专利名称：弹性表面波器件的制作方法
技术领域：
本发明是关于一种例如用作带通滤波器的弹性表面波器件，更详细点说，关于输入端子和输出端子的一方是不平衡信号端子的弹性表面波器件。
背景技术：
近年来，就使用于移动电话机RF频带的弹性表面波器件来说，要求具有平衡-不平衡转换功能，所谓的平衡功能，并可使用在GSM方式移动电话机的RF频带等。
就平衡—不平衡转换功能而言，要求平衡一侧的一对端子振幅差(以下，称为振幅平衡特性)接近于0，相位差(以下，称为相位平衡特性)接近180°。
图6中简略表示具有已有的平衡—不平衡转换功能的弹性表面波器件的一个例子。
图6中表示的弹性表面波器件200，是在压电衬底上由Al电极形成纵耦合振子型SAW滤波器201、202和通道型SAW振子203、204。SAW滤波器201、202的输入侧被并联连接起来，并连接到不平衡信号端子205。并且，将SAW振子203、204分别串联连接到SAW滤波器201、202的输出侧，SAW振子203、204分别与平衡信号端子206、207连接起来。
由图6很清楚，SAW滤波器202中，邻接反射器的不平衡侧IDT201a、201b相对于邻接SAW滤波器202的反射器IDT201a、201b倒过来。因此，由平衡信号端子206输出的信号与平衡信号端子207输出信号的相位就相差180°。
发明内容
图6所示的构成中，SAW滤波器201的IDT201a、201b的多条电极指之中，邻接中央IDT201c的电极指201d、201e连接到不平衡信号端子205。对此，就SAW滤波器202而言，IDT201a、201b的多条电极指之中，邻接中央IDT202c的电极指202d、202e连接到地电位。所以，SAW滤波器202的特性不是简单地使SAW滤波器201的相位倒转180°。因此，弹性表面波器件200中，相位平衡特性不得不偏离理想的180°。
并且，具有已有的平衡—不平衡转换功能的弹性表面波器件中，进而，从不平衡信号端子到一对平衡信号端子的压电衬底上的布线构造等的布局，作为基准，有时使不平衡信号端子不对称。此时，到一对平衡信号端子为止路径的寄生电容大小不同，因而往往也使相位平衡天特性恶化。
鉴于上述现有技术的现状，本发明的目的在于提供一种具有平衡—不平衡转换功能，而且相位平衡特性优良的弹性表面波器件。
按照第1发明的宽广方面，提供一种具备压电衬底和该压电衬底上配置的至少一个IDT，输入端子和输出端子的一方是不平衡信号端子，另一方是第1、第2平衡信号端子的弹性表面波器件，其特征是，在上述不平衡信号端子与第1平衡信号端子之间的路径中，在上述不平衡信号端子一侧附加延迟线。这时，理想的是，在电压衬底上边，形成上述延迟线。
按照第2发明的另一个宽广方面，是提供一种弹性表面波器件，其特征是，该器件具备具有压电衬底和该压电衬底上沿弹性表面波传播方向设置的多个IDT的第1弹性表面波滤波元件，和具有压电衬底和该压电衬底上沿弹性表面波传播方向设置的多个ID并使T传输相位特性与上述第1弹性表面波滤波元件有约180°不同的第2弹性表面波滤波元件；上述第1、第2弹性表面波滤波元件各自具有输入端子和输出端子，第1、第2弹性表面波滤波元件的输入端子和输出端子的一方端子在共同连接点进行共同连接，而且不平衡信号端子连接到该共同连接点，上述输入端子和输出端子的另一方端子分别作为第1、第2平衡信号端子；上述共同连接点与第1弹性表面波滤波元件之间附加延迟线。理想的是，在压电衬底上边形成上述延迟线。
并且，在第2发明的特定方面，上述共同连接点和与该共同连接点电连接起来的第1弹性表面波滤波元件的IDT之间的信号线路径长度，跟该共同连接点电连接起来的第2弹性表面波滤波元件的IDT之间的信号线路径长度不同。
在本发明(第1、第2的发明)的某特定方面，用上述延迟线，在不平衡信号端子与第1平衡信号端子之间的路径和不平衡信号端子与第2平衡信号端子之间的路径上构成，使输入输出的电信号相位有05°～4°不同。
在本发明(第1、第2的发明)的另一特定方面，还具备附加于上述一对平衡信号端子的一方，而且在压电衬底上边形成的第2延迟线。这时，理想的是这样构成，用上述延迟线和第2延迟线，在不平衡信号端子与第1平衡信号端子之间的路径和不平衡信号端子与第2平衡信号端子之间的路径上，使输入输出的电信号相位有05°～4°不同。
按照第3发明的宽广方面，提供一种弹性表面波器件，其特征是，该器件具备具有压电衬底和该压电衬底上沿弹性表面波传播方向设置的多个IDT的第1弹性表面波滤波元件，和具有压电衬底和该压电衬底上沿弹性表面波传播方向设置的多个IDT并使传输相位特性与上述第1弹性表面波滤波元件有180°不同的第2弹性表面波滤波元件；上述第1、第2弹性表面波滤波元件各自具有输入端子和输出端子，第1、第2弹性表面波滤波元件的输入端子和输出端子的一方端子在共同连接点进行共同连接，而且在该共同连接点连接有不平衡信号端子，上述输入端子和输出端子的另一方端子分别成为第1、第2平衡信号端子；上述共同连接点和与该共同连接点电连接的第1弹性表面波滤波元件的IDT之间的信号线路径长度，跟上述共同连接点和与该共同连接点电连接的第2弹性表面波滤波元件的IDT之间的信号线路径长度不同。
在第3发明的某特定方面，上述共同连接点和与该共同连接点电连接的第1弹性表面波滤波元件的IDT之间的信号线路径长度，跟该共同连接点和与该共同连接点电连接的第2弹性表面波滤波元件的IDT之间的信号线路径长度不同，使在上述不平衡信号端子与第1平衡信号端子之间的路径和不平衡信号端子与第2平衡信号端子之间的路径输入输出电信号的相位有05°～4°不同。
进而，在本发明另一个限定的方面，上述压电衬底上边，上述不平衡信号端子与第1平衡信号端子之间的信号线路径长度和上述不平衡信号端子与第2平衡信号端子之间的路径长度不同，当设定中心频率为fc(MHz)时，路径长度差L(mm)是417/fc＜L＜3330/fc。
图1是本发明一个实施例的弹性表面波器件的模式平面图。
图2是表示实施例和已有例的弹性表面波器件传输特性的图。
图3是表示实施例和已有例的弹性表面波器件振幅平衡特性的图。
图4是表示实施例和已有例的弹性表面波器件相位平衡特性的图。
图5是表示本发明弹性表面波器件的变形例的模式平面图。
图6是表示已有弹性表面波器件的一例的模式平面图。
具体实施例方式
以下，通过一边参照附图一边具体地说明本发明，将使本发明更清楚。
图1是本发明第1实施例的弹性表面波器件的模式平面图。
本实施例中，在压电衬底上边由Al电极形成图1所示的电极构造。至于压电衬底，可采用40±5°Y切割X传播LiTaO3衬底。不过，构成压电衬底的压电材料不限定于此，也可以采用其它切割角的LiTaO3衬底或64～72°Y切割X传播LiNbO3和41°Y切割X传播LiNbO3等压电单晶衬底、或压电陶瓷衬底。
在上述压电衬底上边，形成第1、第2的纵耦合振子型SAW滤波器101、102，和一通道型SAW振子103、104。
就SAW滤波器101而言，沿着表面波传播方向配置IDT105～107。在形成IDT105～107部分的表面波传播方向两侧，配置反射器108、109。
面临IDT105与IDT106之间间隔和IDT106与IDT107之间间隔的多条电极指间距，比IDT其它部分的电极指间距还小。例如，在由图1的A、A表示部分配置的多条电极指间距，比IDT105～107的其它部分电极指间距还小。
与SAW滤波器101同样构成SAW滤波器102。但是，SAW滤波器102的IDT105′和IDT107′的指向，与SAW滤波器101的IDT105、107的指向为上下方向颠倒。即，IDT105′、107′的取向相对于IDT105、107相反，使得SAW滤波器101的输出信号与SAW滤波器102的输出信号变成相反相位。
SAW振子103、104，各自与SAW滤波器101、102的输出端子串联连接。
弹性表面波器件100中，SAW滤波器101、102的输入端子在共同连接点110进行共同连接，共同连接点110连接到用作输入信号端子的不平衡信号端子112。
另一方面，在SAW振子103、104的输出一侧，用作输出端子，各自连接第1、第2的平衡信号端子113、114。
进而，本实施例中，在SAW滤波器101是输入侧与共同连接点110之间插入延迟线117。延迟线117是附加于本发明的不平衡信号端子一侧的延迟线。并且，SAW振子103与平衡信号端子113之间插入第2延迟线116。
延迟线116、117是采用折叠由Al电极构成的信号线，使传输路径延长而构成。
以下示出本实施例的弹性表面波器件具体设计内容。另外，以下，所谓间隔，就是指2条电极指的中心间距离。
SAW滤波器101、102中电极指交叉宽度＝75μmSAW滤波器101、102中IDT的电极指条数IDT105的电极指条数＝22条。但是，22条电极指中，3条电极指是上述的狭间距部电极指。
IDT106的电极指条数＝33条。但是，33条电极指中，配置于表面波传播方向版的各3条电极指是狭间距部电极指。
IDT107的电极指条数＝22条。但是，22条电极指中，3条电极指是上述的狭间距部电极指。
将IDT105′、106′、107′的电极指条数，作成与IDT105、106、107同样。
反射器108、109的电极指条数＝120条IDT105～107、105′～107′的波长λI＝2.1422μm。但，IDT的狭间距部波长为1.9295μm反射器的波长λR＝2.1770μmSAW滤波器101、102中IDT-IDT间隔＝0.4432λRSAW滤波器101、102中IDT-反射器间隔＝0.496λRSAW滤波器101、102中IDT的电极指宽度/间距＝占空比＝0.63SAW振子103、104的电极指交叉宽度＝40μmSAW振子103、104的IDT条数＝201条SAW振子103、104中反射器的电极指条数＝各30条SAW振子103、104中IDT的波长和反射器的波长＝2.096μm延迟线116路径长度＝350μm
延迟线117路径长度＝350μm图2～图4中，表示要构成上述那样弹性表面波器件的特性。为了比较，除了没有设置延迟线116、117以外都作成与上述实施例同样，图2～图4中也示出设计的图6中表示的已有例弹性表面波器件的特性。图2表示频率—传输振幅特性，图3表示频率——振幅平衡特性，图4表示频率—相位平衡特性。图2中，虚线是右侧按比率放大表示的特性，已有例和实施例的特性几乎一致，所以重叠起来。在图3和图4中，实施例的特性都用实线表示，已有例的特性都用虚线表示出来。
从图2和图3清楚可知，本实施例弹性表面波器件的频率—传输振幅特性和频率—振幅平衡特性，与上述已有例几乎没有差别。
另一方面，从图4清楚可知，实施例的弹性表面波器件100中，与已有例的弹性表面波器件比较，通频带内大大改善了相位平衡特性。即，对已有例而言，在通频带内1865MHz附近，相位平衡特性从180°偏移最大7.2°，与此相反，对本实施例而言，该频率附近的相位平衡特性的偏移为5.8°相当小。
并且，就已有例而言，相位平衡特性从180°向负方向偏移，与此相反，就本实施例而言，通频带内整个范围，相位平衡特性向正方向偏移约1.5°，所以获得通频带内良好的相位平衡特性。这是因为仅延迟线116、117的路径长度部分，延迟由用作输出信号端子的第1平衡信号端子113输出信号相位的缘故。
另外，对于没有上述延迟线116、17的已有弹性表面波器件200，通频带内的大部分，因为相位平衡特性从180°向负方向偏移，而本实施例中，在不平衡信号端子112和第1平衡信号端子113的信号线一侧附加延迟线116、117，因此相位平衡特性向正方向偏移。
可是，在相当于不附加延迟线的已有例中，相位平衡特性偏向正方向的场合，相反，只要在不平衡信号端子112与第2平衡信号端子114之间的信号线侧附加延迟线，就可使相位平衡特性向负方向偏移。这时，第2平衡信号端子114变成本发明的第1平衡信号端子。
换句话说，本发明就是，通过使从不平衡信号端子112到第1平衡信号端子113的路径长度与从不平衡信号端子112到第2平衡信号端子114的路径长度不同，调整由SAW滤波器101和SAW滤波器102的不同构造而发生的，由SAW滤波器101输出的信号相位与由SAW滤波器102输出的信号相位之差，改善相位平衡特性。
并且，如上所述，本实施例的弹性表面波器件100中，延迟线116、117被配置在压电衬底上边。延迟线116、117也可以是构成为装配压电衬底的组件(图未示出)。但是，在变更组件设计方面，实际试制要很长时间，需要许多劳力和成本。并且，即使在变成能够大量生产的阶段，减少了组件的通用性，而且也提高组件的成本。
因此，实施例中，在压电衬底一侧配置延迟线116、117。于是，可以光刻工艺，很容易且高精度形成延迟线，而且也容易变更延迟线设计。并且，由于获得组件共同化，所以组件的通用性也提高了。
并且，本实施例中，在具有平衡—不平衡转换功能的弹性表面波器件，采用附加于第1平衡信号端子113侧附加的延迟线116和组件共同连接点110侧附加的延迟线117。这时，由延迟线116和延迟线117的合计路径长度决定延迟时间、相位平衡特性的位移量。因此，采用设置两者延迟线116、117的办法，可更大偏移相位平衡特性。换句话说，可将需要长度的延迟线分散到2个地方。因此，可缩短每条延迟线的路径长度，在压电衬底上的限定间隔内很容易配置延迟线。
可是，本实施例中，也不一定设置延迟线116，只要设置延迟线117就行，由此如上述一样，可以大大改善相位平衡特性。
并且，采用倒装法，把弹性表面波器件100装配成组件的场合，在压电衬底上设置信号端子112、113、114的部分，添加由金等构成的凸块，此时，对信号端子112～114来说，就需要用于凸块焊接的很大占有面积。特别是，在平衡信号端子113、114一侧，有时不能确保配置延迟线116的空间。这种情况下，按照本实施例，在不平衡信号端子112的一侧，因为配置延迟线117的空间有富裕，在压电衬底上边，就很容易配置延迟线17。
另外，上述实施例中，虽然将延迟线117设置在共同连接点110与IDT105、107之间的一部分信号路径中，但也可以用其它方式构成延迟线117。例如，也可以在图1中的不平衡信号端子112与共同连接点110之间的信号路径部分和共同连接点110与IDT105、107之间的信号路径部分间，采用插入金属线的办法，构成延迟线117。即，也可以通过使用连接连着不平衡信号端子112的电极焊区和连着到IDT105、107的电极焊区的金属线，连接共同连接点110与IDT105、107而构成延迟线。
具有应用本实施例的平衡—不平衡转换功能的弹性表面波器件，只要2个SAW滤波器在不平衡信号端子侧是电共同连接起来的形式，就没有特别限定。即，不仅图1中示出的构成，而且例如如图5所示，也可以是具有纵耦合共振型SAW滤波器101、101A为2段纵向连接的第1SAW滤波元件和纵耦合共振型SAW滤波器101′、10A′为2段纵向连接的第2SAW滤波元件。并且，对于图1中所示的构成，当然就连SAW振子103、104也可以不一定设置。
上述实施例的弹性表面波器件102中，说过的电极指交叉宽度等的设计参数，根据需要也可以不同，即使是这种场合，也能获得本发明的效果。
如上述一样，在不平衡信号端子与第1平衡信号端子之间的信号线上，采用在不平衡信号端子一侧附加延迟线的办法，改善相位平衡特性的效果只是利用延迟线路径长度部分延迟信号相位。所以，相位平衡特性的位移量，和使需要的延迟线长度或从不平衡信号端子112到平衡信号端子113的路径长度与从不平衡信号端子112到平衡信号端子114的路径长度不同的长度一一对应。
其次，说明对本发明有关特别有效的延迟线长度。
从图4的已有例频率—相位平衡特性很清楚，已有例中，通频带内相位平衡特性从180°偏离约7°。并且，在其它构成的弹性表面波器件中，现实是也存在大约±几度的相位偏移。
所以，按照本发明改善相位平衡特性的场合，把相位位移量设定为0.5°以上是理想的，实现0.5°以上相位偏移的情况下，就能充分达到相位平衡特性的改善效果。
从图4很清楚，相位平衡特性的偏移，在通频带内从180°一定方向没有偏离，而且随频率或者偏向正侧，或者偏向负侧。例如，图4中，关于实施例，通频带内大部分频率范围都改善了相位平衡特性，然而1800MHz附近相位平衡特性，在正侧存在恶化的倾向。因为存在该频率部分，对于实施例1的构成，即使想要进一步改善相位平衡特性，能够改善的量，+1.5°是限度。
并且，根据本申请发明人的研究，按照本发明，对于构成相位平衡特性来说，可以确认，决定延迟线长度使其相位位移量变成4°以下是最合适的。这是因为，若使相位位移量过大，压电衬底上边就需要非常长的延迟线，既增加电阻又增大占用面积。因而，为了按照本发明改善相位平衡特性，进而避免增加电阻或实现小型化，把相位位移量设定为0.5°～4°的范围是理想的。
因为电信号传播速度为3×108m/秒，假定SAW滤波器中心频率为fc(MHz)时，中心频率电信号的每一波长λ长度为3×108×103/(fc×106)(mm/λ)＝3×105/fc(mm/λ)。
于是，对1°相位偏移，需要的延迟线长度为3×108×103/(fc×106)/360(mm/度)＝833/fc(mm/度)。
因而，与相位位移量范围0.5°～4°对应的延迟线长度L(mm)就是417/fc＜L＜3330/fc。即，设置该范围长度的延迟线时，本发明特别有效。
所以，例如上述实施例的弹性表面波器件中，只在不平衡信号端子一侧设置延迟线117，而不在平衡信号端子一侧设置第2延迟线116的情况下，通过设置长度约700μm的延迟线117，可使相位平衡特性偏移1.6°。并且，如图1所示，即使在平衡信号端子一侧也设置延迟线116的情况下，采用分别形成各350μm长度信号布线折叠的办法来构成，同样能够使相位平衡特性位移约1.6°。
延迟线是理想微带路径的场合，具有由微带路径形状决定的有效介电常数εe引起的波长缩短效应。所以，传播信号的波长应该缩短到1/(εe)1/2倍。上述实施例中，与带式路径宽度相比，由于压电衬底的厚度充分厚，有效介电常数εe变为压电衬底的大约一半相对介电常数εr值。上述实施例中，作为压电衬底，使用相对介电常数εr约为43的LiTaO3衬底，因此，传播信号波长应被压缩到1/(21.5)1/2＝0.22倍，即22％。这意味着，为了偏移上述压缩部分中相位平衡特性，缩短需要的延迟线长度。
但是，就上述实施例的结果而言，通过把延迟线116、117的合计长度设定为700μm，相位平衡特性约位移1.6°，得到用不着考虑上述波长缩短效应的结果。可以认为这是因为延迟线116、117，如图1所示，具有コ字状的形状，和因为周围存在接地电极或信号电极，因为逻辑式前提不合式。
如上述一样，设置延迟线时，只是获得上述波长缩短效应，延迟线长度在波长缩短效应部分就将缩短。但是，在压电衬底上限定的空间内配置延迟线的情况下，本申请发明人确认上述波长缩短效应并没有什么影响。因此，利用本发明实际上为了改善弹性表面波器件的相位平衡特性，如上所述，设置417/fc＜L＜3330/fc的延迟线长度是特别有效的。
本发明的弹性表面波器件中，在压电衬底上配置至少一贯IDT，输入端子和输出端子的一方为不平衡信号端子，另一方为第1、第2平衡信号端子的构成中，因为不平衡信号端子与第1平衡信号端子间的路径上，在不平衡信号端子一侧附加延迟线，随着附加延迟线而延迟附加延迟线一侧的路径相位，改善相位平衡特性。因此，能够提供一种相位平衡特性优良的具有平衡—不平衡转换功能的弹性表面波器件。
并且，在压电衬底上边形成上述延迟线的场合，与在组件侧面构成延迟线的场合比较，弹性表面波器件的设计将变得容易起来。并且，利用光刻技术等，在压电衬底上就能很容易高精度形成延迟线。进而，变更延迟线设计也变得容易了。
本申请的第2发明中，在上述第1、第2弹性表面波滤波元件的输入端子和输出端子的一方端子共同连接，并与不平衡信号端子连接，而另一方端子分别与第1、第2平衡信号端子连接起来的构成中，共同连接点与第1弹性表面波滤波元件的IDT之间的路径上附加有延迟线，所以因该延迟线而使第1弹性表面波滤波元件侧的信号相位比另一方弹性表面波滤波器件侧的信号相位落后，因此改善相位平衡特性。
在第2发明的特定方面，也在压电衬底上形成上述延迟线的场合，与在组件侧构成延迟线的场合比较，延迟线设计是容易的，能够降低成本。并且，可用光刻技术很容易高精度在压电衬底上形成延迟线，变更延迟线的设计也变得容易了。
在第2发明的特定方面，并联连接点和与该共同连接点电连接的第1弹性表面波滤波元件的IDT之间的信号线路径长度，跟该并联连接点和与该共同连接点电连接的第2弹性表面波滤波元件的IDT之间的信号线路径长度不同，由该路径长度差构成上述延迟线。
本发明中，在一对平衡信号端子的一方，还具备压电衬底上形成的第2延迟线的场合，在本发明中，作为必须的构成加在形成的延迟线上设置第2延迟线，通过分散配置双方的延迟线，可以更进一步有效地改善相位平衡特性。并且，能够缩短各延迟线的长度，各延迟线的配置也变得容易了。
本发明中，附加于不平衡信号端子侧的延迟线被构成为使其电信号相位延迟05°～4°的场合，按照本发明，能够有效地改善弹性表面波器件的相位平衡特性，同时能够促进小型化，而且不会导致其它特性的恶化。
并且，在加在延迟线上设置第2延迟线的构成中，延迟线和第2延迟线被构成为使之电信号相位有05°～4°不同的场合，按照本发明，能有效地改善弹性表面波器件的相位平衡特性，同时能够促进小型化，而且不会导致其它特性的恶化。
第3发明中，在共同连接点将第1、第2弹性表面波滤波元件的输入端子和输出端子的一方共同连接起来，并将不平衡信号端子与该共同连接点连接起来，输入端子和输出端子的另一方端子，分别作为第1、第2平衡信号端子。而且，因为共同连接点和与共同连接点电连接的第1弹性表面波滤波元件的IDT之间的信号线路径，跟共同连接点和与该共同连接点电连接的第2弹性表面波滤波元件的IDT之间的信号线路径不同，所以第1或第2弹性表面波滤波元件的信号相位比第2或第1弹性表面波滤波元件的信号相位有落后，因此能够改善相位平衡特性。
第3发明中，在不平衡信号端子与第1平衡信号端子之间的路径和不平衡信号端子与第2平衡信号端子之间的路径上，上述共同连接点和与该共同连接点电连接的第1弹性表面波滤波元件的IDT之间的信号线路径长度，跟共同连接点和与该共同连接点电连接的第2弹性表面波滤波元件的IDT之间的信号线路径长度不同，使其输入输出电信号的相位不同为05°～4°的场合，可以更进一步有效地改善相位平衡特性，同时能够促进小型化，而且不会导致其它特性恶化。
在本发明中，当设定弹性表面波滤波器的中心频率为fc时，要构成延迟线，使其不平衡信号端子与第1、第2平衡信号端子间的路径长度不同，使之成为417/fc＜L＜3330/fc的时候，能够进一步有效地改善弹性表面波器件的相位平衡特性。
权利要求
1.一种弹性表面波器件，具备压电衬底和该压电衬底上配置的至少一个IDT，输入端子和输出端子的一方是不平衡信号端子，另一方是第1、第2平衡信号端子，其特征是上述不平衡信号端子与第1平衡信号端子之间的路径上，在上述不平衡信号端子一侧附加延迟线。
2.按照权利要求1所述的弹性表面波器件，其特征是上述延迟线形成于压电衬底上边。
3.一种弹性表面波器件，其特征是具备具有压电衬底和该压电衬底上沿弹性表面波传播方向设置的多个IDT的第1弹性表面波滤波元件，和具有压电衬底和该压电衬底上沿弹性表面波传播方向设置的多个IDT传输相位特性与上述第1弹性表面波滤波元件有约180°不同的第2弹性表面波滤波元件；上述第1、第2的弹性表面波滤波元件各自具有输入端子和输出端子，第1、第2的弹性表面波滤波元件的输入端子和输出端子的一方端子在共同连接点进行共同连接，而且不平衡信号端子连接到该共同连接点，上述输入端子和输出端子的另一方端子分别作为第1、第2的平衡信号端子；以及在上述共同连接点与第1弹性表面波滤波元件之间附加延迟线。
4.按照权利要求3所述的弹性表面波器件，其特征是上述延迟线形成于压电衬底上边。
5.按照权利要求3所述的弹性表面波器件，其特征是上述共同连接点和与该共同连接点电连接起来的第1弹性表面波滤波元件的IDT之间的信号线路径长度，跟上述共同连接点和与该共同连接点电连接起来的第2弹性表面波滤波元件的IDT之间的信号线路径长度不同。
6.按照权利要求1所述的弹性表面波器件，其特征是用上述延迟线，在不平衡信号端子与第1平衡信号端子之间的路径和不平衡信号端子与第2平衡信号端子之间的路径上构成，使输入输出的电信号相位有05°～4°不同。
7.按照权利要求1所述的弹性表面波器件，其特征是还具备附加于上述第1平衡信号端子，而且在压电衬底上边形成的第2延迟线。
8.按照权利要求7所述的弹性表面波器件，其特征是用上述延迟线和第2延迟线，在不平衡信号端子与第1平衡信号端子之间的路径和不平衡信号端子与第2平衡信号端子之间的路径上构成，使输入输出的电信号相位有05°～4°不同。
9.一种弹性表面波器件，其特征是具备具有压电衬底和该压电衬底上沿弹性表面波传播方向设置的多个IDT的第1弹性表面波滤波元件，和具有压电衬底和该压电衬底上沿弹性表面波传播方向设置的多个IDT并使传输相位特性与第1弹性表面波滤波元件有约180°不同的第2弹性表面波滤波元件；上述第1、第2的弹性表面波滤波元件各自具有输入端子和输出端子，第1、第2的弹性表面波滤波元件的输入端子和输出端子的一方端子在共同连接点进行共同连接，而且在该共同连接点连接不平衡信号端子，上述输入端子和输出端子的另一方端子分别作为第1、第2平衡信号端子；以及上述共同连接点和与该共同连接点电连接的第1弹性表面波滤波元件的IDT之间的信号线路径长度，跟上述共同连接点和与该共同连接点电连接的第2弹性表面波滤波元件的IDT之间的信号线路径长度不同。
10.按照权利要求9所述的弹性表面波器件，其特征是上述共同连接点和与该共同连接点电连接的第1弹性表面波滤波元件的IDT之间的信号线路径长度，跟上述共同连接点和与该共同连接点电连接的第2弹性表面波滤波元件的IDT之间的信号线路径长度不同，使在上述不平衡信号端子与第1平衡信号端子之间的路径和不平衡信号端子与第2平衡信号端子之间的路径上输入输出电信号的相位有05°～4°不同。
11.按照权利要求1所述的弹性表面波器件，其特征是上述压电衬底上边，上述不平衡信号端子与第1平衡信号端子之间的信号线路径长度和上述不平衡信号端子与第2平衡信号端子之间的路径长度不同，当设定中心频率为fc(MHz)时，路径长度差L(mm)是417/fc＜L＜3330/fc。
全文摘要
本发明提供一种具有平衡一不平衡转换功能，而且相位平衡特性优良的弹性表面波器件。该弹性表面波器件是，在压电衬底上，形成具有沿弹生表面波传播方向设置的多个IDT105～107的第1弹性表面波滤波器101和具有IDT105′、107′的第2弹性表面波滤波器102，上述第1、第2弹性表面波滤波器101、102的输入端子由共同连接点110电共同连接起来，而且连接到不平衡信号端子112，SAW滤波器101、102的输出端子分别连接到第1、第2的平衡信号端子113、114，并在共同连接点110与SAW滤波器101之间附加在压电衬底上边形成的延迟线117。
文档编号H03H9/00GK1431774SQ0215159
公开日2003年7月23日 申请日期2002年12月24日 优先权日2001年12月25日
发明者藤井裕久, 大内峰文, 矢田優 申请人:株式会社村田制作所