专利名称：作动器及泵装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及电磁式作动器及通过利用该作动器中的可动体的往复运动起到泵压作用的泵装置。
背景技术：
作为具有电磁式作动器的泵装置，已经有一种关于利用电磁力使配置在气缸内的可动体作往复运动以发挥泵压作用的提案(例如，参照专利文献1，2及3)。
这些传统技术中，专利文献1记载的泵装置中，具有驱动线圈的可动体配置在气缸内，在气缸外配置有环状的磁铁。另外，圆筒状的磁轭从磁铁延伸至驱动线圈的内侧，以与该磁轭的圆筒部分之间夹着线圈的形态在线圈外侧配置铁素体铁心。专利文献2的泵装置中，具有驱动磁铁的可动体可在气缸的轴线方向滑动地配置，驱动线圈配置在气缸的外周侧。专利文献3的泵装置中，具有驱动磁铁的可动体通过弹性构件在气缸的轴线方向上可移动地被支承，驱动线圈配置在气缸的外侧。
专利文献1日本专利特开平5-240163号公报专利文献2日本专利特开2004-124724号公报专利文献3日本专利特开2004-60641号公报但是，专利文献2，3记载的泵装置中，因为驱动磁铁配置在可动体一侧，因而为了不使驱动磁铁被周围的磁性构件吸附，在考虑了驱动磁铁的移动范围的基础上，必须空开驱动磁铁与周围的磁性构件的间隔。另外，为了避免周围的构件被驱动磁铁吸附，或诱发外围设备误动作而屏蔽磁场时，考虑到驱动磁铁的移动范围，需要较大范围地覆盖驱动磁铁的周围。因此，存在作动器外形尺寸增大的问题。
专利文献1记载的泵装置中，可动体进行移动的一侧无法配置磁轭等，在布置上受到限制，磁铁只能配置1个。因此，与线圈交链的磁通密度低，故存在作用于可动体的推力小的问题。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的在于，提供一种小型且能对可动体作用大的推力的作动器及具有该作动器的泵装置。
为了解决上述问题，本发明的作动器，其特征在于，包括固定体，其具有第1磁轭、将同极面向该第1磁轭并夹着该第1磁轭沿轴线方向层叠的一对驱动磁铁、与所述第1磁轭的外周端面相对且层叠在所述一对驱动磁铁的轴线方向外侧的各端面上的第2磁轭；可动体，其具有配置成在所述第1磁轭与所述第2磁轭之间围住该第1磁轭的外周端面周围的线圈、通过对该线圈通电可在轴线方向位移。
本发明的作动器中，在固定体中，将一对驱动磁铁以面向留有间隙的第1磁轭一方的形态在轴线方向上进行层叠，同时与第1磁轭的外周端面相对地配置第2磁轭，故可将来自一对驱动磁铁的磁通从第1磁轭的外周端面高效地引导至与轴线方向正交的方向。因此，相对于以围住第1磁轭外周端面周围的形态配置的线圈的交链磁通密度高，故可对可动体产生大的推力作用。另外，2个驱动磁铁面向同极，但将第1磁轭夹在之间，故驱动磁铁相互之间不会排斥，容易进行组装作业。而且，将驱动磁铁配置在固定体侧，故即使将驱动磁铁与周围的构件接近，驱动磁铁也不会吸附周围的构件。而且，即使为了避免周围的构件被驱动磁铁吸附、或诱发外围设备误动作而屏蔽磁场时，也因驱动磁铁被固定，而能紧凑地覆盖驱动磁铁的周围。因此，可减小作动器外形尺寸。而且，第2磁轭配置成覆盖驱动磁铁及线圈，通过第2磁轭能高效地进行屏蔽。因此，即使从不需要其他屏蔽构件这一点来看，也可使作动器的外形尺寸减小。
本发明中，所述第2磁轭最好具有面向所述第1磁轭的外周端面伸出并与该外周端面相对的环状伸出部。如此构成，可提高相对于第1磁轭与第2磁轭之间配置的线圈的磁通密度。因此，可增大作用于可动体的推力，可提高可动体的响应速度和输出特性。另外，所述第2磁轭由在所述轴线方向上可分割的一对有底圆筒状的磁轭构件构成，将各个筒状筒部的端面以对接的状态配置，所述第2磁轭的底板部分可层叠在所述驱动磁铁的各端面上。如此形成的话，可将所述第2磁轭与所述第1磁轭及一对驱动磁铁之间形成的空间作为所述可动体进行移动的空间。另外，所述线圈卷绕在线圈骨架上构成，故该场合，配置在由所述第2磁轭形成的空间内的导向构件与线圈骨架卡合，最好事先形成所述可动体移动时构成导向作用的导向部。所述线圈被薄片状的弹性构件支承，使该线圈在所述第1磁轭与所述第2磁轭之间可进行所述轴线方向的位移。
应用了本发明的作动器在泵装置中，可用于通过所述可动体的位移进行向泵室内吸引流体和从该泵室排出流体。
该场合，所述可动体例如是用于在通过所述第2磁轭划分形成的空间内相对于该可动体构成轴线方向的一方侧的第1泵室、轴线方向的另一方侧的第2泵室的活塞。
所述可动体也可是用于在通过所述第2磁轭划分形成的空间内相对于该可动体构成轴线方向的一方侧的第1泵室、轴线方向的另一方侧的第2泵室的隔膜。该隔膜具有所述线圈、将该线圈在所述第1磁轭与所述第2磁轭之间以可进行所述轴线方向位移的形态加以保持的薄片状的弹性构件。
本发明的泵装置中，所述第1泵室和所述第2泵室，可采用与共用的流体入口连通、同时与共用的流体出口连通的结构。如此构成，则可从第1泵室和第2泵室交替输送流体，故供给量大，且可抑制脉动的发生。
另外，也可采用具有与所述第1泵室连通的第1流体入口、与所述第2泵室连通的第2流体入口、与所述第1泵室连通的第1流体出口、与所述第2泵室连通的第2流体出口的结构。如此构成，则可利用1台泵装置而分别从第1泵室和第2泵室输送不同的流体。
本发明的作动器中，在固定体中，将一对驱动磁铁以面向留有间隙的第1磁轭一方的形态在轴线方向上进行层叠，同时与第1磁轭的外周端面相对地配置第2磁轭，故可将来自一对驱动磁铁的磁通从第1磁轭的外周端面高效地引导至与轴线方向正交的方向。因此， 相对于以围住第1磁轭外周端面周围的形态配置的线圈的交链磁通密度高，故可对可动体产生大的推力作用。另外，2个驱动磁铁面向同极，但将第1磁轭夹在之间，故驱动磁铁相互之间不会排斥，容易进行组装作业。而且，将驱动磁铁配置在固定体侧，故即使将驱动磁铁与周围的构件接近，驱动磁铁也不会吸附周围的构件。而且，即使为了避免周围的构件被驱动磁铁吸附、或诱发外围设备误动作而屏蔽磁场时，也因驱动磁铁被固定，因而能紧凑地覆盖驱动磁铁的周围。因此，可减小作动器外形尺寸。而且，第2磁轭配置成覆盖驱动磁铁及线圈，通过第2磁轭能高效地进行屏蔽。因此，即使从不需要其他屏蔽构件这一点来看，也可使作动器的外形尺寸减小。
附图的简单说明
图1(a)、(b)分别表示应用了本发明的作动器整体结构的概要剖视图及其磁力线的说明图。
图2是表示应用了本发明的泵装置的俯视图。
图3是分别表示利用图2的A-A线及图2的B-B线剖切应用了本发明的泵装置时的剖视图。
图4是表示图2及图3所示的泵装置的分解立体图。
图5(a)～(c)分别表示将应用了本发明的其他泵装置在相当于图2的A-A线的位置剖切时的剖视图、在相当于图2的B-B线位置剖切时的剖视图、将图(a)中用C线围住的部分放大表示的放大图。
具体实施例方式
以下，参照附图对应用了本发明的作动器及泵装置进行说明。
作动器(整体结构)图1(a)、(b)分别表示应用了本发明的作动器整体结构的概要剖视图及其磁力线的说明图。
如图1(a)所示，本形态的作动器1包括固定体3、具有与固定体3之间构成磁性驱动回路的线圈8的可动体2。
固定体3具有第1磁轭4、夹着该第1磁轭4在轴线方向L上层叠的一对驱动磁铁5、6、第2磁轭7。
第1磁轭4及一对驱动磁铁5、6分别形成为相同直径的圆盘状。驱动磁铁5、6是一面为N极、另一面为S极，在厚度方向磁化的永磁铁，分别将同极(本形态中为N极)面向第1磁轭4。第2磁轭7由在轴线方向L上可分割的一对有底圆筒状的磁轭构件71、72构成，各个筒状筒部711、721的圆环状端面71a、72a以相互之间对接的状态配置。该状态下，第2磁轭7，筒状筒部711、721与第1磁轭4的外周端面40及一对驱动磁铁5、6的外周端面相对，同时底板部分712、722成为层叠在位于驱动磁铁5、6的轴线方向L的外侧的各端面51、61上的状态。
在第2磁轭7中，在磁轭构件71、72的连接部分附近，形成朝第1磁轭4的外周端面40伸出的圆环状的伸出部715、725。因此，如图1(b)所示，能将从一对驱动磁铁5、6导向第1磁轭4的磁通高效地朝着第2磁轭7的伸出部715、725加以引导，磁通从第1磁轭4的外周端面40朝与轴线方向L正交的方向辐射状地射出。另外，导向伸出部715、725的磁通构成从筒状筒部711、721导向底板部分712、722直到S极的环。
可动体2具有线圈8，该线圈8配置成在第1磁轭4与第2磁轭7的伸出部715、725之间围住该第1磁轭4的外周端面40周围。线圈8卷绕在截面为コ字形的由绝缘性树脂构成的线圈骨架9上，由弹性支承构件(未图示)等支承。
(动作)这样构成的作动器1中，在停止向线圈8通电的状态下，可动体2处于图1(a)、(b)所示的待机位置。图1(b)中，当从该状态将从图纸朝向跟前的电流向线圈8通电，则可动体2朝箭头F1所示的方向进行位移。相比之下，将朝向图纸的电流向线圈8通电，则可动体2朝箭头F2所示的方向进行位移。因此，当向线圈8通电交变电流，则可动体2朝箭头F1所示的方向、箭头F2所示的方向交替进行位移。因此，可将可动体2的位移用于各种构件的驱动。
(本形态的主要效果)以上说明的那样，本形态的作动器1中，在固定体中，将一对驱动磁铁5、6以N极面向夹在之间的第1磁轭4的形态在轴线方向L上进行层叠，同时与第1磁轭4的外周端面40相对地配置第2磁轭7，故可将来自一对驱动磁铁5、6的磁通从第1磁轭4的外周端面40高效地引导至与轴线方向L正交的方向。因此，相对于以围住第1磁轭4外周端面40周围的形态配置的线圈8的交链磁通密度高，故可对可动体2产生大的推力作用。
另外，使用了2个驱动磁铁5、6，但将第1磁轭4夹在之间，故驱动磁铁5、6相互之间不会吸附，可容易进行组装作业。
而且，将驱动磁铁5、6配置在固定体3侧，故与将驱动传统5、6配置在可动体侧的场合不同，不必考虑其移动范围。因此，即使将驱动磁铁5、6与周围的构件接近，驱动磁铁5、6也不会被周围的构件磁性吸附而位移紊乱。而且，即使为了避免周围的构件被驱动磁铁5、6吸附、或诱发外围设备误动作而屏蔽磁场时，也因驱动磁铁5、6被固定，因而能紧凑地覆盖驱动磁铁5、6的周围。因此，本形态中，第2磁轭7配置成覆盖驱动磁铁5、6及线圈8，故通过第2磁轭7能高效地进行屏蔽。因此，即使从不需要其他屏蔽构件这一点来看，也可使作动器的外形尺寸减小。因此，本形态的作动器1适合于搭载在带照相机的手机等中的透镜驱动装置、后叙的泵装置等小型设备上。
泵装置的结构例(整体结构)参照图1说明的作动器1可用于可动体2的往复运动构成泵压作用的泵装置中。图2是表示应用了本发明的泵装置的俯视图，图3(a)是表示利用图2的A-A线剖切应用了本发明的泵装置时的剖视图，图3(b)是表示利用图2的B-B线剖切时的剖视图。图4是表示图3所示的泵装置的分解立体图。图4所示的各构件以可动体为中心上下对称配置，且对应的构件的结构具有上下对称的结构。
如图2、图3(a)、(b)及图4所示，本形态的泵装置10在密封外壳50的内部具有电磁式作动器。该作动器与上述的作动器1的结构相同，故说明时对应的部分标上相同的符号进行说明。
本形态的泵装置10中，将可动体2配置成在由第2磁轭7划分形成的空间内，相对于可动体2在轴线方向L的一方侧形成第1泵室11、同时在轴线方向L的另一方侧形成第2泵室12，将可动体2作为在轴线方向L上作往复移动的活塞使用。
进一步具体地说，固定体3具有2个第1磁轭4、夹着该第1磁轭4在轴线方向L上层叠的一对驱动磁铁5、6、第2磁轭7。第1磁轭4在轴线方向L上2个重叠，驱动磁铁5、6形成为相同直径。驱动磁铁5、6是一方的面为N极、另一方的面为S极，在厚度方向磁化的永磁铁，分别将同极(本形态中为N极)面向第1磁轭4。
本形态中，第2磁轭7由一对有底圆筒状的磁轭构件15、16、一对圆环状的磁轭构件17、18构成，在这些磁轭构件重叠的状态下，磁轭构件15、16的底板部分712、722成为层叠在位于驱动磁铁5、6的轴线方向L的外侧的各端面51、61上的状态。另外，圆环状的磁轭构件17、18的内周缘部分朝由第2磁轭7划分形成的空间的内侧突出，通过这些内周缘部分，形成朝第1磁轭4的外周端面40伸出的圆环状的伸出部715、725。在磁轭构件15、16的与磁轭构件17、18的结合部分形成凸缘部分，这些凸缘部分与磁轭构件17、18的外周缘部分之间被密封。另外，在磁轭构件17、18之间夹入密封构件19、10的内周缘部分。
可动体2具有线圈8，该线圈8配置成在第1磁轭4与第2磁轭7之间围住第1磁轭4的外周端面40周围。线圈8卷绕在截面为コ字形的由绝缘性树脂构成的线圈骨架9上。在由第2磁轭7划分形成的空间内，配置有在可动体2移动时进行导向用的圆环状的导向构件22、23，可动体2在导向构件22、23的内周面、第1磁轭4的外周端面40及一对驱动磁铁5、6的外周端面上一边滑动一边在轴线方向L上可进行位移。因此，可动体2起到相对于第1泵室11及第2泵室12的活塞的功能。
在线圈骨架9的两端面，形成与导向构件22、23之间起导向作用的柱状小突起91，另一方面，在导向构件22、23上形成柱状小突起91嵌入的小孔221、231，可动体2在轴线方向L上位移时，柱状小突起91嵌入小孔221、231内的状态下进行移动并被导向，故可动体2不会倾斜。薄壁的板状突起92从线圈骨架9的两端面的外周缘突出，另一方面，在导向构件22、23上形成板状突起92嵌入的槽222、232并被导向，故可动体2不会绕轴线方向L旋转。另外，线圈骨架9的板状突起92被导向导向构件22、23的内周面，故可动体2不会倾斜。而且，薄壁的板状突起93从线圈骨架9的两端面的内周缘突出，该板状突起93在第1磁轭4的外周端面40及一对驱动磁铁5、6的外周端面上进行滑动，故可动体2不会倾斜。
这里，作动器1收容在密闭外壳50内，在该密闭外壳50内形成与第1泵室11及第2泵室12双方连通的共用的流体入口28及共用的流体出口29。密闭外壳50具有形成了收容作动器1用的圆形开口58a、59a的矩形筒状的外壳本体58、59、将外壳本体58、59的圆形开口58a、59a从外侧进行封闭的矩形壳盖53、54。在外壳本体58的一侧形成与共用的流体入口28连通的吸入管30。壳盖53、54与外壳本体58、59一起被小螺钉55等固定。在组装密封外壳50时密封构件19、20的外周缘部分夹入外壳本体58、59之间。
不过，如图4所示，在将密封外壳50分别分解的状态即组装途中的阶段，可从外部面临共用的流体入口28及共用的流体出口29，因而可安装吸入用阀111、121及排出用阀112、122。吸入用阀111是用于防止流体从第1泵室11向吸入管30倒流的构件。吸入用阀1 12是用于防止流体从第2泵室12向吸入管30倒流的构件。排出用阀1 12是用于防止流体从排出管31向第1泵室11倒流的构件。排出用阀122是用于防止流体从排出管31向第2泵室12倒流的构件。
(动作)这样构成的泵装置10的作动器1中，当向线圈8通电交变电流，则可动体2以约为1mm的冲程朝箭头F1所示的方向、箭头F2所示的方向交替进行位移。此时，当可动体2朝箭头F1所示的上侧移动，则流体从第1泵室11通过共用的流体出口29及排出管31送出，另一方面，流体通过吸入管30及共用的流体入口28被导入第2泵室12内。当可动体2相反朝箭头F2所示的下侧移动时，则流体通过吸入管30及共用的流体入口28被导入第1泵室11内，另一方面流体从第2泵室12通过共用的流体出口29及排出管31送出。
(本形态的主要效果)如以上说明的那样，本形态的泵装置10中具有作动器1，该作动器1包括将一对驱动磁铁5、6以N极面向夹在之间的第1磁轭4的形态在轴线方向L上进行层叠的固定体3，在该作动器1中，与第1磁轭4的外周端面40相对地配置第2磁轭7。而且，第2磁轭7具有面向第1磁轭4的外周端面40伸出的伸出部715、725。故可将来自一对驱动磁铁5、6的磁通从第1磁轭4的外周端面40高效地引导至与轴线方向L正交的方向。因此，相对于以围住第1磁轭4外周端面40周围的形态配置的线圈8的交链磁通密度高，故可对可动体2产生大的推力作用。因此，作为活塞，可高效地进行向第1泵室11及第2泵室12内吸引流体和从该泵室11、12排出流体。
而且，线圈8及驱动磁铁5、6中，线圈8由可动体2构成，故可实现可动体2的轻量化。因此，将可动体2作为活塞使用时，有大的推力对可动体2作用。另外，可动体2轻量化，故本形态的泵装置10不局限于输送气体，也可输送液体。
另外，第1泵室11和第2泵室12，与共用的流体入口28连通，同时与共用的流体出口29连通，故可将流体交替地从第1泵室11和第2泵室1 2输送，即使泵装置10的尺寸小，也能供给量大且能抑制脉动的发生。
另外，本形态中，尽管2个驱动磁铁5、6同极面对，但夹着2个第1磁轭4，故驱动磁铁5、6之间没有排斥，可容易地进行组装。
而且，将驱动磁铁5、6配置在固定体3侧，故即使将驱动磁铁5、6与周围的构件接近，驱动磁铁5、6也不会被周围的构件磁性吸附。而且，即使为了避免周围的构件被驱动磁铁5、6吸附、或诱发外围设备误动作而屏蔽磁场时，也因驱动磁铁5、6被固定，因而能紧凑地覆盖驱动磁铁5、6的周围。
而且，第2磁轭7配置成覆盖驱动磁铁5、6及线圈8，故通过第2磁轭7能高效地进行屏蔽。因此，即使从不需要其他屏蔽构件这一点来看，也可使作动器的外形尺寸减小。因此，本形态的泵装置10能将厚度薄型化至10mm以下，可用作笔记本个人计算机等中对CPU等的冷却用泵。
泵装置的其他结构例图5(a)～(c)分别表示将应用了本发明的其他泵装置在相当于图2的A-A线的位置剖切时的剖视图，在相当于图2的B-B线位置剖切时的剖视图，将图(a)中用C线围住的部分放大表示的放大图。本形态的泵装置与上述形态的泵装置10基本的结构共用，故对共用的部分标上同一符号并省略其说明。
在图5(a)～(c)中，本形态的泵装置10也与参照图2，图3及图4所说明的泵装置相同，在密封外壳50的内部具有参照图1说明的作动器1。即，在作动器1中，固定体3具有2个第1磁轭4、夹着该第1磁轭4沿轴线方向L层叠的一对驱动磁铁5、6、第2磁轭7。另外，驱动磁铁5、6分别将同极朝向第1磁轭4。另外，第2磁轭7处于层叠在位于驱动磁铁5、6的轴线方向L外侧的各端面51、61上的状态，且具有朝第1磁轭4的外周端面40伸出的圆环状的伸出部715、725。
可动体2具有配置成在第1磁轭4与第2磁轭7的圆环状板构件17、18之间围住该第1磁轭4的外周端面周围的线圈8。
本形态中，可动体2在被2个片状的弹性构件60从轴线方向L的两侧包住的状态下得到支承。在弹性构件60中，重叠成2个的内周缘保持在2个第1磁轭4之间，外周缘保持在伸出部715、725之间。因此，在由第2磁轭7划分而成的空间内，相对于可动体2在轴线方向L的一方侧形成第1泵室11，在轴线方向L的另一方侧形成第2泵室12，可动体2起到相对于第1泵室11及第2泵室12的隔膜的功能。弹性构件60可由以橡胶或纤维为基础的膜状构件、将树脂成形为薄片状的膜状构件等形成。
这里，在2个磁轭4的外周端面40及伸出部715、725的内周端面，分别形成矩形截面的圆环状凹部401、750，该凹部401、750用于收容能使弹性构件60在轴线方向L弹性变形的弹性变形部601、602。
本形态中，第1泵室11及第2泵室12也通过共用的流体出口29与排出管31连接，通过共用的流体出口28与吸入管30连接。在第1泵室11与共用的流体出口29之间、第2泵室12与共用的流体入口28之间配置有吸入用阀111、121及排出用阀112、122。
如此构成的泵装置10中，与参照图2、图3及图4说明的泵装置相同，具有作动器1，该作动器1包括将一对驱动磁铁5、6以N极面向夹在之间的第1磁轭4的形态在轴线方向L上进行层叠的固定体3，在该作动器1中，与第1磁轭4的外周端面40相对地配置第2磁轭7。而且，第2磁轭7具有面向第1磁轭4的外周端面40伸出的伸出部715、725。故可将来自一对驱动磁铁5、6的磁通从第1磁轭4的外周端面40高效地引导至与轴线方向L正交的方向。因此，相对于以围住第1磁轭4外周端面40周围的形态配置的线圈8的交链磁通密度高，故可对可动体2产生大的推力作用。因此，可动体2作为隔膜，可高效地进行向第1泵室11及第2泵室12内吸引流体和从该泵室11、12排出流体等，起到与参照图2、图3及图4所说明的泵装置相同的效果。
其他实施形态上述形态中，将第1泵室11及第2泵室12与共用的流体出口29及共用的流体入口28连接，但只要形成与第1泵室11连通的第1流体入口、与第2泵室12连通的第2流体入口、与第1泵室11连通的第1流体出口、与第2泵室12连通的第2流体出口，利用1台泵装置就可从第1泵室11和第2泵室12分别输送不同的流体。因此，在燃料电池系统等中，可利用1台泵装置进行水和乙醇的搬运等。
在可动体2中，若线圈8的匝数少也可以的话，也可用挠性印刷基板(FPC)来代替线圈8。
权利要求
1.一种作动器，其特征在于，包括固定体，其具有第1磁轭、将同极面向该第1磁轭并夹着该第1磁轭沿轴线方向层叠的一对驱动磁铁、与所述第1磁轭的外周端面相对且层叠在所述一对驱动磁铁的轴线方向外侧的各端面上的第2磁轭；可动体，其具有配置成在所述第1磁轭与所述第2磁轭之间围住该第1磁轭的外周端面周围的线圈、通过对该线圈通电可在轴线方向位移。
2.如权利要求1所述的作动器，其特征在于，所述第2磁轭具有面向所述第1磁轭的外周端面伸出并与该外周端面相对的环状伸出部。
3.如权利要求1所述的作动器，其特征在于，所述第2磁轭由在所述轴线方向上可分割的一对有底圆筒状的磁轭构件构成，将各个筒状筒部的端面以对接的状态配置，所述第2磁轭的底板部分可层叠在所述驱动磁铁的各端面上，将所述第2磁轭与所述第1磁轭及一对驱动磁铁之间形成的空间作为所述可动体进行移动的空间。
4.如权利要求1所述的作动器，其特征在于，所述线圈卷绕在线圈骨架上，配置在由所述第2磁轭形成的空间内的导向构件与该线圈骨架卡合，形成所述可动体移动时构成导向作用的导向部。
5.如权利要求1所述的作动器，其特征在于，所述线圈被薄片状的弹性构件支承，使该线圈在所述第1磁轭与所述第2磁轭之间可进行所述轴线方向的位移。
6.一种泵装置，其特征在于，包括作动器以及通过可动体的位移进行流体的吸引和流体的排出的泵室，其中，所述作动器包括固定体，其具有第1磁轭、将同极面向该第1磁轭并夹着该第1磁轭沿轴线方向层叠的一对驱动磁铁、与所述第1磁轭的外周端面相对且层叠在所述一对驱动磁铁的轴线方向外侧的各端面上的第2磁轭；可动体，其具有配置成在所述第1磁轭与所述第2磁轭之间围住该第1磁轭的外周端面周围的线圈、通过对该线圈通电可在轴线方向位移。
7.如权利要求6所述的泵装置，其特征在于，所述可动体在通过所述第2磁轭划分形成的空间内相对于该可动体构成轴线方向的一方侧的第1泵室、轴线方向的另一方侧的第2泵室的活塞。
8.如权利要求6所述的泵装置，其特征在于，所述可动体在通过所述第2磁轭划分形成的空间内相对于该可动体构成轴线方向的一方侧的第1泵室、轴线方向的另一方侧的第2泵室的隔膜。
9.如权利要求7或8所述的泵装置，其特征在于，所述第1泵室和所述第2泵室与共用的流体入口连通，同时与共用的流体出口连通。
10.如权利要求7或8所述的泵装置，其特征在于，具有与所述第1泵室连通的第1流体入口、与所述第2泵室连通的第2流体入口、与所述第1泵室连通的第1流体出口、与所述第2泵室连通的第2流体出口。
11.如权利要求8所述的泵装置，其特征在于，所述隔膜包括所述线圈；将该线圈在所述第1磁轭与所述第2磁轭之间以可进行所述轴线方向位移的形态加以保持的薄片状的弹性构件。
全文摘要
本发明的泵装置(10)中，作动器(1)包括固定体(3)、其具有第1磁轭(4)、将同极面向该第1磁轭(4)并夹着该第1磁轭(4)沿轴线方向层叠的一对驱动磁铁(5、6)、与第1磁轭(4)的外周端面相对且层叠在一对驱动磁铁的轴线方向外侧的各端面上的第2磁轭(7)；可动体(2)、其具有配置成在第1磁轭(4)与第2磁轭(7)之间围住第1磁轭(4)的外周端面周围的线圈(8)。可动体(2)在由第2磁轭(7)划分而成的空间内形成第1泵室(11)和第2泵室(12)。本发明能提供一种小型且能对可动体作用大的推力的作动器及具有该作动器的泵装置。
文档编号H02K33/00GK1719030SQ200510084460
公开日2006年1月11日 申请日期2005年7月8日 优先权日2004年7月8日
发明者横沢满雄, 杉原广志, 高沢清继 申请人:株式会社三协精机制作所