一种紫外臭氧处理仪的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于半导体器件制造技术领域，具体得说，是一种用于对ITO进行处理的紫外臭氧处理仪。
【背景技术】
[0002]有机电致发光器件(OLEDS)是一种以具有光敏性质的有机物作为半导体的材料，以光伏效应而产生电压形成电流，实现太阳能发电的效果，有机电致发光器件具有全固态、主动发光、高亮度、高对比度、超薄、低成本、低功耗、视角大、工作温度范围宽等诸多优点，被认为是目前最有发展前景的平板显示器之一。其典型结构是在透明阳极和金属阴极间夹有单层或者多层有机薄膜。作为显示应用，OLED要求至少一面电极为透明电极，以便光能透射出来。因ITO对可见光的透射比较高、电阻率低且功函数较高而广泛用做OLED的阳极材料，ITO玻璃直接与有机太阳能薄膜接触，所以ITO玻璃的表面形貌、化学成分是决定器件寿命、稳定性以及放光效率等特征的一个重要因素，但是采用购买的ITO玻璃而不作任何表面处理所制备的OLED的性能较差。目前对ITO的处理方法主要分为物理方法和化学方法两种:其中物理方法主要是等离子处理;化学方法则主要包括酸碱处理，以及在ITO表面增加其他化合物的方法。
[0003]目前实验室普遍使用紫外臭氧清洗仪，通过紫外线照射，使空气中的氧发生光化学反应，产生臭氧来清洁ITO玻璃表面。这样处理容易给样品带进杂质并且ITO玻璃的处理不容易控制。在有机太阳能电池的制备中，ITO玻璃的处理有着关键的作用，不仅要清洗干净而且要改善其功函数，提高亲水性。
【发明内容】
[0004]为了解决上述现有技术的缺陷，本实用新型提供一种功能专一、方便易用，适用ITO玻璃处理的紫外臭氧处理仪。
[0005]本实用新型采用的技术手段为:一种紫外臭氧处理仪，包括底座、固定在底座上的储物筒以及位于储物筒一侧的进氧装置，所述储物筒前端设有进物口、后端连接有紫外发生器，所述储物筒内壁上设有紫外灯;所述进氧装置包括进氧管以及与进氧管相通的分支管，所述进氧管的左右两端头分别设有抽气口和进氧口。
[0006]进一步的，所述分支管上设有气压计，分支管端头设有进物口盖。
[0007]进一步的，所述进氧管的左侧设有左旋开关。
[0008]进一步的，所述进氧管的右侧设有右旋开关。
[0009]进一步的，所述储物筒在底座上水平放置。
[0010]进一步的，所述紫外发生器的一端与电源相连。
[0011]进一步的，所述储物筒呈圆柱形。
[0012]进一步的，所述紫外灯位于储物筒内壁的上方。
[0013]本实用新型的积极效果在于:
[0014]1、本实用新型的紫外臭氧处理仪组装方便，制造成本低，方便易用，功能专一，能够很好的适用于有机太阳能电池制备过程中的ITO玻璃的处理；
[0015]2、通过多次反复的抽气通氧气使仪器内部保持高度纯氧环境，并通过压力表可控性的调节仪器内部氧气的量以达到实验的各种变化需要；
[0016]3、将ITO玻璃直接置于紫外光下，接受臭氧和紫外光的双重处理，改善ITO玻璃的表面光滑度、提高ITO表面功函数、增强器件的亮度，提高器件的击穿电压，同时改善器件的发光均匀性。
[0017]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型的结构和工作原理做进一步详细的阐述，附图是简化的示意图。
【附图说明】
[0018]图1为本实用新型的结构不意图；
[0019]图中:1、抽气口；2、进氧口；3、左旋开关;4、右旋开关;5、气压计;6、进物口盖;7、进物口；8、紫外灯;9、底座;10、紫外发生器;11、储物筒;12、进氧管。
【具体实施方式】
[0020]如图1所示:一种紫外臭氧处理仪，包括底座9、固定在底座9上的储物筒11以及位于储物筒11 一侧的进氧装置，所述储物筒11的前端设有进物口 7、后端连接有紫外发生器10，紫外发生器10的另一端与交流电源相连，所述储物筒11的内壁上方设有紫外灯8;所述进氧装置包括进氧管12以及与进氧管12相通的分支管，所述进氧管的左右两端头分别设有抽气口 I和进氧口2，进氧管12的左侧设有左旋开关3、右侧设有右旋开关4，所述分支管上设有气压计5，分支管端头设有进物口盖6。
[0021]本实用新型中的储物筒11外观为圆柱形，使用的时候，首先将储物筒11水平放置在底座9上，将ITO玻璃(即在基片玻璃的基础上，利用溅射、蒸发等多种方法镀上一层氧化铟锡(俗称ΙΤ0)膜加工制作成的)样品通过进物口 7放入仪器中的紫外线灯8下，组装好仪器，打开左旋开关3、关闭右旋开关4，利用真空栗对储物筒11和进氧管12进行抽真空处理，观察气压计5示数，在仪器内部基本接近真空状态关闭左旋开关3;此时再打开右旋开关4，由进氧口 2通入氧气，由气压计5上指示的数值来控制氧气的通入量，然后关闭右旋开关4，打开左旋开关3，进行抽真空处理;按照上述步奏，如此反复几次，保证仪器内部的空气含量几乎降为零，最后再通入定量氧气;这样操作可以避免空气的掺杂会对ITO玻璃的处理产生负面影响以及带来污染。通过气压计5可对氧气的通入量进行控制，满足实验室一系列定量实验的要求。
[0022]将ITO玻璃放在紫外灯下，能够方便的对ITO玻璃进行紫外-臭氧处理、有效控制臭氧浓度；ITO玻璃接受紫外和臭氧的双重处理，不仅可以改善ITO玻璃的表面光滑度，使ITO玻璃与有机层界面接触更好，而且可以提高ITO表面功函数、增强器件的亮度、提高器件的击穿电压，同时改善器件的发光均匀性。
【主权项】
1.一种紫外臭氧处理仪，包括底座(9)、固定在底座(9)上的储物筒(11)以及位于储物筒(11)一侧的进氧装置，其特征在于:所述储物筒(11)前端设有进物口(7)、后端连接有紫外发生器(10)，所述储物筒(11)内壁上设有紫外灯(8);所述进氧装置包括进氧管(12)以及与进氧管(12)相通的分支管，所述进氧管(12)的左右两端头分别设有抽气口(I)和进氧口⑵。2.根据权利要求1所述的一种紫外臭氧处理仪，其特征在于:所述分支管上设有气压计(5)，分支管端头设有进物口盖(6)。3.根据权利要求1所述的一种紫外臭氧处理仪，其特征在于:所述进氧管(12)的左侧设有左旋开关(3)。4.根据权利要求1所述的一种紫外臭氧处理仪，其特征在于:所述进氧管(12)的右侧设有右旋开关(4)。5.根据权利要求1所述的一种紫外臭氧处理仪，其特征在于:所述储物筒(11)水平设置在底座(9)上。6.根据权利要求1所述的一种紫外臭氧处理仪，其特征在于:所述紫外发生器(10)的一端与电源相连。7.根据权利要求1所述的一种紫外臭氧处理仪，其特征在于:所述储物筒(11)呈圆柱形。8.根据权利要求1所述的一种紫外臭氧处理仪，其特征在于:所述紫外灯(8)位于储物筒(11)内壁的上方。
【专利摘要】本实用新型提供一种紫外臭氧处理仪，包括底座、固定在底座上的储物筒以及位于储物筒一侧的进氧装置，所述储物筒前端设有进物口、后端连接有紫外发生器，所述储物筒内壁上设有紫外灯；所述进氧装置包括进氧管以及与进氧管相通的分支管，所述进氧管的左右两端头分别设有抽气口和进氧口；本仪器可以做到高纯度真空通入氧气，并能很好控制氧气通入量进而控制臭氧产生的量。在紫外线灯的直接照射下，也能对ITO玻璃表面产生一定的效果，ITO玻璃就能在仪器中被双重清洗和改善功函数。
【IPC分类】H01L21/67
【公开号】CN205282455
【申请号】CN201521140055
【发明人】王文俊, 吴广成, 崔光磊
【申请人】安徽师范大学
【公开日】2016年6月1日
【申请日】2015年12月31日