一种单轴直线式压电驱动滑台控制电路及微动平台的制作方法

本技术属于微动平台，具体涉及一种单轴直线式压电驱动滑台控制电路及微动平台。

背景技术：

1、随着现代科学技术的快速发展，精密微动平台在微机电系统、超精密测量与机械制造、微纳米加工、扫描探针显微镜、光学元件制造及生物医学工程等微纳技术领域应用的越来越广泛。因此，精密微动平台的研制成为人们研究微观领域的重要环节。例如，光刻机作为精密平台的典型应用在集成电路产业中是最为核心的关键设备，而精密微动平台作为光刻机系统中的多自由度定位及矫正补偿机构是实现光刻标准线宽，获得高质量光刻图形的首要条件，决定了光刻机最终的光刻分辨率，是实现纳米级别精密定位的核心条件。

2、现有的运动平台的驱动方式多以液压驱动和气压驱动，虽然推力大，但是精度低且需要有液压或气压的循环系统，不适用于较小的微动平台结构。

3、因此，亟需开发一种新的单轴直线式压电驱动滑台控制电路及微动平台，以解决上述问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种单轴直线式压电驱动滑台控制电路及微动平台。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种单轴直线式压电驱动滑台控制电路，其包括：控制模块、电流采集模块、电流转电压模块和驱动输出模块；其中所述电流采集模块的输入端连接驱动输出模块的输出端，所述电流采集模块的输出端连接电流转电压模块的输入端，所述电流转电压模块的输出端连接控制模块，所述驱动输出模块的输入端、输出端分别连接控制模块、压电电机；所述控制模块适于控制驱动输出模块向压电电机输出相应驱动信号；以及所述电流采集模块适于采集驱动输出模块的输出电流信号，且经所述电流转电压模块转换为电压信号送入控制模块。

3、进一步，所述控制模块包括：控制芯片；所述控制芯片适于调整输出pwm脉冲的周期和占空比，以调整所述驱动输出模块的分辨率和速度。

4、进一步，所述电流采集模块包括：采样电阻；所述采样电阻连接驱动输出模块与电流转电压模块；所述采样电阻适于采集驱动输出模块的输出电流信号以送入电流转电压模块。

5、进一步，所述电流转电压模块包括：放大器；所述放大器的同相输入端连接采样电阻，所述放大器的输出端连接控制芯片；输出电流信号经所述放大器转换为电压信号送入控制芯片。

6、进一步，所述驱动输出模块包括：两路变压驱动电路；两路所述变压驱动电路的输入端分别连接控制芯片，两路所述变压驱动电路的输出端分别连接压电电机；所述控制芯片适于控制两路变压驱动电路向压电电机输出相应驱动信号。

7、进一步，每路所述变压驱动电路包括：驱动器；所述驱动器适于将控制芯片输出的pwm脉冲转换为驱动信号。

8、进一步，所述驱动器通过旁路电路进行滤波，以将pwm脉冲的波形转换为接近正弦波形的波形。

9、进一步，所述控制芯片适于根据驱动输出模块的输出电流信号的大小判断驱动输出模块是否运行、运行速度是否超限。

10、进一步，所述的单轴直线式压电驱动滑台控制电路还包括：两个手动按钮；两个所述手动按钮分别与控制模块电性连接，以向所述控制模块发出手动控制信号。

11、另一方面，本实用新型提供一种微动平台，其包括：平台本体和如上述的单轴直线式压电驱动滑台控制电路；所述单轴直线式压电驱动滑台控制电路适于驱动平台本体进行工作。

12、本实用新型的有益效果是，本实用新型通过电流采集模块、电流转电压模块采集输出信号送入控制模块，由控制模块实现反馈调节驱动输出模块的输出电流，一方面实现对输出监控，保证设备运行的安全性，另一方面实现闭环调节，解决误差大、精度低的问题。

13、本实用新型的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。

14、为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

技术特征：

1.一种单轴直线式压电驱动滑台控制电路，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的单轴直线式压电驱动滑台控制电路，其特征在于，

3.如权利要求2所述的单轴直线式压电驱动滑台控制电路，其特征在于，

4.如权利要求3所述的单轴直线式压电驱动滑台控制电路，其特征在于，

5.如权利要求2所述的单轴直线式压电驱动滑台控制电路，其特征在于，

6.如权利要求5所述的单轴直线式压电驱动滑台控制电路，其特征在于，

7.如权利要求6所述的单轴直线式压电驱动滑台控制电路，其特征在于，

8.如权利要求2所述的单轴直线式压电驱动滑台控制电路，其特征在于，

9.如权利要求1所述的单轴直线式压电驱动滑台控制电路，其特征在于，还包括：

10.一种微动平台，其特征在于，包括：

技术总结
本技术属于微动平台技术领域，具体涉及一种单轴直线式压电驱动滑台控制电路及微动平台，本单轴直线式压电驱动滑台控制电路包括：控制模块、电流采集模块、电流转电压模块和驱动输出模块；控制模块控制驱动输出模块向压电电机输出相应驱动信号；以及电流采集模块采集驱动输出模块的输出电流信号，且经电流转电压模块转换为电压信号送入控制模块；本技术通过电流采集模块、电流转电压模块采集输出信号送入控制模块，由控制模块实现反馈调节驱动输出模块的输出电流，一方面实现对输出监控，保证设备运行的安全性，另一方面实现闭环调节，解决误差大、精度低的问题。

技术研发人员：于晶,武保同
受保护的技术使用者：常州速稳智能机械有限公司
技术研发日：20230610
技术公布日：2024/1/15