专利名称：压电谐振器的制作方法
技术领域：
本发明涉及表面安装型压电谐振器。
这样，因以往的结构是盖子内侧的凹部形状以单一平面构成，下落等冲击加于振动板上使振动部分弯曲时，如图6所示，振动部分30的前端35有时就会碰击盖子10，20的内面15，25。特别是受到猛烈冲击时，向盖子内面的碰击加强，使振动部分的前端产生破损，将引起作为谐振器的特性之一的频率产生大幅度的变化。附带说明一下，以钟表用音叉型石英晶体谐振器为例，频率偏差的标准大致为10～20ppm，而如前所述振动部分前端产生缺损时有时频率将产生数百ppm以上的变化，这是一个很大的问题。
为解决上述的课题，以往为了使振动部分前端不易碰到盖子的内面，就加大和加深空间使盖子的内面与振动部分隔离。这样盖子的厚度有加厚的倾向，出现了很难适应现在的强力薄型化的要求的问题。
两级凹部之中浅的部分的第一凹部的深度为盖子厚度的2％～25％，且两级凹部之中较深的第二凹部的深度为盖子厚度的25％～60％。第一级和第二级凹部交界处生成的阶梯设定在冲击造成的弯曲振动部分的中部左右(中间部)。第一个和第二个凹部的阶梯的边缘位置在振动部分一端固定的情况下，在从固定部分到前端的40％～80％之间可以取得良好的效果。
利用这样的方法，即使下落等冲击加于压电振动板上使振动部分产生弯曲也可使振动部分的中间触到第一级和第二级交界处的阶梯并抑制进一步的弯曲，故振动部分的前端不会碰到盖子的内面，即能够防止前端的破损。
图2是表示本发明实施例的作用的说明图。
图3是表示本发明的压电谐振器的另一个实施例的剖面图。
图4是表示本发明的压电谐振器的另一个实施例的剖面图。
图5是表示本发明的压电谐振器的另一个实施例的剖面图。
图6是表示现有的压电谐振器的剖面图。
以下示出了实施例。
图2为本发明的实施例1的作用的说明图。压电振动板因受到下落冲击等，弯曲的振动部31由于振动部30的中间触到第一凹部16、26和第二凹部17、27的交界处的阶梯，抑制了进一步的弯曲，因而振动部30的前端35未碰到盖子的内面，即能够防止前端的破损。本实施例的谐振器的各部分的尺寸为，振动部分30的长度和厚度分别是2～4mm及80μm～150μm的音叉型，第一凹部16、26的深度是8μm～100μm，第二凹部17、27的深度是50～200μm。当然，本发明的效果对音叉型以外的谐振器例如对AT切削厚度滑动方式谐振器等厚度较薄的谐振器也是有效的。
这里，通过盖子10和盖子20固定的压电振动板，由振动部30和围绕此振动部周围的框状部分在振动部的根部形成一体。另外，盖子10和盖子20用玻璃形成，通过设在压电振动板的框状部分的金属膜，能够与压电振动板阳极接合。
另外，在压电振动板的两侧表面形成有使压电振动部分振动用的一对激振电极膜。
如上所述，经本发明的实施，即使受到下落等冲击也能够防止振动部分的前端与容器的盖子的内面相碰，并且能够避免作为谐振器的重要性能之一频率发生较大的变化。
另外，由于不需要具有较深和较大的空间的盖子，整个盖子的厚度也可以减薄，因而完全能够适应目前强力薄型化的要求。
权利要求
1.一种压电谐振器，其特征在于，包括搭装压电振动部的基板，以及与上述基板接合、不防碍上述压电振动部产生振动且能够进行气密封装的盖体；同时，在上述基板的内面及盖体的内面分别具有向上述压电振动部的前端增加深度的至少两级深度的凹部。
2.一种压电谐振器，其特征在于，包括压电振动部与围绕该压电振动部的周围的框状部分在压电振动部的根部形成一体的压电振动板，以及通过设在上述框状部分的上下面上的接合膜与压电振动板相接合的一对盖子；同时，在上述一对盖体的内面有分别从上述压电振动板的根端部向前端部增加深度的至少两级深度的凹部。
3.根据权利要求2所述的压电谐振器，其特征在于，上述盖体是玻璃的。
4.根据权利要求1或2所述的压电谐振器，其特征在于，上述两级凹部之中，浅的部分的第一凹部的深度是盖子厚度的2％～25％，并且深的部分的第二凹部的深度是盖子厚度的25％～60％。
全文摘要
提供一种耐冲击性高的压电谐振器。本发明的压电谐振器包括框体和振动部分形成一体的压电振动板，及配置在框体的上下面上且对压电振动板进行气密封装的盖子(10、20)；盖子在谐振器片的根部和前端(35)之间具有与谐振器片的表面有间隔的第一凹部(16、26)，以及在前端(35)的近旁距第一凹部和谐振器片之间有较宽间隔的第二凹部(17，27)。
文档编号H03H9/02GK1417943SQ0215585
公开日2003年5月14日 申请日期2002年10月29日 优先权日2001年10月29日
发明者松山胜, 清水敏志 申请人:精工电子有限公司