一种用于太阳能电池的管式扩散炉的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种用于太阳能电池的管式扩散炉。
【背景技术】
[0002]常规的化石燃料日益消耗殆尽，在现有的可持续能源中，太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。太阳能发电装置又称为太阳能电池或光伏电池，可以将太阳能直接转换成电能，其发电原理是基于半导体PN结的光生伏特效应。
[0003]传统的太阳能电池的制备方法如下:制绒、扩散制结、刻蚀、清洗、镀膜、印刷、烧结。其中，扩散制结是关键步骤，是在硅片上制备PN结；现有技术中一般采用管式扩散炉。
[0004]现有的管式扩散炉主要包括炉管，炉管的尾部通常设有多个出口管，以便用来设置尾气管、热电偶套管等功能部件。其中，尾气管是用来排放尾气的，其尾端连接有废液瓶。
[0005]然而，实际应用发现，由于尾气管是设于炉管的出口管之中，尾气管和出口管之间具有缝隙，这便导致了扩散工艺中的偏磷酸会在缝隙处发生堆积，导致尾气管和出口管的腐蚀和粘结。
[0006]针对上述问题，现有方法是定期将尾气管取出进行清洗，防止因偏磷酸的堆积而导致出口管及尾气管破损或断裂。但是，这种定期维护方式需要花费大量的人工，维护成本较高；此外，一旦忘记维护时极易导致出口管及尾气管破损。
[0007]此外，除了上述尾气管和出口管之间，热电偶套管和出口管之间也会存在上述问题。
【发明内容】
[0008]本实用新型的发明目的是提供一种用于太阳能电池的管式扩散炉。
[0009]为达到上述发明目的，本实用新型采用的技术方案是:一种用于太阳能电池的管式扩散炉，包括炉管，炉管的尾部设有出口管，出口管内设有尾气管，所述出口管上设有进气孔，进气孔通过气管与气源连接。
[0010]上文中，所述进气孔是用来通入气体(如氮气)进行吹气的。每次扩散完成之后，通氮气吹扫尾气管和出口管之间的缝隙，通过氮气形成气体保护层，将酸性气体排除间隙之夕卜，从而减少偏磷酸的堆积，最终避免因偏磷酸的堆积导致出口管及尾气管破损或断裂的情况发生。
[0011]对于吹气的方式，可以是一直吹扫，吹气时间可以根据具体的腐蚀粘结情况来选择；也可以间歇式吹气，例如，以5秒为间隔时间间断吹扫。
[0012]上述技术方案中，所述气源为氮气气源。
[0013]上述技术方案中，所述气管上设有调节阀。
[0014]上述技术方案中，所述进气孔设于靠近出口管尾部的一侧。
[0015]上述技术方案中，所述炉管的尾部设有至少2个出口管，其中I个出口管内设有尾气管，另一个出口管内设有热电偶套管；
[0016]所述设有热电偶套管的出口管上也设有进气孔，进气孔通过气管与气源连接。
[0017]上述技术方案中，所述气管上设有调节阀。
[0018]由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点:
[0019]1、本实用新型在炉管的出口管上设置进气孔，以通入气体(如氮气)进行吹气；在每次扩散完成之后，通入氮气吹扫尾气管和出口管之间的缝隙，将酸性气体排除间隙之外，从而减少偏磷酸的堆积，防止了因偏磷酸的堆积导致出口管及尾气管破损或断裂的情况发生；实际应用证明，该方法取得了显著的效果；
[0020]2、本实用新型在实际操作时只要通入气源即可进行吹气作业，操作简单，无需花费大量的人工，操作简单，维护成本较低；
[0021]3、本实用新型也可以在设有热电偶套管的出口管上实现，实现了拓展应用；
[0022]4、本实用新型的结构简单，成本较低，适于推广应用。
【附图说明】
[0023]图1是本实用新型实施例一的结构示意图。
[0024]其中:1、炉管；2、出口管；3、尾气管；4、进气孔；5、气管；6、调节阀；7、热电偶套管；8、石英弯管；9、废液瓶。
【具体实施方式】
[0025]下面结合附图和实施例对本实用新型进一步描述。
[0026]实施例一:
[0027]参见图1所示，一种用于太阳能电池的管式扩散炉，包括炉管1，炉管的尾部设有出口管2，出口管内设有尾气管3，所述出口管上设有进气孔4，进气孔通过气管5与气源连接。
[0028]尾气管3的尾端通过石英弯管8与废液瓶9连接。
[0029]所述气源为氮气气源。
[0030]所述气管上设有调节阀6。
[0031]所述进气孔设于靠近出口管尾部的一侧。
[0032]所述炉管的尾部设有2个出口管，其中I个出口管内设有尾气管，另一个出口管内设有热电偶套管7。
[0033]实施例二:
[0034]一种用于太阳能电池的管式扩散炉，包括炉管，所述炉管的尾部设有至少2个出口管，其中I个出口管内设有尾气管，另一个出口管内设有热电偶套管；
[0035]所述出口管上设有进气孔，进气孔通过气管与气源连接；
[0036]所述设有热电偶套管的出口管上也设有进气孔，进气孔通过气管与气源连接。
[0037]所述气源为氮气气源。
[0038]所述气管上设有调节阀。
【主权项】
1.一种用于太阳能电池的管式扩散炉，包括炉管(I)，炉管的尾部设有出口管(2)，出口管内设有尾气管(3)，其特征在于:所述出口管上设有进气孔(4)，进气孔通过气管(5)与气源连接。
2.根据权利要求1所述的用于太阳能电池的管式扩散炉，其特征在于:所述气源为氮气气源。
3.根据权利要求1所述的用于太阳能电池的管式扩散炉，其特征在于:所述气管上设有调节阀(6) ο
4.根据权利要求1所述的用于太阳能电池的管式扩散炉，其特征在于:所述进气孔设于靠近出口管尾部的一侧。
5.根据权利要求1所述的用于太阳能电池的管式扩散炉，其特征在于:所述炉管的尾部设有至少2个出口管，其中I个出口管内设有尾气管，另一个出口管内设有热电偶套管(7)； 所述设有热电偶套管的出口管上也设有进气孔，进气孔通过气管与气源连接。
6.根据权利要求4所述的用于太阳能电池的管式扩散炉，其特征在于:所述气管上设有调节阀。
【专利摘要】本实用新型公开了一种用于太阳能电池的管式扩散炉，包括炉管，炉管的尾部设有出口管，出口管内设有尾气管，所述出口管上设有进气孔，进气孔通过气管与气源连接。本实用新型在炉管的出口管上设置进气孔，以通入气体（如氮气）进行吹气；在每次扩散完成之后，通入氮气吹扫尾气管和出口管之间的缝隙，将酸性气体排除间隙之外，从而减少偏磷酸的堆积，防止了因偏磷酸的堆积导致出口管及尾气管破损或断裂的情况发生。
【IPC分类】F27D17-00, H01L31-18
【公开号】CN204596818
【申请号】CN201520316469
【发明人】王宏波, 周华军
【申请人】苏州阿特斯阳光电力科技有限公司, 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司
【公开日】2015年8月26日
【申请日】2015年5月18日