一种新型电弧离子镀弧电源的制作方法

文档序号:34415527发布日期:2023-06-08 17:11阅读:109来源:国知局
一种新型电弧离子镀弧电源的制作方法

本技术属于电弧离子镀,具体为一种新型电弧离子镀弧电源。


背景技术:

1、真空电弧离子镀,是利用引弧针接触靶材,使正负极短路,当引弧针离开靶面的瞬间拉起电弧进行电弧放电。引弧方式分为电磁引弧和气缸引弧。电磁引弧时引弧杆密闭于真空腔体内,相比于气缸引弧时引弧杆连接真空环境与大气环境,电磁引弧具有往复运动时不会造成真空波动。但随着电弧放电和镀膜过程中的加温,会造成推进弹簧失去弹力,进而使引弧针容易与靶材黏连,不能进行二次引弧。因为镀膜设备是多个靶材同时引燃电弧进行镀膜工作,哪怕出现一个黏连,便会对工件造成严重色差、膜厚难以控制,迫使镀膜中断,对镀膜生产造成巨大的经济损失。当弹簧弹力减小时,必须重新放掉腔体真空,拆掉整套引弧装置,进行弹簧的更换,给生产造成很大的工作难度。这就急需一种电磁加强型电弧离子镀引弧装置,以及相匹配的一种新型电弧离子镀弧电源。


技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种新型电弧离子镀弧电源,以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种新型电弧离子镀弧电源,包括弧电源、引弧装置以及靶材,所述引弧装置包括引弧针,所述引弧针的顶端设有引弧杆,所述引弧杆的左侧设有推进杆,所述推进杆外套设有引弧线圈,所述引弧线圈上设有线圈,所述推进杆位于引弧线圈的中心处设有连接杆,所述引弧杆靠近推进杆处外套设弹簧,所述靶材设在引弧杆下方且位于引弧针的左侧,所述弧电源上设有引弧线圈驱动信号以及推进线圈驱动信号,所述推进杆的左侧设有接线端子,所述弧电源内引弧线圈驱动信号以及推进线圈驱动信号与接线端子相连接,所述弧电源内部装配有引弧电路,引弧电路的电压信号从引弧线圈自动切换至加强推进线圈。

3、作为本实用新型优选的方案,所述弧电源为新型电弧离子镀弧电源,所述弧电源空载电压60-200v,输出电流0-600a。

4、作为本实用新型优选的方案,所述弧电源具有自动引弧功能,自动引弧功能的实现可以通过采集电压、电流、功率来实现。

5、作为本实用新型优选的方案,所述弧电源的自动引弧信号输出为dc24v-220v。

6、作为本实用新型优选的方案,所述弧电源自动引弧功能,引弧时间可调节,灭弧后起弧迅速,判断精准且不出现误动作。

7、作为本实用新型优选的方案,所述弧电源引弧信号分为两组,一组为引弧线圈驱动信号,另一组为推进线圈驱动信号。

8、有益效果:

9、1.本实用新型中,通过新型电弧离子镀弧电源提供两组线圈驱动信号的设计,使一组信号驱动引弧线圈,吸引引弧杆至引弧座内部,弹簧收缩,引弧杆带动引弧针触碰靶材,使引弧针为正极,靶材为负极,当引弧线圈断电时,弹簧舒展,带动引弧杆和联动的引弧针离开靶面,这时瞬时引燃电弧。

10、2.本实用新型中,通过新型电弧离子镀弧电源提供两组线圈驱动信号的设计,使另一组信号驱动推进线圈,当引弧线圈断电同时,给推进线圈施加瞬时电压,当电流流过推进线圈时,产生电磁场,将推进杆瞬间吸引至推进线圈内部,使连接于推进杆前段的连接杆、引弧杆、引弧针产生向前的动能,同时叠加弹簧弹力,迫使引弧针离开靶面。



技术特征:

1.一种新型电弧离子镀弧电源,包括弧电源(5)、引弧装置(6)以及靶材(100),其特征在于:所述引弧装置(6)包括引弧针(1),所述引弧针(1)的顶端设有引弧杆(12),所述引弧杆(12)的左侧设有推进杆(14),所述推进杆(14)外套设有引弧线圈(3),所述引弧线圈(3)上设有线圈(31),所述推进杆(14)位于引弧线圈(3)的中心处设有连接杆(13),所述引弧杆(12)靠近推进杆(14)处外套设弹簧(4),所述靶材(100)设在引弧杆(12)下方且位于引弧针(1)的左侧,所述弧电源(5)上设有引弧线圈驱动信号(51)以及推进线圈驱动信号(52),所述推进杆(14)的左侧设有接线端子(21),所述弧电源(5)内引弧线圈驱动信号(51)以及推进线圈驱动信号(52)与接线端子(21)相连接,所述弧电源(5)内部装配有引弧电路,引弧电路的电压信号从引弧线圈(3)自动切换至加强推进线圈。

2.根据权利要求1所述的一种新型电弧离子镀弧电源,其特征在于:所述弧电源(5)为新型电弧离子镀弧电源,所述弧电源(5)空载电压60-200v,输出电流0-600a。

3.根据权利要求2所述的一种新型电弧离子镀弧电源,其特征在于:所述弧电源(5)具有自动引弧功能,自动引弧功能的实现可以通过采集电压、电流、功率来实现。

4.根据权利要求1所述的一种新型电弧离子镀弧电源,其特征在于:所述弧电源(5)的自动引弧信号输出为dc24v-220v。

5.根据权利要求1所述的一种新型电弧离子镀弧电源,其特征在于:所述弧电源(5)自动引弧功能,引弧时间可调节,灭弧后起弧迅速,判断精准且不出现误动作。

6.根据权利要求1所述的一种新型电弧离子镀弧电源,其特征在于:所述弧电源(5)引弧信号分为两组,一组为引弧线圈驱动信号,另一组为推进线圈驱动信号。


技术总结
本技术公开了一种新型电弧离子镀弧电源,包括弧电源、引弧装置以及靶材,所述引弧装置包括引弧针,所述引弧针的顶端设有引弧杆,所述引弧杆的左侧设有推进杆,所述推进杆外套设有引弧线圈,所述引弧线圈上设有线圈,所述推进杆位于引弧线圈的中心处设有连接杆,所述引弧杆靠近推进杆处外套设弹簧,所述弧电源上设有引弧线圈驱动信号以及推进线圈驱动信号,所述推进杆的左侧设有接线端子,所述开启弧电源内引弧线圈驱动信号以及推进线圈驱动信号与接线端子相连接,所述弧电源内部装配有引弧电路,引弧电路的电压信号从引弧线圈自动切换至加强推进线圈,电磁加强型电弧离子镀引弧装置得以实施,本技术机构简单,设计合理,使用方便。

技术研发人员:张保光
受保护的技术使用者:浙江星辉电子有限公司
技术研发日:20220905
技术公布日:2024/1/12
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