设备安全控制系统的制作方法

本发明涉及半导体，尤其涉及一种设备安全控制系统。

背景技术：

1、随着半导体芯片行业的发展，半导体芯片在各行各业的应用也越来越普及，为了保障半导体芯片的质量，通常会进行电子束缺陷检测。

2、相关技术中，在使用电子束缺陷检测设备进行检测的过程中，若电子束缺陷检测设备出现意外，一般需要通知专业人士到现场并打开配电房进行现场检查，之后再手动跳开低压进线开关，以切断配电柜的供电系统，设备断电流程较为麻烦，这个过程往往需要几个小时甚至更长时间，效率也较为低下。由此，如何在电子束缺陷检测设备发生故障时，快速进行断电，显得至关重要。

技术实现思路

1、针对现有技术中电子束缺陷检测设备若出现意外，需专业人士检查现场，手动切断配电柜的供电系统，设备断电流程较为麻烦，效率也较为低下的情形。

2、根据本发明的第一方面，提供一种设备安全控制系统，该系统包括供电单元、开关单元、交流接触器、安全继电器以及控制模块；所述供电单元用于向所述开关单元、所述控制模块和外部负载设备供电；所述开关单元连接在所述供电单元与所述交流接触器之间，所述交流接触器连接于所述安全继电器，所述安全继电器连接于所述开关单元；所述控制模块包括控制单元和控制按钮，所述控制单元连接于所述安全继电器，所述控制按钮连接于所述控制单元；其中，所述控制单元设置为在所述控制按钮被触发的状态下，能够控制所述安全继电器断开，以使所述交流接触器断开，以断开所述供电单元与外部负载设备之间的电连接；所述开关单元设置为在所述控制按钮未被触发的状态下，能够控制所述安全继电器闭合，以使所述交流接触器闭合，以接通所述供电单元与外部负载设备之间的电连接；在所述控制按钮被触发的状态下，能够控制所述交流接触器断开，以断开所述供电单元与外部负载设备之间的电连接。

3、可选的，所述开关单元包括常闭触点和常开触点，所述常闭触点连接于所述供电单元和所述安全继电器，所述常开触点连接于所述交流接触器和所述安全继电器；在所述控制按钮未被触发的状态下，控制所述开关单元的常开触点闭合，所述安全继电器闭合，以使所述交流接触器闭合，以接通所述供电单元与外部负载设备之间的电连接；在所述控制按钮被触发的状态下，控制所述开关单元的常闭触点断开，所述交流接触器断开，以断开所述供电单元与外部负载设备之间的电连接。

4、可选的，所述交流接触器包括第一控制线圈和至少一个第一触点开关，所述第一触点开关连接在所述供电单元和负载设备之间，所述第一控制线圈连接于所述安全继电器和所述供电单元；所述第一控制线圈设置为在所述安全继电器断开时，或者所述开关单元的常闭触点断开时失电，以使所述第一触点开关断开，以断开所述供电单元与外部负载设备之间的电连接；所述第一控制线圈还设置为在所述开关单元的常开触点闭合时得电，以使所述第一触点开关闭合，以接通所述供电单元与外部负载设备之间的电连接。

5、可选的，所述安全继电器包括电源端子、多个第一输入端子和多个第一输出端子；所述电源端子连接于所述供电单元；其中两个第一输入端子连接于所述控制单元，其中两个第一输出端子分别连接于所述交流接触器和所述开关单元。

6、可选的，所述控制单元为分线盒，所述分线盒设置控制开关，所述控制按钮用于控制所述控制开关断开或关闭；所述控制开关与所述安全继电器连接；所述控制开关在关闭时且所述开关单元的常开触点闭合时，所述安全继电器闭合；所述控制开关在断开时，所述安全继电器断开。

7、可选的，所述控制开关设置有多个常闭触点，所述控制按钮用于控制多个常闭触点；其中，任意一个常闭触点断开时，所述安全继电器断开。

8、可选的，所述控制单元为plc控制器，plc控制器信号连接所述控制按钮；在所述控制按钮被触发的状态下，所述plc控制器配置为在接收到所述控制按钮的触发信号，控制所述安全继电器断开。

9、可选的，所述设备安全控制系统还包括第一断路器和第二断路器；所述第一断路器设置在所述供电单元与所述第一触点开关之间，用于接通或断开所述供电单元与外部负载设备的电连接；所述第二断路器设置在所述第一断路器与所述控制模块之间，用于接通或断开所述供电单元与所述控制模块。

10、可选的，所述设备安全控制系统还包括开关电源，所述开关电源的输入端连接于所述第二断路器，所述开关电源的第一输出端分别连接于所述安全继电器及所述开关单元，所述开关电源的第二输出端分别连接于所述控制模块、所述安全继电器及所述交流接触器。

11、可选的，所述设备安全控制系统还包括重载连接器，所述重载连接器连接于所述供电单元；所述供电单元设置为通过所述重载连接器向所述控制模块和外部负载设备供电。

12、综上所述，本发明提供一种设备安全控制系统，该系统包括：供电单元、开关单元、交流接触器、安全继电器以及控制模块，可以在控制按钮被触发的情况下，通过控制单元或开关单元进行电路的切断，从而断开供电单元与外部负载设备之间的电连接，该方式较为便捷，从而可以快速实现对设备的控制，提高了效率及安全性，尽量降低了安全风险。

技术特征：

1.一种设备安全控制系统，其特征在于，包括供电单元、开关单元、交流接触器、安全继电器以及控制模块；

2.如权利要求1所述的设备安全控制系统，其特征在于，

3.如权利要求2所述的设备安全控制系统，其特征在于，

4.如权利要求2所述的设备安全控制系统，其特征在于，

5.如权利要求2所述的设备安全控制系统，其特征在于，

6.如权利要求3所述的设备安全控制系统，其特征在于，

7.如权利要求1所述的设备安全控制系统，其特征在于，

8.如权利要求6所述的设备安全控制系统，其特征在于，

9.如权利要求8所述的设备安全控制系统，其特征在于，

10.如权利要求1所述的设备安全控制系统，其特征在于，所述设备安全控制系统还包括重载连接器，所述重载连接器连接于所述供电单元；

技术总结
本发明提供一种设备安全控制系统，该系统中供电单元用于向开关单元、控制模块和外部负载设备供电；开关单元连接在供电单元与交流接触器间，交流接触器连接于安全继电器，安全继电器连接于开关单元；控制模块包括控制单元和控制按钮，控制单元连接于安全继电器，控制按钮连接于控制单元；控制单元设置为在控制按钮被触发的状态下，能够控制安全继电器断开，以使交流接触器断开，以断开供电单元与外部负载设备之间的电连接；开关单元设置为能够控制交流接触器断开，以断开供电单元与外部负载设备间的电连接；在控制按钮未被触发的状态下，开关单元还设置为能够控制安全继电器闭合，以使交流接触器闭合，以接通供电单元与外部负载设备间的电连接。

技术研发人员：王庆亚
受保护的技术使用者：东方晶源微电子科技（北京）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13