水管和出水管;
[0008]冷凝水储存箱内设有冷凝盘管,冷凝盘管的一端与酸碱液输入管连通,另一端与酸碱液输出管连通。
[0009]上文中,所述冷凝水储存箱是用来走冷凝水的,达到冷却的目的,而冷凝水储存箱内的冷凝盘管是用来走待处理的酸碱液的。
[0010]冷凝水可以采用厂务系统的冷却水,无需外加冷冻机(或压缩机)进行制冷,因此成本极低。
[0011]上述技术方案中,所述冷凝水储存箱内还设有液位监控系统,冷凝水储存箱的上方设有溢流管。可以防止液位监控系统失效而导致的冷凝水储存箱中冷凝水溢出。所述液位监控系统可以由PLC进行逻辑控制。
[0012]上述技术方案中,所述冷凝水储存箱为密封结构。
[0013]上述技术方案中,还包括动力系统和控制系统。所述动力系统是使冷凝水和酸碱液分别实现循环流动,例如可以采用水泵。
[0014]上述技术方案中,所述进水管的管路上设有阀门。
[0015]上述技术方案中,所述酸碱液输入管的管路上设有阀门。
[0016]由于上述技术方案运用,本实用新型与现有技术相比具有下列优点:
[0017]1、本实用新型设计了一种专门用于硅片清洗机的热交换装置,利用冷凝水储存箱走冷凝水,而在冷凝水储存箱内的冷凝盘管走待处理的酸碱液的,使冷凝水可以在外围全面覆盖冷凝盘管,因此冷却效果较好;
[0018]2、本实用新型可以采用厂务系统的冷却水作为冷却媒介,无需外加压缩机进行制冷,结构简单,成本极低;
[0019]3、本实用新型的冷凝水和待处理的酸碱液采用非接触式进行热交换,可有效防止酸碱液间的互相污染;
[0020]4、本实用新型设有液位监控系统及溢流管,运行安全可靠;
[0021]5、本实用新型的结构简单,成本较低,适于推广应用。
【附图说明】
[0022]图1是本实用新型实施例一的结构示意图。
[0023]其中:1、冷凝水储存箱;2、进水管;3、出水管;4、冷凝盘管;5、酸碱液输入管;6、酸碱液输出管;7、液位监控系统;8、溢流管;9、阀门。
【具体实施方式】
[0024]下面结合实施例对本实用新型进一步描述。
[0025]实施例一:
[0026]参见图1所示,一种用于硅片清洗机的热交换装置,包括冷凝水储存箱1,冷凝水储存箱上设有进水管2和出水管3 ;
[0027]冷凝水储存箱内设有冷凝盘管4,冷凝盘管的一端与酸碱液输入管5连通,另一端与酸碱液输出管6连通。
[0028]所述冷凝盘管可以由细的PP软管缠绕而成。
[0029]所述冷凝水储存箱内还设有液位监控系统7,冷凝水储存箱的上方设有溢流管8。
[0030]还包括动力系统和控制系统。
[0031]所述进水管的管路上设有阀门9。
[0032]所述酸碱液输入管的管路上设有阀门。
[0033]本实施例通过非接触式的热交换,非常好的将酸碱液冷却到20度以下,避免了朦胧片的产生。
【主权项】
1.一种用于硅片清洗机的热交换装置,其特征在于:包括冷凝水储存箱(I),冷凝水储存箱上设有进水管(2)和出水管(3); 冷凝水储存箱内设有冷凝盘管(4),冷凝盘管的一端与酸碱液输入管(5)连通,另一端与酸碱液输出管(6)连通。
2.根据权利要求1所述的用于硅片清洗机的热交换装置,其特征在于:所述冷凝水储存箱内还设有液位监控系统(7),冷凝水储存箱的上方设有溢流管(8)。
3.根据权利要求1所述的用于硅片清洗机的热交换装置,其特征在于:所述冷凝水储存箱为密封结构。
4.根据权利要求1所述的用于硅片清洗机的热交换装置,其特征在于:还包括动力系统和控制系统。
5.根据权利要求1所述的用于硅片清洗机的热交换装置,其特征在于:所述进水管的管路上设有阀门(9)。
6.根据权利要求1所述的用于硅片清洗机的热交换装置,其特征在于:所述酸碱液输入管的管路上设有阀门。
【专利摘要】本实用新型公开了一种用于硅片清洗机的热交换装置,包括冷凝水储存箱,冷凝水储存箱上设有进水管和出水管;冷凝水储存箱内设有冷凝盘管,冷凝盘管的一端与酸碱液输入管连通,另一端与酸碱液输出管连通。本实用新型利用冷凝水储存箱走冷凝水,而在冷凝水储存箱内的冷凝盘管走待处理的酸碱液的,使冷凝水可以在外围全面覆盖冷凝盘管,因此冷却效果较好。
【IPC分类】H01L21-67
【公开号】CN204464248
【申请号】CN201520172721
【发明人】曾艳辉, 严柏林, 刘裕通, 史珺峰, 谢贤清
【申请人】苏州阿特斯阳光电力科技有限公司, 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司
【公开日】2015年7月8日
【申请日】2015年3月25日
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