一种应用于多腔室半导体设备EMO电路的制作方法

本技术属于半导体制造，具体涉及一种应用于多腔室半导体设备emo电路。

背景技术：

1、对于多腔室半导体设备而言，根据生产工艺需求的不同，半导体设备上所配置的工艺模块可为单腔室、双腔室及多腔室。例如半导体rtp(rapid thermal processing，快速热处理)设备，其功能包括离子注入退火、硅化处理、快速热氧化及尖峰退火等，一般按照工艺要求进行不同功能的工艺腔室配置。由于rtp设备需要大功率的晶闸管进行加热处理，不同的工艺腔室都有单独的供电柜。对于rtp设备emo(emergency machine off，紧急急停)功能要求，为了保护人和设备，当机台任何一个emo按钮被按下，整机都要断电；而且emo电路需要采用双触点设计，以防止emo触点损坏或失效而无法切断电源供电。

2、目前多腔半导体设备采用的是双触点单回路设计，安全等级低；而且多个工艺腔室emo之间互联方式比较繁琐，不利于线缆安装及维护

3、现有双触点单回路设计，安全等级低。多个工艺腔室emo之间互联方式比较繁琐，不利于线缆安装及维护。

技术实现思路

1、基于现有技术存在的问题，本实用新型提供一种应用于多腔室半导体设备emo电路。本实用新型的应用于多腔室半导体设备emo电路具体为一种应用于多腔室半导体设备的双触点双回路emo电路，以提高供电系统安全等级，并且简化emo电路互联方式便于线缆安装及维护

2、依据本实用新型的技术方案，提供一种应用于多腔室半导体设备emo电路，其包括：第一连接器，针脚位数大于2，用于直流电力传输；第二连接器，针脚位数大于2，用于直流电力传输；第三连接器，针脚位数大于2，用于直流电力传输；第四连接器，针脚位数大于2，用于直流电力传输；第五连接器，针脚位数大于2，用于直流电力传输；第六连接器，针脚位数大于2，用于直流电力传输；开关电源，输入电力为220vc，输出电力为24vdc，给安全回路提供直流电力；第一配电柜，输出电力为三相四线208vc，给半导体腔室的所有用电设备提供电力；腔室emo按钮，其是双触点紧急急停按钮，当其被按下时切断主供电。

3、其进一步包括：第一接触器，线圈输入电压为24vdc，其控制主电力输出；第二接触器，线圈输入电压为24vdc，控制主电力输出；配电柜emo按钮，其是双触点紧急急停按钮，当其被按下时切断主供电；安全继电器，输入电压为24vdc，其具有两对开关量触点，其是安全控制回路的重要器件，通过腔室emo和配电柜emo来控制主接触器的通断。

4、其进一步包括：第一触点和第二触点，第一触点和第二触点均为安全继电器的开关量触点，此两者闭合是安全继电器吸合的必要条件；第三触点和第四触点，第三触点和第四触点均为安全继电器的开关量触点，此两者闭合是安全继电器吸合的必要条件；第一常开干结点，其为安全继电器的干结点；当安全继电器吸合时，其由常开触点变为闭合触点；第二常开干结点，其为安全继电器的干结点；当安全继电器吸合时，其由常开触点变为闭合触点；第一互联线缆、第二互联线缆和第三互联线缆，电导线，其作用是传递直流电力；第一互联线缆、第二互联线缆和第三互联线缆，电导线等线缆互联，形成双触点双回路的安全控制电路。

5、优选地，前述连接器需要满足阻燃认证ul94v-0。

6、进一步地，工艺腔室的电力来源由第一配电柜提供；安全继电器的第二触点连接第二连接器第一端，第二连接器第一端连接第一连接器第一端，第一连接器第一端连接第一配电柜emo按钮第一端，第一配电柜emo按钮第三端连接第四连接器第一端，第四连接器第一端连接工艺腔室emo按钮第一端，工艺腔室emo按钮第三端连接第三连接器第一端，第三连接器第一端连接安全继电器第一触点，其构成emo的第一回路。

7、更进一步地，安全继电器第四触点连接第二连接器第二端，第二连接器第一端连接第一连接器第一端，第一连接器第二端连接第一配电箱emo按钮第二端，第一配电柜emo按钮第四端连接第四连接器第二端，第四连接器第二端连接工艺腔室emo按钮第二端，工艺腔室emo按钮第四端连接第三连接器第二端，第三连接器第二端连接安全继电器第三触点，其构成emo的第二回路。

8、优选地，当两个emo回路同时导通时，安全继电器得电使其第一常开干结点和第二常开干结点闭合，使得第一接触器和第二接触器得电，从而控制第一配电柜电力输出；开关电源为第一接触器和第二接触器线圈提供24vdc电力。

9、更优选地，通过第一配电柜第五连接器和第六连接器使用第四互联线缆、第五互联图线缆、第六互联线缆和第七互联线缆，得到双工艺腔室的emo电路。

10、另外地，两个工艺腔室的电力来源由第一配电柜和第二配电柜提供；安全继电器第二触点连接第二连接器第一端，第二连接器第一端连接第一连接器第一端，第一连接器第一端连接第一配电柜emo按钮第一端，第一配电柜emo按钮第三端连接第四连接器第一端，第四连接器第一端连接第一工艺腔室emo按钮第一端，第一工艺腔室emo按钮第三端连接第七连接器第一端，第七连接器第一端连接第二配电柜emo按钮第一端。

11、优选地，第二配电柜emo按钮第三端连接第十连接器第一端，第十连接器第一端连接第二腔室emo按钮第一端，第二腔室emo按钮第三端连接第三连接器第一端，第三连接器第一端连接安全继电器第一触点，安全继电器第一触点连接第五连接器第一端，第五连接器第一端连接第九连接器第一端，第九连接器第一端连接第二安全继电器第一触点，安全继电器第一触点连接第六连接器第一端，第六连接器第一端连接第八连接器第一端，第八连接器第一端连接第二安全继电器第二触点，以构成emo的第一回路。

12、与现有技术相比，本实用新型应用于多腔室半导体设备emo电路的有益效果在于：

13、1、本专利采用双触点双回路emo电路和设计多个穿板连接器的技术手段，提高供电系统安全等级，以及简化了emo电路互联方式便于线缆安装和维护。本专利不仅适用于半导体单腔设备，也适用于半导体多腔设备。

14、2、设计新的emo电路，通过emo双触点和安全继电器，增加冗余设计使安全回路为双触点双回路，使供电系统安全等级为ple。当半导体设备从单腔到多腔进行转变时，通过增加电柜穿板连接器，即保证了安全回路为双触点双回路，同时做到了兼容性。

技术特征：

1.一种应用于多腔室半导体设备emo电路，其特征在于：其包括以下部件：

2.根据权利要求1所述的应用于多腔室半导体设备emo电路，其特征在于，其进一步包括：

3.根据权利要求2所述的应用于多腔室半导体设备emo电路，其特征在于，其进一步包括：

4.根据权利要求3所述的应用于多腔室半导体设备emo电路，其特征在于，所述连接器需要满足阻燃认证ul94v-0。

5.根据权利要求3所述的应用于多腔室半导体设备emo电路，其特征在于，工艺腔室的电力来源由第一配电柜提供；安全继电器的第二触点连接第二连接器第一端，第二连接器第一端连接第一连接器第一端，第一连接器第一端连接第一配电柜emo按钮第一端，第一配电柜emo按钮第三端连接第四连接器第一端，第四连接器第一端连接工艺腔室emo按钮第一端，工艺腔室emo按钮第三端连接第三连接器第一端，第三连接器第一端连接安全继电器第一触点，其构成emo的第一回路。

6.根据权利要求5所述的应用于多腔室半导体设备emo电路，其特征在于，安全继电器第四触点连接第二连接器第二端，第二连接器第一端连接第一连接器第一端，第一连接器第二端连接第一配电箱emo按钮第二端，第一配电柜emo按钮第四端连接第四连接器第二端，第四连接器第二端连接工艺腔室emo按钮第二端，工艺腔室emo按钮第四端连接第三连接器第二端，第三连接器第二端连接安全继电器第三触点，其构成emo的第二回路。

7.根据权利要求6所述的应用于多腔室半导体设备emo电路，其特征在于，当两个emo回路同时导通时，安全继电器得电使其第一常开干结点和第二常开干结点闭合，使得第一接触器和第二接触器得电，从而控制第一配电柜电力输出；开关电源为第一接触器和第二接触器线圈提供24vdc电力。

8.根据权利要求3所述的应用于多腔室半导体设备emo电路，其特征在于，通过第一配电柜第五连接器和第六连接器使用第四互联线缆、第五互联图线缆、第六互联线缆和第七互联线缆，得到双工艺腔室的emo电路。

9.根据权利要求8所述的应用于多腔室半导体设备emo电路，其特征在于，两个工艺腔室的电力来源由第一配电柜和第二配电柜提供；安全继电器第二触点连接第二连接器第一端，第二连接器第一端连接第一连接器第一端，第一连接器第一端连接第一配电柜emo按钮第一端，第一配电柜emo按钮第三端连接第四连接器第一端，第四连接器第一端连接第一工艺腔室emo按钮第一端，第一工艺腔室emo按钮第三端连接第七连接器第一端，第七连接器第一端连接第二配电柜emo按钮第一端。

10.根据权利要求8所述的应用于多腔室半导体设备emo电路，其特征在于，第二配电柜emo按钮第三端连接第十连接器第一端，第十连接器第一端连接第二腔室emo按钮第一端，第二腔室emo按钮第三端连接第三连接器第一端，第三连接器第一端连接安全继电器第一触点，安全继电器第一触点连接第五连接器第一端，第五连接器第一端连接第九连接器第一端，第九连接器第一端连接第二安全继电器第一触点，安全继电器第一触点连接第六连接器第一端，第六连接器第一端连接第八连接器第一端，第八连接器第一端连接第二安全继电器第二触点，以构成emo的第一回路。

技术总结
本技术提供一种应用于多腔室半导体设备EMO电路，其属于半导体制造技术领域，其具体为一种应用于多腔室半导体设备的双触点双回路EMO电路，其通过EMO双触点和安全继电器，增加冗余设计使安全回路为双触点双回路，使供电系统安全等级为PLe；当半导体设备从单腔到多腔进行转变时，通过增加电柜穿板连接器，保证安全回路为双触点双回路，同时做到了兼容性。

技术研发人员：金洲,赵丽新,卢志辉,李志达
受保护的技术使用者：盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
技术研发日：20230612
技术公布日：2024/1/15