一种自动去边机用下料装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于半导体制造领域，尤其是涉及一种自动去边机用下料装置。
【背景技术】
[0002]随着电子产品的日益普及和更新，半导体的制造工艺也得到了飞速的发展，在半导体的制造过程中包含多个工序，如硅片清洗、制绒等，在上述工序后都需要将硅片装入专用篮具。现有技术中，都习惯采用人工插片的方式操作，该方式容易出现碎片率高、对硅片的污染大、效率低等问题。
【发明内容】
[0003]有鉴于此，本实用新型旨在提出一种自动去边机用下料装置，以解决硅片碎片率高、对硅片的污染大、效率低等问题。
[0004]为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的:
[0005]—种自动去边机用下料装置，包括翻转机构、升降机构和溢流槽；所述溢流槽内部充满纯水，所述翻转机构和升降机构分别位于溢流槽的两相邻外侧壁上；所述翻转机构包括水平滚轮组、固定滚轮组和气缸，所述翻转机构的上部靠近溢流槽的一侧设有一支撑轴，所述固定滚轮组的一端固定连接在支撑轴上，所述固定滚轮组的另一端以10-60度的倾斜角度伸入溢流槽内部，所述水平滚轮组的一端连接在支撑轴上，水平滚轮组的另一端与设在翻转机构一侧的所述气缸连接；所述升降机构包括固定支座、滑动架和托料架，所述固定支座位于升降机构底部且与所述溢流槽侧壁固定，所述固定支座上装有伺服电机，所述固定支座内部有滚珠丝杠，所述伺服电机提供所述滚珠丝杠传动的动力，所述滚珠丝杠上安装有可上下滑动的滑动架，所述滑动架上部固定有托料架，所述托料架内设有片篮卡槽，所述托料架伸入溢流槽内部且位于所述固定滚轮组的正前方。
[0006]进一步的，所述水平滚轮组为四组，所述固定滚轮组为三组，所述固定滚轮组连接所述支撑轴的一端嵌入到所述水平滚轮组之间形成的空隙内。
[0007]进一步的，所述水平滚轮组和固定滚轮组均由滚轮和挡边组成，滚轮固定于挡边一侧，可自由旋转。
[0008]进一步的，所述滚轮采用POM材质。
[0009]进一步的，所述片篮卡槽的倾斜角度与所述固定滚轮组的倾斜角度一致，便于硅片滑入所述片篮卡槽内。
[0010]进一步的，所述片篮卡槽有5英寸、6英寸和8英寸三种尺寸规格。
[0011]进一步的，所述溢流槽装有升降机构的一侧内壁上焊有滑槽，在所述托料架上安装有与所述滑槽相对应的滑条。
[0012]进一步的，所述滑槽和滑条均采用POM材质。
[0013]进一步的，所述溢流槽采用PVC材质。
[0014]相对于现有技术，本实用新型所述的自动去边机用下料装置具有以下优势:
[0015](I)翻转架设计有POM材质的光滑滚轮作为支撑，具有与硅片接触面积小，表面光滑耐磨，滚动滑落的特点，避免了对硅片的表面划伤；
[0016](2)片篮半浸于水槽中，硅片滑入片篮槽时通过水面，起到缓冲作用，避免了对硅片的损伤；
[0017](3)移动架升降采用伺服电机控制，滚珠丝杠加导轨传动，可以精确控制下降距离，减小误差。
【附图说明】
[0018]构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:
[0019]图1为本实用新型实施例所述的自动去边机用下料装置的俯视图；
[0020]图2为本实用新型实施例所述的自动去边机用下料装置的结构示意图。
[0021]附图标记说明:
[0022]1-翻转机构，11-水平滚轮组，12-固定滚轮组，13-气缸，2_升降机构，14-支撑轴，21-固定支座，211-伺服电机，22-滑动架，23-托料架，231-滑条，3-溢流槽。
【具体实施方式】
[0023]需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0024]下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。
[0025]如图1所示，自动去边机用下料装置包括翻转机构1、升降机构2和溢流槽3，所述溢流槽3为PVC材质焊接，工作时内部充满纯水，并使进水阀门在一定流量下常开，形成溢流效果，保证杂质不沉积，避免玷污硅片；所述翻转机构I和升降机构2分别位于溢流槽3的两相邻外侧壁上。
[0026]如图2所示，所述翻转机构I包括水平滚轮组11、固定滚轮组12和气缸13，所述翻转机构的上部靠近溢流槽的一侧设有一支撑轴14，所述固定滚轮组12的一端固定连接在支撑轴上14，所述固定滚轮组12的另一端以10-60度的倾斜角度伸入溢流槽3内部，所述水平滚轮组11的一端连接在支撑轴14上，水平滚轮组11的另一端与设在翻转机构一侧的所述气缸13连接，提供水平滚轮组11倾斜的动力，所述水平滚轮组11的倾斜方向与所述固定滚轮组12的倾斜方向一致且水平滚轮组11的倾斜角度略大于固定滚轮组12的倾斜角度，以保证硅片能顺利滑入固定滚轮组12上。
[0027]所述水平滚轮组11为四组，所述固定滚轮组12为三组，所述固定滚轮组12连接所述支撑轴14的一端嵌入到所述水平滚轮组之间形成的空隙内，滚轮组由滚轮和挡边组成，滚轮固定于挡边一侧，可自由旋转，滚轮材质为Ρ0Μ，其强度、刚度高，弹性好，减磨耐磨性好。
[0028]所述升降机构2包括固定支座21、滑动架22和托料架23，所述固定支座21位于升降机构2底部，所述固定支座21上装有伺服电机211，所述固定支座21内部有滚珠丝杠(图中未标)，所述伺服电机211提供所述滚珠丝杠传动的动力，所述滚珠丝杠上安装有可上下滑动的滑动架22，所述滑动架22上部固定有托料架23，所述托料架23内设有5英寸、6英寸和8英寸三种尺寸规格的片篮卡槽，所述片篮卡槽的倾斜角度与所述固定滚轮组的倾斜角度一致，所述托料架伸入溢流槽3内部且位于所述固定滚轮组的正前方，硅片滑入时的角度与片篮卡槽倾斜角度一致。
[0029]所述溢流槽3装有升降机构的一侧内壁上焊有滑槽(图中未标)，在所述托料架23上安装有与所述滑槽相对应的滑条231，从而使托料架23升降时沿滑槽方向移动，起到导向固定作用，滑槽滑条采用POM材质，其强度、刚度高，弹性好，减磨耐磨性好。
[0030]本实用新型的主要功能是将去边完成的硅片自动插入片篮中，片篮放置于升降机构的托料架中，可通过导轨丝杆传动实现升降，从而使片篮中的插槽依次移位，以接取翻转机构滑入的硅片，实现自动插片的动作。
[0031]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种自动去边机用下料装置，其特征在于:包括翻转机构、升降机构和溢流槽； 所述溢流槽内部充满纯水，所述翻转机构和升降机构分别位于溢流槽的两相邻外侧壁上; 所述翻转机构包括水平滚轮组、固定滚轮组和气缸，所述翻转机构的上部靠近溢流槽的一侧设有一支撑轴，所述固定滚轮组的一端固定连接在支撑轴上，所述固定滚轮组的另一端以10-60度的倾斜角度伸入溢流槽内部，所述水平滚轮组的一端连接在支撑轴上，水平滚轮组的另一端与设在翻转机构一侧的所述气缸连接； 所述升降机构包括固定支座、滑动架和托料架，所述固定支座位于升降机构底部且与所述溢流槽侧壁固定，所述固定支座上装有伺服电机，所述固定支座内部有滚珠丝杠，所述伺服电机提供所述滚珠丝杠传动的动力，所述滚珠丝杠上安装有可上下滑动的滑动架，所述滑动架上部固定有托料架，所述托料架内设有片篮卡槽，所述托料架伸入溢流槽内部且位于所述固定滚轮组的正前方。2.根据权利要求1所述的自动去边机用下料装置，其特征在于:所述水平滚轮组为四组，所述固定滚轮组为三组，所述固定滚轮组连接所述支撑轴的一端嵌入到所述水平滚轮组之间形成的空隙内。3.根据权利要求2所述的自动去边机用下料装置，其特征在于:所述水平滚轮组和固定滚轮组均由滚轮和挡边组成，滚轮固定于挡边一侧，可自由旋转。4.根据权利要求3所述的自动去边机用下料装置，其特征在于:所述滚轮采用POM材质。5.根据权利要求1所述的自动去边机用下料装置，其特征在于:所述片篮卡槽的倾斜角度与所述固定滚轮组的倾斜角度一致，便于硅片滑入所述片篮卡槽内。6.根据权利要求1所述的自动去边机用下料装置，其特征在于:所述片篮卡槽有5英寸、6英寸和8英寸三种尺寸规格。7.根据权利要求1所述的自动去边机用下料装置，其特征在于:所述溢流槽装有升降机构的一侧内壁上焊有滑槽，在所述托料架上安装有与所述滑槽相对应的滑条。8.根据权利要求7所述的自动去边机用下料装置，其特征在于:所述滑槽和滑条均采用POM材质。9.根据权利要求1所述的自动去边机用下料装置，其特征在于:所述溢流槽采用PVC材质。
【专利摘要】本实用新型提供了一种自动去边机用下料装置，包括翻转机构、升降机构和溢流槽，所述溢流槽为PVC材质焊接，工作时内部充满纯水，并使进水阀门在一定流量下常开，形成溢流效果，保证杂质不沉积，避免玷污硅片，所述翻转机构和升降机构分别位于溢流槽的两相邻外侧壁上，所述翻转机构包括水平滚轮组、固定滚轮组和气缸，所述升降机构包括固定支座、滑动架和托料架。本实用新型所述的自动去边机用下料装置有效避免了对硅片的损伤，工作效率和自动化程度高。
【IPC分类】H01L21/67, H01L21/68, H01L21/677
【公开号】CN204732381
【申请号】CN201520460945
【发明人】靳立辉, 贾弘源, 王国瑞, 杨明
【申请人】天津中环半导体股份有限公司
【公开日】2015年10月28日
【申请日】2015年6月30日