一种微型高稳定的一体式激光谐振腔的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及光学谐振腔设计领域，尤其涉及一种微型高稳定的一体式激光谐振腔。
【背景技术】
[0002]在显示领域，追求亮丽超大画面、纯真的色彩、高分辨率的显示效果，历来是人们对视觉感受的一种潜在要求。大到指挥监控中心、网管中心的建立，小到视频会议、学术报告、技术讲座和多功能会议的进行，对大画面、多色彩、高亮度、高分辨率显示效果的渴望越来越强烈。而激光显示技术在显示领域表现出了突出特色。激光显示的优势主要表现在:激光投影显示色彩鲜亮、亮度高、屏幕尺寸灵活，并且鲜艳的图像可以投射到各种材料表面，甚至是弯曲表面。这种系统还可适应目前使用的多数大屏幕标准，即PAL制、NC制、SECAM制、VGA制或高清晰度大屏幕;激光光源大屏幕比等离子拼接屏幕工艺简单，色彩鲜艳，亮度比LED拼接大屏幕亮，且不受视角的方向性影响。激光更接近单色光，激光投影显示红、绿、蓝三色光分别调制，彩色效果非常理想，并且使用寿命长;激光显示技术耗能低。
[0003]激光显示技术是利用半导体栗浦固态激光工作物质，产生红、绿、蓝三种波长的连续激光作为彩色激光显示的光源，通过控制三基色激光光源在DMD芯片上反射成像。这里要求保证激光器输出功率的同时，激光器的体积越小越好，输出功率越稳定越好。传统微型激光器一般有增益介质，倍频晶体两部分构成，采用光胶合方式连接在一起，上下面用硅片保护。此时腔型为平平腔，平平腔属于非稳腔，处于稳区的临界状态，不利于激光稳定输出。
[0004]图1、2所示，传统的微型一体式激光器结构由增益介质61和倍频晶体64两部分构成，二者以光胶合的方式结合在一起，上下面用硅片63黏贴进行保护，采用镀膜手段实现激光震荡输出，此时谐振腔为平平腔型，其在稳区的位置如图中黑点位置所示，处于稳区的边缘线上，属于非稳临界状态，此时不利于激光的稳定输出。
[0005]本实用新型专利针对这一问题对微型一体式谐振腔结构进行改进，使之成为稳定谐振腔。
【实用新型内容】
[0006]本实用新型要解决的技术问题，在于提供一种微型高稳定的一体式激光谐振腔，解决了现有微型一体式激光器输出不稳定的问题，使原来处于非稳的临界腔型变为稳定腔型。
[0007]本实用新型是这样实现的:一种微型高稳定的一体式激光谐振腔，包括增益介质、倍频晶体、透镜及硅片;所述透镜放置于增益介质及倍频晶体中间，所述硅片将增益介质、倍频晶体、透镜三者上表面及下表面分别固定;所述增益介质的栗浦光入射端面镀有栗浦光增透膜和震荡光增反膜，另一端面镀有震荡光增透膜;所述倍频晶体与透镜相邻一端镀有震荡光增透膜，另一端面镀有震荡光高反光膜和倍频光增透膜。
[0008]其中，所述增益介质为Nd:YV04-或PPMgOLN。
[0009]其中，所述透镜为光纤透镜或柱透镜。
[0010]其中，所述透镜纵向切面的厚度与增益介质的厚度相同。
[0011]其中，所述倍频晶体的厚度与增益介质厚度相同。
[0012]其中，所述栗浦光入射端面射入的栗浦光波长为808nm、880nm或888nm。
[0013]本实用新型的优点在于:
[0014]在增益介质和倍频晶体中间加入透镜，透镜镀有振荡光增透膜，将传统的平平非稳腔变为稳定腔型，并且体积大小变化不大，成本低，易实现，对提高微型一体式激光谐振腔稳定性有重要意义。
【附图说明】
[0015]图1为传统微型一体式激光器结构示意图；
[0016]图2为传统微型一体式激光器谐振型的稳区位置；
[0017]图3为本实用新型微型高稳定的一体式激光谐振腔采用透镜的结构示意图；
[0018]图4为本实用新型微型高稳定的一体式激光谐振腔采用柱形透镜的结构示意图；
[0019]图5为本实用新型微型高稳定的一体式激光谐振腔的稳区位置示意图。
[0020]标号说明:
[0021]硅片-3倍频晶体-4 透镜-5 增益介质-6 柱透镜_7。
【具体实施方式】
[0022]为详细说明本实用新型的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图详予说明。
[0023]如图3、4、5所示，本实用新型的一种微型高稳定的一体式激光谐振腔，包括增益介质6、倍频晶体4、透镜5及硅片3;所述透镜5放置于增益介质6及倍频晶体4中间，所述硅片3将增益介质6、倍频晶体4、透镜5三者上表面及下表面分别固定;所述增益介质6的栗浦光入射端面镀有栗浦光增透膜和震荡光增反膜，另一端面镀有震荡光增透膜;所述倍频晶体4与透镜5相邻一端镀有震荡光增透膜，另一端面为输出端面，且镀有震荡光高反光膜和倍频光增透膜。
[0024]所述透镜5可以为光纤透镜或柱透镜，在增益介质6和倍频晶体4之间加入光纤透镜或柱透镜，利用上下硅片3将三者进行固定，用于保护微型谐振腔。此时改进后腔型的稳区位置如图5中黑点位置所示为稳定腔型。
[0025]上述实施方式中，所述增益介质6可以采用Nd: YV04-或PPMgOLN等，采用PPMgOLN能够实现频率转换。
[0026]在又一实施方式中，光纤透镜纵向切面的厚度与增益介质6的厚度相同，采用柱透镜的直径即厚度与增益介质6的厚度相同，在又一改进中倍频晶体4的厚度与增益介质6厚度相同，如此三者的厚度均相同，易于固定，易于保持稳定。
[0027]上述实施方式中，所述的栗浦方式可以为半导体LD近距离直接栗浦，栗浦波长可以为808nm、880nm或888nm，利于激光器小体积化结构，也可以采用透镜整形后进行栗浦，此时有利于提高输出光的光束质量。
[0028]以上所述仅为本实用新型微型高稳定的一体式激光谐振腔的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
【主权项】
1.一种微型高稳定的一体式激光谐振腔，其特征在于:包括增益介质、倍频晶体、透镜及硅片;所述透镜放置于增益介质及倍频晶体中间，所述硅片将增益介质、倍频晶体、透镜三者上表面及下表面分别固定； 所述增益介质的栗浦光入射端面镀有栗浦光增透膜和震荡光增反膜，另一端面镀有震荡光增透膜； 所述倍频晶体与透镜相邻一端镀有震荡光增透膜，另一端为输出端面，且面镀有震荡光高反光膜和倍频光增透膜。2.根据权利要求1所述的微型高稳定的一体式激光谐振腔，其特征在于: 所述增益介质为Nd: YV04-或PPMgOLN。3.根据权利要求1或2所述的微型高稳定的一体式激光谐振腔，其特征在于:所述透镜为光纤透镜或柱透镜。4.根据权利要求3所述的微型高稳定的一体式激光谐振腔，其特征在于:所述透镜纵向切面的厚度与增益介质的厚度相同。5.根据权利要求4所述的微型高稳定的一体式激光谐振腔，其特征在于:所述倍频晶体的厚度与增益介质厚度相同。6.根据权利要求5所述的微型高稳定的一体式激光谐振腔，其特征在于:所述栗浦光入射端面射入的栗浦光波长为808nm、880nm或888nm。
【专利摘要】本实用新型提供微型高稳定的一体式激光谐振腔，包括增益介质、倍频晶体、透镜及硅片；所述透镜放置于增益介质及倍频晶体中间，所述硅片将三者上表面及下表面分别固定；所述增益介质的泵浦光入射端面镀有泵浦光增透膜和震荡光增反膜，另一端面镀有震荡光增透膜；所述倍频晶体与透镜相邻一端镀有震荡光增透膜，另一端面镀有震荡光高反光膜和倍频光增透膜。在增益介质和倍频晶体中间加入透镜，透镜镀有振荡光增透膜，将传统的平平非稳腔变为稳定腔型，并且体积大小变化不大，成本低，易实现，对提高微型一体式谐振腔稳定性有重要意义。
【IPC分类】H01S3/08
【公开号】CN205282869
【申请号】CN201620053521
【发明人】梁万国, 周煌, 陈立元, 冯新凯, 陈怀熹, 李广伟, 邹小林, 缪龙, 刘玉良
【申请人】福建中科晶创光电科技有限公司
【公开日】2016年6月1日
【申请日】2016年1月20日