专利名称：改善ccd输出一致性的放大器结构的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种CXD设计、制造技术，具体涉及一种改善CXD输出一致性的放大器结构。
背景技术：
源跟随放大器是一种常用的CCD (电荷耦合器)输出放大器，它由顺序连接的输出栅、 输出二极管、输出放大器栅组成，其中输出二极管与输出放大器栅的连线将输出二极管接触孔与输出放大器栅接触孔连接起来。假设输出二极管的左右之间的长度为10微米，放大器的电荷-电压转换灵敏度由孓表征，尾由下式给出
权利要求
1.一种改善CCD输出一致性的放大器结构，包括输出二极管(1)和输出栅(4)，其特征在于输出二极管(1)为变截面结构，输出二极管(1)的小截面端(7)与输出栅(4)连接。
2.如权利要求1所述的改善CCD输出一致性的放大器结构，其特征在于所述的小截面端(7)宽度大于或者等于4微米。
3.如权利要求1所述的改善CCD输出一致性的放大器结构，其特征在于所述的小截面端(7)长度为1 2微米。
全文摘要
本发明公开了一种改善CCD输出一致性的放大器结构，包括输出二极管和输出栅，其改进在于输出二极管为变截面结构，输出二极管的小截面端与输出栅连接。本发明的有益技术效果是输出二极管与输出栅之间通过小截面结构连接，在套刻误差一定的情况下，可有效减少输出二极管的面积变化量，提高两个输出二极管的输出一致性。
文档编号H03F1/02GK102324893SQ20111016216
公开日2012年1月18日 申请日期2011年6月16日 优先权日2011年6月16日
发明者翁雪涛 申请人:中国电子科技集团公司第四十四研究所