专利名称：一种干式真空泵用电机的制作方法
技术领域：
本发明属于真空泵领域，具体地说是一种干式真空泵用电机。
背景技术：
现如今半导体、新材料、太阳能和生物制药等行业发展迅速，与之相关的真空获得设备也要适应新的要求:一个是极限真空度要尽量高，另一个是获得的真空环境应该是清洁无油的。在这些新要求的引导下，机械无油真空泵应运而生，干式真空泵越来越多地代替了油扩散泵作为系统的主泵，这样大大降低了真空泵向真空室的返油。国外干式真空泵已经比较成熟，国产干式真空泵刚刚起步，而作为干式真空泵驱动力来源的电机，我国种类比较少，目前国产大多数真空泵电机与泵的主轴采用刚性联轴器连接，这种结构对于干式真空泵来说有很大的弊端，主要表现是起动冲击较大，噪音大，影响零件使用寿命，并且不利于节能降耗，对于大抽速转速大于3000r/s以上的泵更加明显，主动轴轴封长期处于高频振动环境以及材料原因磨损较快，导致真空泵向真空室漏油和漏气现象严重，需要频繁更换轴封，影响泵的正常使用寿命和生产效率，不适合干泵的要求。
发明内容
为了克服现有技术中轴封泄露及起动冲击问题，本发明的目的在于提供一种干式真空泵用电机。本发明把泵与轴的动密封转变为电机定子与泵的静密封，彻底解决了轴封泄露及起动冲击问题。本发明的目的是通过以下技术方案来实现的:一种干式真空泵用电机，包括电机外壳、定子及转子，其中电机外壳内设有带空腔的定子，所述转子安装在干式真空泵的主动轴上、并位于定子的空腔内；所述定子与泵体之间采用止口定位。所述电机外壳上设有水循环冷却管，该水循环冷却管沿定子圆周方向与电机外壳铸造为一体。所述电机外壳为铸铝合金，电机外壳与定子之间灌注环氧树脂。所述转子键连接于干式真空泵的主动轴上；在干式真空泵的主动轴的端部设有对转子轴向定位的转子挡板，该转子挡板通过螺钉固定在主动轴上，在转子挡板与转子之间设有套在主动轴上的弹簧，该弹簧分别抵接于转子挡板和转子。所述弹簧为波形弹簧。所述转子内部设有过热保护结构。所述过热保护结构为热敏电阻。所述转子与定子的内腔之间的间隙小于0.5mm。所述定子与泵体之间采用O型密封圈密封。所述干式真空泵用电机设有变频控制器。本发明具有以下优点:
本发明彻底解决轴封泄露及起动冲击问题，把泵与轴的动密封转变为电机定子与泵的静密封，无须润滑液，彻底解决了轴封泄露及介质污染问题，同时使刚性联轴器引起的高频振动与起动冲击噪声问题也得以解决，电机整体可随意拆卸，方便维修，安装容易、维修工期短，省时省力，降低成本。在抽气过程中可保持真空环境不受污染，适用于半导体、石化、冶金、食品、医药、电子、包装、印刷等行业。
图1为本发明结构示意图。其中:1为泵体,2为O型密封圈,3为水循环冷却管,4为主动轴,5为电机键,6为定子，7为转子，8为弹簧，9为转子压板，10为螺钉，11为电机外壳。
具体实施例方式下面结合附图对本发明作进一步描述。如图1所不,本发明包括电机外壳11、定子6及转子7,其中电机外壳11内设有带空腔的定子6，所述转子7通过电机键5与干式真空泵的主动轴4键连接，并且置于定子6的空腔内。在干式真空泵的主动轴4的端部设有对转子7轴向定位的转子挡板9，该转子挡板9通过螺钉10固定在主动轴4上，在转子挡板9与转子7之间设有套在主动轴4上的弹簧8，该弹簧8分别抵接于转子挡板9和转子7 ;弹簧8为波形弹簧，螺钉10为M12内六角螺钉。定子6与电机外壳11之间采用模具灌注环氧树脂形成转子7旋转的腔；定子6与泵体I之间采用止口定位、并采用氟橡胶O型密封圈2密封；电机外壳11采用铸铝合金。电机外壳11及定子6由水循环冷却管3降温。该水循环冷却管3可设置在电机外壳11上，将该水循环冷却管3沿定子6圆周方向与电机外壳11铸造为一体。为达到电机过热保护，所述电机定子6铁心内部有热敏电阻过热保护结构。热敏电阻的阻值变化可用来控制电机的转速及开关。为取得更好的技术效果，所述安装在主动轴4上的转子7与定子6的间隙小于
0.5mm ;所述转子需经过动平衡检测,不平衡量小于lgmm。为能够实现真空泵的变频启动，减小抽气冲击及增大抽速，本发明的电机还附加变频控制器。所述变频控制器可采用通用型的。本发明电机电源接通时，变频启动，电机转子7通过电机键5带动主动轴4转动，由于电机定子与泵体I之间采用止口定位，由氟橡胶O圈密2密封,定子6内部被抽成真空，此时转子7在真空室内，泵体I与电机之间为静密封，整个结构中不存在传统的动密封及泄露问题，不存在刚性连接冲击启动问题。
权利要求
1.一种干式真空泵用电机，其特征在于:包括电机外壳(11)、定子(6)及转子(7)，其中电机外壳(11)内设有带空腔的定子(6)，所述转子(7)安装在干式真空泵的主动轴(4)上、并位于定子(6)的空腔内；所述定子(6)与泵体(I)之间采用止口定位。
2.按权利要求1所述的干式真空泵用电机，其特征在于:所述电机外壳(11)上设有水循环冷却管(3)，该水循环冷却管(3)沿定子￠)圆周方向与电机外壳(11)铸造为一体。
3.按权利要求1或2所述的干式真空泵用电机，其特征在于:所述电机外壳(11)为铸铝合金，电机外壳(11)与定子(6)之间灌注环氧树脂。
4.按权利要求1或2所述的干式真空泵用电机，其特征在于:所述转子(7)键连接于干式真空泵的主动轴(4)上；在干式真空泵的主动轴(4)的端部设有对转子(7)轴向定位的转子挡板(9)，该转子挡板(9)通过螺钉(10)固定在主动轴(4)上，在转子挡板(9)与转子(7)之间设有套在主动轴(4)上的弹簧(8)，该弹簧(8)分别抵接于转子挡板(9)和转子⑵。
5.按权利要求4所述的干式真空泵用电机，其特征在于:所述弹簧(8)为波形弹簧。
6.按权利要求1或2所述的干式真空泵用电机，其特征在于:所述转子(7)内部设有过热保护结构。
7.按权利要求6所述的干式真空泵用电机，其特征在于:所述过热保护结构为热敏电阻。
8.按权利要求1或2所述的干式真空泵用电机，其特征在于:所述转子(7)与定子(6)的内腔之间的间隙小于0.5_。
9.按权利要求1或2所述的干式真空泵用电机，其特征在于:所述定子(6)与泵体(I)之间采用O型密封圈密封。
10.按权利要求1或2所述的干式真空泵用电机，其特征在于:设有变频控制器。
全文摘要
本发明属于真空泵领域，具体地说是一种干式真空泵用电机，包括电机外壳、定子及转子，其中电机外壳内设有带空腔的定子，所述转子安装在干式真空泵的主动轴上、并位于定子的空腔内；所述定子与泵体之间采用止口定位。本发明彻底解决轴封泄露及起动冲击问题，把泵与轴的动密封转变为电机定子与泵的静密封，无须润滑液，彻底解决了轴封泄露及介质污染问题，同时使刚性联轴器引起的高频振动与起动冲击噪声问题也得以解决，电机整体可随意拆卸，方便维修，安装容易、维修工期短，省时省力，降低成本。在抽气过程中可保持真空环境不受污染，适用于半导体、石化、冶金、食品、医药、电子、包装、印刷等行业。
文档编号H02K5/02GK103107647SQ201110357799
公开日2013年5月15日 申请日期2011年11月11日 优先权日2011年11月11日
发明者李昌龙, 王光玉, 刘在行 申请人:中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司