压电振动片以及压电元件的制作方法

专利名称：压电振动片以及压电元件的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种压电振动片(piezoelectric vibrating pieces)以及压电元件(piezoelectric device),所述压电振动片的朝向激振部的应力的影响已受到抑制。
背景技术：
如下的压电振动片已为人所知，该压电振动片包括:激振部，以规定的频率发生振动；框部，将激振部的周围予以包围；以及连结部，将激振部及框部予以连结。在此种压电振动片中，将盖板(lid plate)以及基底板(base plate)接合于框部的表面背面，从而形成压电元件。该压电元件是安装于印刷(print)基板等而被使用。此种压电元件有时会承受施加至印刷基板的应力。施加至压电元件的应力会对压电振动片产生影响，使激振部的振动频率的特性发生变化。对于如上所述的问题，例如在日本专利特开2007-214942号公报中表示了如下的内容:在连结部形成锯齿状的缺口，借此，期待使从框部向激振部传递的应力缓和。该揭露是以如下的方式进行揭示，另外，表示了如下的内容:当缺口的深度为框部的一半以上时，框部与激振部不会呈直线地被连结。在此情况下，热或应力的实质性的传递距离增加，从而会发挥大的缓和效果。然而，日本专利特开2007-214942号公报所揭示的压电振动片是在连结部形成缺口。因此，认为:所述压电振动片对于由落下引起的冲击等的耐受性会减弱。特别是，最近的压电振动片已变薄以使压电元件实现小型化。有可能因形成所述缺口而使耐冲击性下降。另外，日本专利特开2007-214942号公报揭示有两端固定型压电振动片。该压电振动片在激振部的相向的边上，分别形成连结部。相对于此，对于悬臂型压电振动片而言，将连结部仅连接于激振部的一条边上，由此，耐冲击性进一步减弱。因此，针对压电振动片，还希望对于激振部的应力的影响受到抑制，并且具有充分的耐冲击性。承上述，需要不会受到所述缺点的影响的压电振动片以及压电元件。

发明内容
压电振动片的一个侧面包括:矩形形状的激振部、将激振部予以包围的框部、连结部、以及突起部。激振部包含:两个主面、所述两个主面上的一对激振电极、向第一方向延伸的第一边、以及向第二方向延伸的第二边。第二边比第一边更长。第二方向与第一方向正交。连结部将激振部的第一边与框部予以连结。连结部的厚度比框部的厚度更薄。在连结部、与连结部与激振电极之间的区域的至少一方，突起部向厚度方向突出地形成。激振电极配置在连结部的第二方向。突起部的第一方向的长度是:与连结部的第一方向的长度相同、或为连结部的第一方向的长度以上。一种压电振动片，包括:矩形形状的激振部，包含:两个主面、所述两个主面上的一对激振电极、在第一方向延伸的第一边、比所述第一边更长且在与所述第一方向正交的第二方向延伸的第二边；框部，利用在所述第一方向延伸的第一框体及在所述第二方向延伸的第二框体，来将所述激振部予以包围，所述第一框体包含:第一厚度的第一区域、与比所述第一厚度更厚的第二区域；连结部，为所述第一厚度，且将所述激振部的所述第一边与所述第一框体的第一区域予以连结；以及突起部，在所述连结部、和所述连结部与所述连结部的所述第二方向上所配置的所述激振电极之间的区域的至少一方，所述突起部向所述厚度方向突出，所述第一框体的所述第二方向的长度是:比所述第一区域的所述第二方向的长度更长，所述突起部的所述第一方向的长度是:与所述连结部的第一方向的长度相同、或为所述连结部的第一方向的长度以上。一种压电振动片，包括:矩形形状的激振部，包含:两个主面、所述两个主面上的一对激振电极、在第一方向延伸的第一边、比所述第一边更长且在与所述第一方向正交的第二方向延伸的第二边；框部，将所述激振部予以包围；连结部，将所述激振部的所述第一边与所述框部予以连结，且所述连结部的厚度比所述框部的厚度更薄；以及突起部，在所述连结部、和所述连结部与所述连结部的所述第二方向上所配置的所述激振电极之间的区域的至少一方，所述突起部向所述厚度方向突出，所述突起部的所述第一方向的长度是:与所述连结部的第一方向的长度相同、或为所述连结部的第一方向的长度以上。一种压电元件，包括:所述的压电振动片；盖板，接合于所述压电振动片的所述框部的一方的主面；以及基底板，接合于所述压电振动片的所述框部的另一方的主面。一种压电振动片，包括:矩形形状的激振部，包含:两个主面、所述两个主面上的一对激振电极、在第一方向延伸的第一边、比所述第一边更长且在与所述第一方向正交的第二方向延伸的第二边；框部，利用在所述第一方向延伸的第一框体及在所述第二方向延伸的第二框体，来将所述激振部予以包围，所述第一框体包含:第一厚度的第一区域、与比所述第一厚度更厚的第二区域；以及连结部，为所述第一厚度，且将所述激振部的所述第一边与所述第一框体的第一区域予以连结，所述第一框体的所述第二方向的长度是:比所述第一区域的所述第二方向的长度更长。一种压电元件，包括:所述的压电振动片；盖板，接合于所述压电振动片的所述框部的一方的主面；以及基底板，接合于所述压电振动片的所述框部的另一方的主面。


根据以下附图的详细说明，本发明的所述及其他特征、特性将变得更明确，其中:图1是压电元件100的分解立体图。图2是图1的I1-1I剖面的剖面图。图3A是压电振动片130的平面图。图3B是图3A的IIIB-1IIB剖面图。图4A是未形成有电极的压电振动片130的平面图。图4B是图4A的虚线161所包围的区域的放大平面图。图4C是压电振动片130的短边弯曲的模拟结果。
图5A是表示激振部131的应力分布的图。图5B是表示台面区域131a的中心点139a及激振部131的-X轴侧的端部的端点139b处的短边弯曲的应力的图。图6A是压电振动片230的剖面图。图6B是压电振动片330的剖面图。图7A是未形成有电极的压电振动片430的平面图。图7B是压电振动片430的短边弯曲的模拟结果。图8A是表示激振部431的应力分布的图。图8B是表示台面区域131a的中心点439a及激振部431的-X轴侧的端点439b处的短边弯曲的应力的图。图9A是未形成有电极的压电振动片530的平面图。图9B是压电振动片530的短边弯曲的模拟结果。图1OA是未形成有电极的压电振动片630的平面图。图1OB是未形成有电极的压电振动片730的平面图。图11是压电元件1100的分解立体图。图12是图11的XI1-XII剖面的剖面图。图13A是压电振动片1130的平面图。图13B 是图 13A 的 XIIIB-XIIIB 剖面图。图14A是未形成有电极的压电振动片1130的平面图。图14B是压电振动片1130的短边弯曲的模拟结果。图15A是表示激振部1131的应力分布的图。图15B是表示台面区域1131a的中心点1139a及激振部1131的-X轴侧的端点1139b处的短边弯曲的应力的图。图16A是未形成有电极的压电振动片1230的平面图。图16B是图16A的虚线1161所包围的区域的放大平面图。图16C是压电振动片1230a的XVIC-XVIC剖面图。图17A是未形成有电极的压电振动片1330的平面图。图17B是图17A的虚线1162所包围的区域的放大平面图。图17C是以曲面进行倒角的第一区域1337a的平面图。图18A是未形成有电极的压电振动片1430的平面图。图18B是图18A的虚线1163所包围的区域的放大平面图。图18C是未形成有电极的压电振动片1530的平面图。图18D是图8C的虚线1164所包围的区域的放大平面图。图19A是未形成有电极的压电振动片1630的平面图。图19B是未形成有电极的压电振动片1730的平面图。附图标记:100:压电元件110、1110:盖板111、121、1111、1121:凹部
112、122、1112、1122 接合面
120,1120 基底板
123,1123 连接电极
124,1124 外部电极
125,1125 城堡形电极
126,1126 城堡形部分
130、230、330、430、530、630、730、1130、1230、1230a、1330、1430、1530、1630、1730 压电振动片
131、431、531、731、1131 激振部
131aU131a 台面区域
131b、431b、531b、731b、1131b 周边区域
132、1132、1232、1332、1432、1532、1632、1732 框部
133、233、333、433、633、733、1133、1633、1733 连结部
133aJ33a、333a、433a、533a、633a、733a 突起部
133bU133a 侧面
134,1134 激振电极
135,1135 引出电极
136、636、1136、1636、1736 贯通孔
138aU138a 第ー边
138bU138b 第ニ边
139、439、1139 直线
139a、439a、1139a 中心点
139b、439b、1139b 端点
141,1141 密封材料
161,1161 1164 虚线
1132a、1232a、1332a、1432a、1532a、1632a、1732a 第--框体
1132b、1232b、1332b、1432b、1532b、1632b、1732b 第二ニ框体
1137a、1237a、1337a、1437a、1537a、1637a、1737a 第--区域
1137b、1237b、1337b、1437b、1537b、1637b、1737b 第二ニ区域
1238c、1438c、1538c 第三边
1238dU538d 第四边
1338e 平面
1338f曲面
11-11、IIIB-IIIB、XII-XII、XIIIB-XIIIB、XVIC-XVIC 剖面
LA、LB、LC、LM、LR、LRa、LS、LT、WA、ffB2, WB3、WM、ffR,WR2、WT、WT2 长度
Tl 厚度/第一厚度
丁2:厚度/第二厚度
T3 厚度
X,Y'、Z'轴方向
具体实施例方式根据附图来对此处所揭示的第一实施方式进行说明。第一实施方式压电元件100的构成图1是压电元件100的分解立体图。压电元件100包含:盖板110、基底板120、以及压电振动片130。压电振动片130中，例如使用AT切割的晶体振动片。AT切割的晶体振动片的主面(YZ面)相对于结晶轴(XYZ)的Y轴，以X轴为中心，从Z轴向Y轴方向倾斜35度15分。在以下的说明中，以AT切割的晶体振动片的轴方向为基准，使用倾斜的新的轴作为r轴以及Zi轴。即，压电元件loo中，将压电元件loo的长边方向作为X轴方向，将压电元件100的高度方向作为Γ轴方向，将与X轴方向及V轴方向垂直的方向作为t轴方向来进行说明。压电振动片130包含:激振部131，以规定的频率发生振动，且形成为四边形状；框部132，将激振部131予以包围；以及一个连结部133，将激振部131与框部132予以连结。激振部131与框部132之间的连结部133以外的区域成为贯通孔136，该贯通孔136沿着V轴方向将压电振动片130予以贯通。在激振部131的+Y'轴侧的面及-Y'轴侧的面，形成有激振电极134。另外，激振部131是由台面(mesa)区域131a与周边区域131b形成，所述台面区域131a形成有激振电极134，所述周边区域131b形成在台面区域131a的周围，且V轴方向的厚度比台面区域131a更薄。引出电极135分别从形成于+Y'轴侧及-Y'轴侧的面的激振电极134，通过连结部133而引出至框部132的-Y'轴侧的面为止。而且，在连结部133的+Y'轴侧及-Y'轴侧的面上形成有突起部133a(参照图2)，该突起部133a(参照图2)从连结部133向Y'轴方向突出。基底板120配置在压电振动片130的-Y'轴侧。基底板120形成为矩形形状，该矩形形状在X轴方向上具有长边，在Zi轴方向上具有短边。在基底板120的-Y'轴侧的面上形成有一对外部电极124。该外部电极124经由焊料(solder)而固定于印刷基板等，且与该印刷基板等形成电性连接。借此，压电元件100安装于印刷基板等。另外，在基底板120的四个角落的侧面形成有城堡形部分(castellation) 126,在城堡形部分126中形成有城堡形电极125。在基底板120的+Y'轴侧的面上形成有凹部121，在凹部121的周围形成有接合面122。另外，在接合面122的四个角落、即在城堡形部分126的周围形成有连接电极123。该连接电极123经由形成于城堡形部分126的城堡形电极125而电性连接于外部电极124。基底板120是:在接合面122上，经由密封材料141 (参照图2)而接合于压电振动片130的框部132的-Y'轴侧的面。另外，连接电极123与“压电振动片130的引出电极135”形成电性连接。
盖板110配置在压电振动片130的+Y'轴侧。在盖板110的-Y'轴侧的面上形成有凹部111，在凹部111的周围形成有接合面112。盖板110在接合面112上，经由密封材料141 (参照图2)而接合于压电振动片130的框部132的+Y'轴侧的面。图2是图1的I1-1I剖面的剖面图。压电元件100包括压电振动片130，该压电振动片130具有框部132。盖板110的接合面112是经由密封材料141而接合于压电振动片130的框部132的+Y'轴侧的面。基底板120的接合面122是经由密封材料141而接合于框部132的-Y'轴侧的面。当将压电振动片130与基底板120予以接合时，框部132的-V轴侧的面上所形成的引出电极135、与基底板120的接合面122上所形成的连接电极123形成电性连接。借此，台面区域131a的+Y'轴侧及-Y'轴侧所形成的各激振电极134是:经由引出电极135、连接电极123、以及城堡形电极125而电性连接于外部电极124。图3A是压电振动片130的平面图。压电振动片130包含:激振部131，形成为矩形形状；框部132，将激振部131予以包围；以及一个连结部133，将激振部131与框部132予以连结。激振部131包括:第一边138a与第二边138b，所述第一边138a是激振部131的-X轴侧的边，所述第二边138b是激振部131的W轴侧及-V轴侧的边。连结部133是:连结于激振部131的第一边138a的中央，从该中央起向-X轴方向延伸，并连结于框部132。另夕卜，激振部131与框部132之间的连结部133以外的区域成为贯通孔136，该贯通孔136沿着V轴方向将压电振动片130予以贯通。形成于激振部131的周边区域131b是以将台面区域131a予以包围的方式而形成。引出电极135是从台面区域131a的+Y'轴侧的面上所形成的激振电极134开始，经由周边区域131b、连结部133的+Y'轴侧的面、连结部133的—V轴侧的侧面133b、以及连结部133的-Y'轴侧的面，而引出至框部132的-Y'轴侧的面的-X轴侧的+Z^轴侧的角部为止。另外，引出电极135是从台面区域131a的-Y'轴侧的面上所形成的激振电极134 (参照图3B)开始，经由周边区域131b及连结部133的-Y'轴侧的面而引出至框部132。引出电极135进而在框部132的-Y'轴侧的面上，沿着-Z'轴方向及+X轴方向延伸。引出电极135引出至框部132的-Y'轴侧的面的+X轴侧的-Zi轴侧的角部为止。图3B是图3A的IIIB-1IIB剖面图。连结部133包括突起部133a。在连结部133的+Y'轴侧的面及-Y'轴侧的面上，各形成有两个突起部133a。+Y'轴侧所形成的突起部与-Y'轴侧的面上所形成的突起部是以彼此在Y,轴方向上呈对称的方式而形成。对于压电振动片130而言，框部132在Y'轴方向上的厚度形成为厚度Tl，形成有突起部133a的区域的连结部133及台面区域131a的Y'轴方向的厚度形成为厚度T2，未形成有突起部133a的区域的连结部133及周边区域1 31b的Y'轴方向的厚度形成为厚度T3。在压电振动片130中，厚度Tl形成得比厚度T2及厚度T3更厚，厚度T2形成得比厚度T3更厚。对于压电振动片130而言，在频率例如为40MHz的情况下，厚度T2形成为41.75 μ m。压电振动片130的模拟(simulation)结果在将压电元件安装于印刷基板的状态下，进行用以求出如下的应力的模拟，该应力是在使印刷基板弯曲的情况下施加至压电振动片的应力。设想如下的两种情况来进行模拟，所述两种情况是指:在压电元件100的长边方向(X轴方向)上使印刷基板弯曲的情况(长边弯曲)、及在短边方向(Z'轴方向)上使印刷基板弯曲的情况(短边弯曲)。以下，对压电振动片的模拟结果进行说明。图4A是未形成有电极的压电振动片130的平面图。将压电振动片130的框部132的Z'轴方向的整体长度设为长度WA，将框部132的X轴方向的整体长度设为长度LA，将激振部131的第一边138a的长度设为长度WS，将第二边138b的长度设为长度LS，将台面区域131a的X轴方向的长度设为LM，将台面区域131a的V轴方向的长度设为长度丽，将连结部133的Z'轴方向的长度设为长度WR，以及将连结部133的X轴方向的长度设为长度LR。将长度LA设为2.0mm,将长度WA设为1.6mm,将长度LS设为1.3mm,将长度WS设为0.95mm,将长度LM设为0.78mm,将长度WM设为0.66mm,将长度LR设为0.2mm,将长度WR设为0.32mm来进行模拟。图4B是图4A的虚线161所包围的区域的放大平面图。若将突起部133a的X轴方向的长度设为长度LT，将未形成有突起部133a的区域的X轴方向的长度设为长度LRa，则在压电振动片130中，长度LT及长度LRa均设为0.05mm。突起部133a的Z'轴方向的长度是:与连结部133的V轴方向的长度相同的长度WR。图4C是压电振动片130的短边弯曲的模拟结果。在图4C中，仅表示了压电振动片130的激振部131及连结部133的平面图。在图4C中，台面区域131a的颜色(白色)是几乎未施加应力的状态的颜色。比该颜色更浓的部位表示施加有应力。另外，接近于黑色的部位表示施加了最强的应力。在图4C中，在连结部133中表示了颜色浓的部分。设想强应力施加至连结部133。另外，已知:颜色淡的区域(灰色的区域)从连结部133向周边区域131b延伸，施加了应力的区域从连结部133延伸至周边区域131b。另外，将台面区域131a的中心点设为中心点139a，将通过中心点139a且与X轴呈平行的直线设为直线139，将直线139上的点即激振部131的-X轴侧的端部设为端点139b。图5A是表示激振部131的应力分布的图(graph)。图5A表示图4C的直线139上的应力分布。横轴表不X轴方向位置(mm)。纵轴表不应力(MPa)。关于X轴方向位置,将台面区域131a的中心点即中心点139a (参照图4C)设为0.0mm，从中心点139a算起的朝向+X轴方向的距离表示为正值，从中心点139a算起的朝向-X轴方向的距离表示为负值。另夕卜，当纵轴所示的应力为正值时，表示施加拉伸应力的情况；当纵轴所示的应力为负值时，表示施加压缩应力的情况。在图5A中，表示了在压电振动片上形成有突起部133a的情况、与在压电振动片上未形成有突起部133a的情况的结果，另外，各个结果表示了长边弯曲与短边弯曲的结果。在图5A中，涂黑的菱形表示:无突起部133a的长边弯曲的结果，留白的菱形表示:无突起部133a的短边弯曲的结果，留白的圆表示:有突起部133a的长边弯曲的结果，涂黑的圆表不:有关起部133a的短边弯曲的结果。在图5A中，无突起部的长边弯曲(涂黑菱形)与有突起部的长边弯曲(留白圆)的值是:取得大致相同的值。即，在长边弯曲的情况下，因突起部的有无而引起的应力值未出现差异。另一方面，在无突起部的短边弯曲(留白菱形)与有突起部的短边弯曲(涂黑圆)中，在X轴方向位置约为-0.5_至-0.2mm的范围内，有突起部的短边弯曲的应力的大小是:比无突起部的短边弯曲的应力的大小更小。图5B是表示台面区域131a的中心点139a及激振部131的-X轴侧的端部的端点139b处的短边弯曲的应力的图。横轴表示中心点139a及端点139b,纵轴表示应力。另外，在图5B中表示了各点的有突起部时与无突起部时的应力。在台面区域131a的中心点139a处，无突起部时的应力为-0.097MPa，有突起部时的应力为-0.090MPa。另外，在激振部131的端点139b处，无突起部时的应力值为-0.800MPa，有突起部时的应力值为-0.655MPa。在台面区域131a的中心点139a及激振部131的端点139b处，有突起部时的应力小于无突起部时的应力。已知:在激振部131的端点139b处，与无突起部的情况相比较，应力的强度减少了约18%。借由模拟已确认:在压电振动片130中，在连结部133处形成突起部133a，借此，施加至激振部131的应力减少。另外，连结部133的强度并不因形成突起部而减弱。因此，认为:压电振动片130的耐冲击性不会因形成突起部而减弱。因此，在压电振动片130中，在连结部133处形成突起部133a，借此，可不损害耐冲击性而使施加至激振部131的应力减少。借此，可防止压电振动片的振动频率等特性发生变化。特别是，一般在压电振动片中，连结部的耐冲击性最弱，因此，会产生显着的效果。压电振动片130的变形例形成于连结部的突起部是:也可与形成于压电振动片130的突起部133a不同。以下，对压电振动片230及压电振动片330进行说明，所述压电振动片230及压电振动片330形成有:与压电振动片130不同的突起部。另外，在以下的说明中，对与压电振动片130相同的部分附上与压电振动片130相同的记号，并将该部分的说明予以省略。压电振动片230的构成图6A是压电振动片230的剖面图。压电振动片230是由激振部131、将激振部131予以包围的框部132、以及连结部233而形成，该连结部233将激振部131与框部132予以连结。与压电振动片130的连结部133同样地，连结部233连结于激振部131的-X轴侧的边即第一边138a的中央。X轴方向的长度形成为长度LR，Z'轴方向的长度形成为长度WR。另外，在连结部233的+Y'轴侧的面上形成有突起部233a。突起部233a形成为:与连结部133的+Y'轴侧的面上所形成的突起部133a为相同的形状。X轴方向的长度形成为长度LT，Z'轴方向的长度形成为长度WR。在压电振动片230中，仅在连结部133的+Y'轴侧形成有突起部，在-Y'轴侧的面上未形成有突起部。压电振动片330的构成图6B是压电振动片330的剖面图。压电振动片330是由激振部131、将激振部131予以包围的框部132、以及连结部333而形成，该连结部333将激振部131与框部132予以连结。与压电振动片130的连结部133同样地，连结部333连结于激振部131的-X轴侧的边即第一边138a的中央。X轴方向的长度形成为长度LR，Z'轴方向的长度形成为长度WR。另外，在连结部333的+Y'轴侧的面及-Y'轴侧的面上形成有突起部333a。形成于+Y'轴侧的面的突起部333a形成为:与突起部133a相同的形状，且形成于与突起部133a相同的位置，所述突起部133a形成于连结部133的+Y'轴侧的面。X轴方向的长度形成为长度LT，Z'轴方向的长度形成为长度WR。另外，-Y'轴侧的面上所形成的突起部333a形成为:与+Y^轴侧的面上所形成的突起部333a相同的形状，但形成位置形成于比+Y'轴侧的面上所形成的突起部333a更偏向-X轴侧的位置。S卩，在压电振动片330中，+Y'轴侧所形成的突起部与-Y'轴侧的面上所形成的突起部，并非以彼此在V轴方向上呈对称的方式而形成。形成于压电振动片的连结部的突起部是:如压电振动片230所示，也可仅形成于连结部的一个面。另外，如压电振动片330所示，连结部的+Y'轴侧的面上所形成的突起部与-Y'轴侧的面上所形成的突起部，也可并非以彼此在V轴方向上呈对称的方式而形成。而且，虽已表示了如下的情况，即，在压电振动片130中，两个突起部133a形成于连结部133的+Y'轴侧及-Y'轴侧的各个面，但可形成一个突起部、或也可形成多个突起部。另夕卜，在压电振动片130中，如图 3B所示，台面区域131a与形成有突起部133a的连结部133形成为相同的厚度，但也可不形成为相同的厚度。另一方面，当台面区域131a及周边区域131b的阶差的高度、与形成有突起部的连结部及未形成有突起部的连结部的阶差的高度相同，且周边区域131b与未形成有突起部的连结部的厚度相同时，可在形成台面区域131a的同时形成突起部。因此，可利用与未形成突起部的情况相同的步骤来形成压电振动片130，无需设置仅用以形成突起部的步骤，由此为较佳。第二实施方式形成于压电振动片的突起部也可形成在连结部与激振电极之间的区域中。以下，对如下的压电振动片进行说明，该压电振动片的突起部形成在连结部与激振电极之间的区域中。另外，在以下的说明中，对与第一实施方式相同的部分附上与该部分相同的记号，并将该部分的说明予以省略。压电振动片430的构成图7A是未形成有电极的压电振动片430的平面图。压电振动片430包含:激振部431 ;框部132，将激振部431予以包围；以及连结部433，将激振部431与框部132予以连结。连结部433连结于激振部431的-X轴侧的边即第一边138a的中央。另外，在图7A中未表示电极，但与压电振动片130相同的激振电极134及引出电极135形成于压电振动片430 (参照图3A)。激振部431、框部132、以及连结部433的尺寸是:与图4A中所说明的压电振动片130的尺寸相同。另外，激振部431包括:台面区域131a，形成有激振电极134 ;以及周边区域431b，形成在台面区域131a的周围。在周边区域431b的台面区域131a与连结部433之间的区域中，形成有突起部433a。周边区域431b的+Y'轴侧的面上所形成的两个突起部433a是在X轴方向上并排地形成。+X轴侧的突起部433a的-V轴侧的端部与连结部433的-U轴侧的边是在X轴方向上对齐地形成。-X轴侧的突起部433a的—V轴侧的端部与连结部433的+Z'轴侧的边是在X轴方向上对齐地形成。另外，形成于周边区域431b的突起部433a分别形成于周边区域431b的+Y'轴侧的面及-Y'轴侧的面。+Y'轴侧所形成的突起部与-Y'轴侧的面上所形成的突起部是:以彼此在Γ轴方向上呈对称的方式而形成。而且，突起部433a的X轴方向的长度形成为长度LT，Z'轴方向的长度形成为长度WT。长度WT比连结 部433的Z'轴方向的长度WR更长，该长度WT的长度形成为
0.465mm。图7B是压电振动片430的短边弯曲的模拟结果。图7B中表示了压电振动片430的激振部431及连结部433的平面图。在图7B中，在连结部433中表示了颜色浓的部分。设想强应力施加至连结部433。另外，已知:颜色淡的区域(灰色的区域)从连结部433向周边区域431b延伸，施加了应力的区域从连结部433延伸至周边区域431b。所述施加了应力的区域强烈地出现于-X轴侧的突起部433a,但在+X轴侧的突起部433a中未出现所述区域。因此，已知:与施加至连结部433的应力相比较，施加至+X轴侧的突起部433a的应力颇小。另外，将台面区域131a的中心点设为中心点439a，将通过中心点439a且与X轴呈平行的直线设为直线439，将直线439上的点即激振部431的-X轴侧的端部设为端点439b。图8A是表示激振部431的应力分布的图。图8A表示图7B的直线439上的应力分布。横轴表示X轴方向位置(_)。纵轴表示应力(MPa)。关于X轴方向位置，将台面区域131a的中心点即中心点439a(参照图7B)设为0.0mm0将从中心点439a算起的朝向+X轴方向的距离表示为正值。从中心点439a算起的朝向-X轴方向的距离表示为负值。另外，当纵轴所示的应力为正值时，表示施加拉伸应力的情况；当纵轴所示的应力为负值时，表示施加压缩应力的情况。在图8A中，表示了形成有突起部433a的情况与未形成有突起部433a的情况的结果。另外，各个结果表示了长边弯曲与短边弯曲的结果。在图8A中，涂黑的菱形表示:无突起部433a的长边弯曲的结果，留白的菱形表示:无突起部433a的短边弯曲的结果，留白的圆表不:有突起部433a的长边弯曲的结果，涂黑的圆表不:有突起部433a的短边弯曲的结果。在图8A中，无突起部433a的长边弯曲(涂黑菱形)与有突起部433a的长边弯曲(留白圆)的值大致相同。所述图8A表示:因X轴方向的位置而引起的应力的变化的倾向也大致相同。另一方面，在无突起部433a的短边弯曲(留白菱形)与有突起部433a的短边弯曲(涂黑圆)中，在X轴方向位置大致为-0.4mm至-0.1mm的范围内，有突起部433a的短边弯曲的应力的绝对值稍小于无突起部433a的短边弯曲的应力的绝对值。图8B是表示台面区域131a的中心点439a及激振部431的-X轴侧的端点439b处的短边弯曲的应力的图。横轴表示中心点439a及端点439b,纵轴表示应力。另外,在图8B中表示了各点的有突起部433a时与无突起部433a时的应力。在台面区域131a的中心点439a处，无突起部433a时的应力为-0.097MPa，有突起部433a时的应力为-0.093MPa。另外，在激振部431的端点439b处，无突起部433a时的应力为-0.800MPa，有突起部433a时的应力为-0.758MPa。在台面区域131a的中心点439a及激振部431的端点439b处，有突起部433a时的应力小于无突起部433a时的应力。已知:在激振部431的端点439b处，应力的强度减少了约5%。借由模拟已确认:在压电振动片430中，施加至激振部431的应力也因形成突起部433a而减少。因此，在压电振动片430中，借由形成突起部433a,可不损吾耐冲击性而使施加至激振部431的应力减少。借此，可防止压电振动片430的振动频率等特性发生变化。另夕卜，认为:即使形成于压电振动片430的突起部433a在Z'轴方向上的长度小于连结部433的长度WR，也可使从连结部433传递至台面区域131a的应力减少。然而，如图7B所示，会在整个连结部433中产生应力。为了防止整个连结部433的应力传递至台面区域131a，突起部433a的Z'轴方向的长度优选为:与连结部433的Z'轴方向的长度相同、或为连结部433的Z'轴方向的长度以上。 压电振动片430的变形例形成于周边区域的突起部也可与形成于压电振动片430的突起部433a不同。以下，对压电振动片530进行说明，该压电振动片530形成有与压电振动片430不同的突起部。另外，在以下的说明中，对与压电振动片130或压电振动片430相同的部分附上与压电振动片130相同的记号，并将该部分的说明予以省略。压电振动片530的构成图9A是未形成有电极的压电振动片530的平面图。压电振动片530是由激振部531、连结部433、以及框部132而形成。激振部531包括:台面区域131a，形成有激振电极134 ;以及周边区域531b，形成在台面区域131a的周围。在台面区域131a与连结部433之间的周边区域531b的+Y'轴侧的面及-Y'轴侧的面上，形成有突起部533a。在周边区域531b的+Y'轴侧的面及-Y'轴侧的面上，各形成有一个突起部533a。+Y'轴侧的面上所形成的突起部533a与-Y'轴侧的面上所形成的突起部533a是:以彼此在Y'轴方向上呈对称的方式而形成。突起部533a的X轴方向的长度为长度LT，Z'轴方向的长度为长度WT2。在压电振动片530中，长度WT2形成为0.65mm。另外，连结部433的中心与突起部533a的中心处于沿着X轴方向延伸的直线上。图9B是压电振动片530的短边弯曲的模拟结果。图9B中表示了压电振动片530的激振部531及连结部433的平面图。已知:在图9B中，与图7B同样地，施加了应力的区域从连结部433延伸至周边区域531b。在比突起部533a更靠+X轴侧的区域中，未出现所述施加了应力的区域。已知:与施加至连结部433的应力相比较,施加至突起部533a的+X轴侧的应力颇小。根据图9B，已知:即使突起部仅为一个，也可使来自连结部的应力减弱。第三实施方式形成于压电振动片的连结部有时连结于激振部的各种部位。以下，对如下的压电振动片的例子进行说明，该压电振动片的连结部连结于激振部的第一边的两端。另外，在以下的说明中，对与第一实施方式相同的部分附上与第一实施方式相同的记号，并将该部分的说明予以省略。压电振动片630的构成图1OA是未形成有电极的压电振动片630的平面图。压电振动片630是由激振部131、框部132、以及连结部633而形成。连结部633分别连结于激振部131的-X轴侧的边即第一边138a的两端。另外，在激振部131与框部132之间的连结部633以外的区域中形成有贯通孔636，该贯通孔636沿着Y'轴方向将压电振动片630予以贯通。在压电振动片630的各连结部633的+Y'轴侧及-Y'轴侧的面上，分别形成有一个突起部633a。+Y'轴侧的面上所形成的突起部633a与-Y'轴侧`的面上所形成的突起部633a是:以彼此在Y'轴方向上呈对称的方式而形成。各突起部633a的V轴方向的长度是:与各连结部633的V轴方向的长度相等。压电振动片730的构成图1OB是未形成有电极的压电振动片730的平面图。压电振动片730是由激振部731、框部132、以及连结部733而形成。激振部731包含:台面区域131a，形成有激振电极134;以及周边区域731b，形成在台面区域131a的周围。另外，连结部733分别连结于激振部731的-X轴侧的边即第一边138a的两端。在台面区域131a与连结部733之间的周边区域731b的+Y'轴侧及-Y'轴侧的面上，分别形成有突起部733a。各突起部733a比各连结部733的Z'轴方向的长度更长。+Y^轴侧的面上所形成的突起部733a与-Y'轴侧的面上所形成的突起部733a是:以彼此在Y'轴方向上呈对称的方式而形成。突起部也可形成于如压电振动片630及压电振动片730所示的压电振动片，该压电振动片的两个连结部连结于激振部。另外，突起部也可形成于连结部仅连结于第一边138a的一方的端部的压电振动片、及连结部分别连结于激振部的+X轴侧及-X轴侧的两端固定型压电振动片等。第四实施方式压电元件1100的构成图11是压电元件1100的分解立体图。压电元件1100包含:盖板1110、基底板1120、以及压电振动片1130。压电振动片1130中，例如使用AT切割的晶体振动片。AT切割的晶体振动片的主面(YZ面)相对于结晶轴(XYZ)的Y轴，以X轴为中心，从Z轴向Y轴方向倾斜35度15分。在以下的说明中，以AT切割的晶体振动片的轴方向为基准，使用倾斜的新的轴作为V轴以及t轴。S卩，压电元件1100中，将压电元件1100的长边方向作为X轴方向，将压电元件1100的高度方向作为Y'轴方向，将与X轴方向及Γ轴方向垂直的方向作为t轴方向来进行说明。压电振动片1130包含:激振部1131，以规定的频率发生振动，且形成为四边形状；框部1132，将激振部1131予以包围；以及一个连结部1133，将激振部1131与框部1132予以连结。激振部1131与框部1132之间的连结部1133以外的区域成为贯通孔1136，该贯通孔1136沿着Y'轴方向将压电振动片1130予以贯通。在激振部1131的+Y'轴侧的面及-V轴侧的面上形成有激振电极1134。另外，激振部1131是由台面区域1131a与周边区域1131b而形成，所述台面区域1131a形成有激振电极1134，所述周边区域1131b形成在台面区域1131a的周围，且Y'轴方向的厚度比台面区域1131a更薄。引出电极1135分别从形成于+Y'轴侧及-Y'轴侧的面的激振电极1134开始，通过连结部1133而引出至框部1132的-Y'轴侧的面为止。而且，框部1132包括:第一区域1137a与第二区域1137b。第一区域1137a的Y'轴方向的厚度与连结部1133相同。第二区域1137b的Y'轴方向的厚度比第一区域1137a更厚。连结部1133连结于包含框部1132的第一区域1137a的区域。基底板1120配置在压电振动片1130的-Y'轴侧。基底板1120形成为矩形形状，该矩形形状在X轴方向上具有长边，在Zi轴方向上具有短边。在基底板1120的-Y'轴侧的面上形成有一对外部电极1124。该外部电极1124经由焊料而固定于印刷基板等，且与该印刷基板等形成电性连接。借此，压电元件1100安装于印刷基板等。另外，在基底板1120的四个角落的侧面形成有城堡形部分1126，在城堡形部分1126中形成有城堡形电极1125。在基底板1120的+Y'轴侧的面上形成有凹部1121，在凹部1121的周围形成有接合面1122。另外，在接合面1122的四个角落、即在城堡形部分1126的周围形成有连接电极1123。该连接电极1123经由形成于城堡形部分1126的城堡形电极1125而电性连接于外部电极1124。基底板1120在接合面1122上，经由密封材料1141 (参照图12)而接合于压电振动片1130的框部1132的-Y'轴侧的面。另外，连接电极1123与压电振动片1130的引出电极1135形成电性连接。 盖板1110配置在压电 振动片1130的+Y'轴侧。在盖板1110的-Y'轴侧的面上形成有凹部1111，在凹部1111的周围形成有接合面1112。盖板1110在接合面1112上，经由密封材料1141 (参照图12)而接合于压电振动片1130的框部1132的+Yi轴侧的面。图12是图11的XI1-XII剖面的剖面图。压电元件1100包括压电振动片1130，该压电振动片1130具有框部1132。盖板1110的接合面1112经由密封材料1141而接合于框部1132的+Yi轴侧的面。基底板1120的接合面1122经由密封材料1141而接合于框部1132的-V轴侧的面。借此，对压电元件1100的内部进行密封。当将压电振动片1130与基底板1120予以接合时，框部1132的-Y'轴侧的面上所形成的引出电极1135、与基底板1120的接合面1122上所形成的连接电极1123形成电性连接。借此，台面区域1131a的+Y'轴侧及-Y'轴侧所形成的各激振电极1134是:经由引出电极1135、连接电极1123、以及城堡形电极1125，而电性连接于外部电极1124。图13A是压电振动片1130的平面图。压电振动片1130包含:激振部1131，形成为矩形形状；框部1132，将激振部1131予以包围；以及一个连结部1133，将激振部1131与框部1132予以连结。激振部1131包括第一边1138a与第二边1138b，所述第一边1138a是激振部1131的-X轴侧的边，所述第二边1138b是激振部1131的—V轴侧及-V轴侧的边。另外，框部1132是由:在t轴方向延伸的第一框体1132a、与在X轴方向延伸的第二框体1132b形成，且框部1132将激振部1131予以包围。在激振部1131的-X轴侧所形成的第一框体1132a中，包括第一区域1137a及第二区域1137b。第一区域1137a的Y'轴方向的厚度与连结部1133相同。第二区域1137b的Y'轴方向的厚度比第一区域1137a更厚。连结部1133连结于包含框部1132的第一区域1137a的区域。另外，连结部1133连结于激振部1131的第一边1138a的中央。激振部1131与框部1132之间的连结部1133以外的区域成为贯通孔1136，该贯通孔1136沿着Y'轴方向将压电振动片1130予以贯通。形成于激振部1131的周边区域1131b是:以将台面区域1131a予以包围的方式而形成。引出电极1135从台面区域1131a的+Y'轴侧的面上所形成的激振电极1134开始，经由周边区域1131b、连结部1133的+Y'轴侧的面、连结部1133的—V轴侧的侧面1133a、及连结部1133的-Y'轴侧的面，而引出至框部1132的-Y'轴侧的面的-X轴侧的+Z^轴侧的角部为止。另外，引出电极1135从台面区域1131a的-Y'轴侧的面上所形成的激振电极1134(参照图13B)开始，经由周边区域1131b以及连结部1133的-Y'轴侧的面，而引出至框部1132。引出电极1135进而在框部1132的-Y'轴侧的面上沿着-Zi轴方向及+X轴方向延伸。引出电极1135引出至框部1132的-Y'轴侧的面的+X轴侧的-V轴侧的角部为止。图13B是图13A的XIIIB-XIIIB剖面图。在压电振动片1130中，第一区域1137a以外的框部1132的Y'轴方向的厚度形成为第三厚度T3，台面区域1131a的Y'轴方向的厚度形成为第二厚度T2，周边区域1131b、连结部1133、以及框部1132的第一区域1137a的V轴方向的厚度形成为第一厚度Tl。在压电振动片1130中，第三厚度T3形成得比第二厚度T2及第一厚度Tl更厚，第二厚度T2形成得比第一厚度Tl更厚。对于压电振动片1130而言，在频率例如为40MHz的情况下，第二厚度T2形成为41.75 μ m。压电振动片1130的模拟结果在将压电元件1100安装于印刷基`板的状态下，进行用以求出如下的应力的模拟，该应力是在使印刷基板弯曲的情况下施加至压电振动片1130的应力。设想如下的两种情况来进行模拟，所述两种情况是指:在压电元件1100的长边方向(X轴方向)上使印刷基板弯曲的情况(长边弯曲)、及在短边方向(Z'轴方向)上使印刷基板弯曲的情况(短边弯曲)。以下，对压电振动片1130的模拟结果进行说明。图14A是未形成有电极的压电振动片1130的平面图。将压电振动片1130的框部1132的Z'轴方向的整体长度设为长度WA，将框部1132的X轴方向的整体长度设为长度LA，将第一框体1132a的X轴方向的长度设为长度LC，将激振部1131的第一边1138a的长度设为长度WS，将第二边1138b的长度设为长度LS，将台面区域1131a的X轴方向的长度设为LMJfZ'轴方向的长度设为长度丽，将连结部1133的Z'轴方向的长度设为长度WR,以及将连结部1133的X轴方向的长度设为长度LR，将框部1132的第一区域1137a的X轴方向的长度设为长度LB。将长度LA设为2.0mm，将长度WA设为1.6mm，将长度LC设为
0.2mm,将长度LS设为1.3mm,将长度WS设为0.95mm,将长度LM设为0.78mm,将长度WM设为0.66mm,将长度LR设为0.1mm,将长度WR设为0.32mm,将长度LB设为0.1mm来进行模拟。图14B是压电振动片1130的短边弯曲的模拟结果。在图14B中，仅表示了压电振动片1130的激振部1131及连结部1133的平面图。在图14B中，台面区域1131a的颜色(白色)是几乎未施加应力的状态的颜色。比该颜色更浓的部位表示施加有应力。另外，接近于黑色的部位施加了最强的应力。在图14B中，在连结部1133及该连结部1133的周边表示了颜色浓的部分。已知:在连结部1133及该连结部1133的周边产生了应力。另外，将台面区域1131a的中心点设为中心点1139a，将通过中心点1139a且与X轴呈平行的直线设为直线1139，将直线1139上的点即激振部1131的-X轴侧的端部设为端点1139b。图15A是表示激振部1131的应力分布的图。图15A表示图14B的直线1139上的应力分布。横轴表不X轴方向位置(mm)。纵轴表不应力(MPa)。关于X轴方向位置,将台面区域1131a的中心点即中心点1139a(参照图14B)设为0.0_。从中心点1139a算起的朝向+X轴方向的距离表示为正值。从中心点1139a算起的朝向-X轴方向的距离表示为负值。另外，当纵轴所示的应力为正值时，表示施加拉伸应力的情况；当纵轴所示的应力为负值时，表示施加压缩应力的情况。另外，在图15A中，表示了在压电振动片1130中形成有第一区域1137a的情况、与在压电振动片1130中未形成有第一区域1137a的情况的结果。各个结果表示了长边弯曲及短边弯曲的结果。在图15A中，涂黑的菱形表示:无第一区域1137a的长边弯曲的结果，留白的菱形表示:无第一区域1137a的短边弯曲的结果，留白的圆表示:有第一区域1137a的长边弯曲的结果，涂黑的圆表示:有第一区域1137a的短边弯曲的结果。在图15A中，表示了无第一区域的长边弯曲(涂黑菱形)与有第一区域的长边弯曲(留白圆)。有第一区域的长边弯曲时的应力的绝对值小于无第一区域的长边弯曲时的应力的绝对值。另一方面，图15A是以如下的方式来表示:无第一区域的短边弯曲(留白菱形)与有第一区域的短边弯曲(涂黑圆)。有第一区域的短边弯曲时的应力的绝对值小于无第一区域的短边弯曲时的应力的绝对值。图15B是表示台面区域1131a的中心点1139a及激振部1131的-X轴侧的端点1139b处的短边弯曲的应力的图。横轴表示中心点1139a及端点1139b，纵轴表示应力。另夕卜，在图15B中，表示了各点的有第一区域时与无第一区域时的应力。在台面区域1131a的中心点1139a处，无第一区域时的应力为-0.501MPa，有第一区域时的应力为-0.390MPa。另夕卜，在激振部1131的端点1139b处，无第一区域时的应力为-1.354MPa，有第一区域时的应力为-1.049MPa。在台面区域1131a的中心点1139a及激振部1131的端点1139b处，有第一区域时的应力小于无第一区域时的应力。已知:在激振部1131的端点1139b处，应力的强度减少了约22%。图15A及图15B的结果如下所述。在压电振动片1130的框部1132中形成有第一区域1137a。已知:借此，施加至激振部1131的应力减少。另外，形成有第一区域1137a的压电振动片1130与“未形成有第一区域1137a的压电振动片1130”相比较，“与连结部1133相邻接的激振部1131的端点1139b”的应力更小。因此，认为:施加至连结部1133的应力减少。因此，认为:压电振动片的耐冲击性不会因形成第一区域而减弱。因此，在压电振动片1130中，在框部1132处形成第一区域1137a，借此，可不损害耐冲击性而使施加至激振部1131的应力减少。借此，可防止压电振动片的振动频率等特性发生变化。另外，在“形成有激振部、框部、以及连结部的压电振动片”中，“连结部的X轴方向的长度”越长，则“框部的应力”越不易传递至激振部，使激振部的应力减小。已知:借由在框部形成第一区域，可与使“连结部的X轴方向的长度”变长同样地，而抑制“施加至激振部的应力”。即，即使将连结部的X轴方向的长度设计成短的长度，也可借由在框部形成第一区域来抑制施加至激振部的应力。对于压电振动片而言，只要可将连结部的X轴方向的长度设计成短的长度，则可相应地使激振部的设计允许范围扩大，由此为较佳。在压电振动片1130中，框部1132的第二区域1137b接合于盖板1110及基底板1120,从而对压电兀件1100的内部进行密封。因此，长度LC比长度LB更长。另外，为了确保充分的接合区域，较为理想的是，长度LB为长度LC的一半或一半以下，所述充分的接合区域用以使压电元件1100的内部的密封不会解除。第五实施方式形成于框部且连结于连结部的第一区域也可形成为如下的各种形状，所述各种形状与形成于压电振动片1130的第一区域不同。另外，根据形成于压电振动片的连结部的位置来形成所述第一区域。以下，对形成有与压电振动片1130不同的第一区域的压电振动片进行说明。另外，在以下的说明中，对与压电振动片1130相同的部分及已说明过一次的部分附上与该部分相同的记号，并将该部分的说明予以省略。压电振动片1230的构成图16A是未形成有电极的压电振动片1230的平面图。压电振动片1230是由:包括台面区域1131a及周边区域1131b的激振部1131、将激振部1131予以包围的框部1232、以及将激振部1131与框部1232予以连结的连结部1133而形成。框部1232是由:在V轴方向延伸的第一框体1232a及在X轴方向延伸的第二框体1232b而形成。在框部1232的-X轴侧的第一框体1232a中，形成有第一区域1237a与第二区域1237b。第一区域1237a形成为与连结部1133相同的厚度，且连结于连结部1133。第二区域1237b的厚度比第一区域1237a的厚度更厚。压电振动片1230包括:第二框体1232b与第一框体1232a，该第一框体1232a具有第二区域1237b。盖板1110接合于第二框体1232b及第二区域1237b的+Y1轴侧，基底板1120接合于第二框体1232b及第一框体1232a的-Y'轴侧的面。借此，形成压电元件。图16B是图16A的虚线1161所包围的区域的放大图。将第一区域1237a的+X轴侧的边设为第三边1238c，将第一区域1237a的-X轴侧的边设为第四边1238d。第三边1238c的长度形成为长度WR，该长度WR与连结部1133的Z'轴方向的长度相同。第四边1238d的长度形成为长度WB2。长度WB2小于长度WR。第三边1238c及第四边1238d的两端彼此由直线连结。即，第一区域1237a的平面形状形成为梯形。对于压电振动片1230而言，可借由形成第一区域1237a来抑制施加至激振部1131的应力，并且由于长度WB2形成得小于长度WR，因此，第二区域1237b的面积扩大。因此，可更强力地将框部1232与盖板1110及基底板1120予以粘接，从而可更强力地对压电元件的内部进行密封。图16C是压电振动片1230a的剖面图。压电振动片1230a是压电振动片1230的变形例。图16C中表示了与图16A的XVIC-XVIC剖面相当的剖面图。对于压电振动片1230a而言，连结部1133及第一区域1237a的Y'轴方向的厚度形成为第二厚度T2，其他构成与压电振动片1230相同。连结部1133及第一区域1237a形成得厚，因此，可使压电振动片1230a的耐冲击性提高。此种连结部及第一区域的厚度形成得厚的构成，也可使用于第四实施方式中所说明的压电振动片1130及第五实施方式中所说明的其他压电振动片。另外，当“连结部1133及第一区域1237a”与周边区域1131b的阶差形成得:和台面区域1131a与周边区域1131b的阶差相等时，可同时形成连结部1133、第一区域1237a、以及台面区域1131a。借此，可使制造步骤简化，由此为较佳。压电振动片1330的构成图17A是未形成有电极的压电振动片1330的平面图。压电振动片1330是由:包括台面区域1131a及周边区域1131b的激振部1131、将激振部1131予以包围的框部1332、以及将激振部1131与框部1332予以连结的连结部1133而形成。框部1332是由:在t轴方向延伸的第一框体1332a及在X轴方向延伸的第二框体1332b而形成。在框部1332的-X轴侧的第一框体1332a中，形成有第一区域1337a、及第二区域1337b。第一区域1337a形成为与连结部1133相同的厚度，且连结于连结部1133。第二区域1337b的厚度比第一区域1337a的厚度更厚。压电振动片1330包括:第二框体1332b与第一框体1332a，该第一框体1332a具有第二区域1337b。盖板1110接合于第二框体1332b与第二区域1337b的+Y^轴侧的面，基底板1120接合于第二框体1332b与第一框体1332a的-Y'轴侧的面。借此，形成压电元件。图17B是图17A的虚线1162所包围的区域的放大图。第一区域1337a的+X轴侧的边为第三边1238c，第一区域1337a的-X轴侧的边为第四边1238d。第一区域1337a相当于如下的形状，该形状是以平面1338e来对压电振动片1130的第一区域1137a(参照图14A)的-X轴侧的角部进行倒角所得的形状。来自印刷基板等的应力施加至框部。特别是，应力容易集中于第一区域的角部等前端变尖的部位。认为:由于以所述角部为起点而产生裂纹等，因此，压电振动片会破损。在对第一区域的角部进行了倒角的情况下，可防止应力集中于第一区域的角部，压电振动片1330不易破损，耐冲击性提高。图17C是以曲面进行倒角的第一区域1337a的平面图。图17C是以如下的方式来表不第一区域1337a。压电振动片1330包括第一区域1337a,该第一区域1337a具有第四边1238d。以如下的状态来表示第四边1238d，该状态是指:借由曲面1338f来对该第四边1238d的两端的角部进行了倒角的状态。如图17C所示，借由曲面1338f来对第一区域1337a进行倒角。借此，与图17B所示的第一区域1337a同样地，不会使施加至第一区域的角部的应力集中，可使压电振动片的耐冲击性提高。压电振动片1430的构成图18A是未形成有电极的压电振动片1430的平面图。压电振动片1430是由:包括台面区域1131a及周边区域1131b的激振部1131、将激振部1131予以包围的框部1432、以及将激振部1131与框部1432予以连结的连结部1133而形成。框部1432是由:在V轴方向延伸的第一框体1432a及在X轴方向延伸的第二框体1432b而形成。在框部1432的-X轴侧的第一框体1432a中，形成有第一区域1437a与第二区域1437b。第一区域1437a形成为与连结部1133相同的厚度，且连结于连结部1133。第二区域1437b的厚度比第一区域1437a的厚度更厚。压电振动片1430包括:第二框体1432b与第一框体1432a，该第一框体1432a具有第二区域1437b。盖板1110接合于第二框体1432b与第二区域1437b的+Yi轴侧的面，基底板1120接合于第二框体1432b与第一框体1432a的-Y'轴侧的面。借此,形成压电元件。

图18B是图18A的虚线1163所包围的区域的放大图。第一区域1437a的+X轴侧的边为第三边1438c，第一区域1437a的-X轴侧的边为第四边1238d。第三边1438c及第四边1238d的长度均为长度WB2，第一区域1437a形成为矩形形状。对于压电振动片1430而言，可借由形成第一区域1437a来抑制施加至激振部1131的应力，并且长度WB2形成得小于长度WR，借此，与压电振动片1130相比较，第二区域的面积扩大。因此，可更强力地将框部1432与盖板1110及基底板1120予以粘接，从而可更强力地对压电元件的内部进行密封。压电振动片1530的构成图18C是未形成有电极的压电振动片1530的平面图。压电振动片1530是由:包括台面区域1131a及周边区域1131b的激振部1131、将激振部1131予以包围的框部1532、以及将激振部1131与框部1532予以连结的连结部1133而形成。框部1532是由:在V轴方向延伸的第一框体1532a及在X轴方向延伸的第二框体1532b而形成。在框部1532的-X轴侧的第一框体1532a中，形成有第一区域1537a与第二区域1537b。第一区域1537a形成为与连结部1133相同的厚度，且连结于连结部1133。第二区域1537b的厚度比第一区域1537a的厚度更厚。压电振动片1530的盖板1110接合于第二区域1537b的+Y'轴侧的面，基底板1120接合于第一框体1532a的-Y'轴侧的面。借此，形成压电元件。图18D是图18C的虚线1164所包围的区域的放大图。第一区域1537a的+X轴侧的边为第三边1538c，第一区域1537a的-X轴侧的边为第四边1538d。第三边1538c及第四边1538d的长度均为长度WB3，第一区域1537a形成为矩形形状。另外，长度WB3形成得比长度WR更长。压电振动片1530的第一区域1537a的长度WB3形成得大于连结部1133的长度WR，第一区域的面积扩大。借此，认为与压电振动片1130相比较，可抑制施加至激振部1131的应力。压电振动片1630的构成图19A是未形成有电极的压电振动片1630的平面图。压电振动片1630是由:包括台面区域1131a及周边区域1131b的激振部1131、将激振部1131予以包围的框部1632、以及将激振部1131与框部1632予以连结的连结部1633而形成。激振部1131与框部1632之间的连结部1633以外的区域成为贯通孔1636，该贯通孔1636沿着Y'轴方向将压电振动片1630予以贯通。连结部1633连结于激振部1131的-X轴侧的边的-V轴侧的端部，该连结部1633的Z'轴方向的长度形成为长度WR。框部1632是由:在Z'轴方向延伸的第一框体1632a及在X轴方向延伸的第二框体1632b而形成。在框部1632的-X轴侧的第一框体1632a中，形成有第一区域1637a与第二区域1637b。第一区域1637a形成为与连结部1633相同的厚度，且连结于连结部1633。第二区域1637b的厚度比第一区域1637a的厚度更厚。在压电振动片1630中，第一区域1637a的Z'轴方向的长度形成为长度WR，该长度WR与连结部1633的Z'轴方向的长度相同。压电振动片1730的构成图19B是未形成有电极的压电振动片1730的平面图。压电振动片1730是由:包括台面区域1131a及周边区域1131b的激振部1131、将激振部1131予以包围的框部1732、以及将激振部1131与框部1732予以连结的连结部1733而形成。激振部1131与框部1732之间的连结部1733以外的区域成为贯通孔1736，该贯通孔1736沿着Y'轴方向将压电振动片1730予以贯通。连结部1733连结于激振部1131的-X轴侧的边即第一边1138a的-Z'轴侧及+Z^轴侧的端部。框部1732是由:在Z'轴方向延伸的第一框体1732a及在X轴方向延伸的第二框体1732b而形成。在框部1732的-X轴侧的第一框体1732a中，形成有第一区域1737a与第二区域1737b。第一区域1737a形成为与连结部1733相同的厚度，且分别连结于各连结部1733。第二区域1737b的厚度比第一区域1737a的厚度更厚。各连结部1733与各第一区域1737a的V轴方向的长度分别形成为长度WR2。压电振动片1630及压电振动片1730的连结部的形成位置与压电振动片1130不同。如压电振动片1630及压电振动片1730所示，压电振动片的框部包括第一区域，该第一区域连结于连结部。可根据连结部的形成位置而形成第一区域。以上，已详细地对本发明的最佳实施方式进行了说明，但对于本领域技术人员而言，显然可在本发明的技术范围内，对实施方式添加各种变更、变形来实施本发明。具体而言，可将第一实施方式 第三实施方式与第四实施方式、第五实施方式加以组合。例如在所述实施方式中，表示了压电振动片为AT切割的晶体振动片的情况，但同样地，即使所述压电振动片为以厚度剪力模式(thickness shear mode)而发生振动的BT切割的晶体振动片等，也可同样适用。而且，压电振动片基本上不仅可应用晶体材料，而且可应用包含钽酸锂或铌酸锂或者压电陶瓷的压电材料。第一观点的压电振动片包括:矩形形状的激振部、将激振部予以包围的框部、连结部、以及突起部。激振部包含:两个主面、所述两个主面上的一对激振电极、在第一方向延伸的第一边、以及在第二方向延伸的第二边。第二边比第一边更长。第二方向与第一方向正交。连结部将激振部的第一边与框部予以连结。连结部的厚度比框部的厚度更薄。在连结部、和连结部与激振电极之间的区域的至少一方，突起部向厚度方向突出地形成。激振电极形成于连结部的第二方向。突起部的第一方向的长度是:与连结部的第一方向的长度相同、或为连结部的第一方向的长度以上。根据第一观点，对于第二观点的压电振`动片而言，连结部连结于激振部的第一边的中央。根据第一观点及第二观点，对于第三观点的压电振动片而言，突起部形成在两个主面上。一方的主面上所形成的突起部、与另一方的主面上所形成的突起部是以在厚度方向上呈对称的方式而形成。根据第一观点至第三观点，对于第四观点的压电振动片而言，激振部包括:台面区域与周边区域。台面区域形成有激振电极。周边区域形成在台面区域的周围，且周边区域的厚度比台面区域的厚度更薄。周边区域的厚度与连结部的厚度相等。根据第四观点，第五观点的压电振动片在突起部的厚度方向上具有高度。该高度是:与台面区域的从周边区域算起的朝向厚度方向的高度相等。第六观点的压电元件包含:第一观点至第五观点的压电振动片；盖板，接合于压电振动片的框部的一方的主面；以及基底板，接合于压电振动片的框部的另一方的主面。第七观点的压电振动片包括:激振部、框部、以及连结部。激振部在两个主面上形成有一对激振电极，且具有矩形形状，该矩形形状包含:在第一方向延伸的第一边及在第二方向延伸的第二边。第二边比第一边更长。第二方向与第一方向正交。框部包括:在第一方向延伸的第一框体、与在第二方向延伸的第二框体。第一框体及第二框体将激振部予以包围。第一框体包含:第一厚度的第一区域、与比第一厚度更厚的第二区域。连结部为第一厚度。连结部将激振部的第一边与第一框体的第一区域予以连结。第一框体的第二方向的长度比第一区域的第二方向的长度更长。根据第七观点，对于第八观点的压电振动片而言，连结部为一个。该连结部连结于激振部的第一边的中央。根据第七观点，对于第九观点的压电振动片而言，连结部连结于激振部的第一边的至少一方的端部。根据第七观点至第九观点，第十观点的压电振动片包含:第三边与第四边。在第三边上，第一区域与连结部发生接触，该第三边在第一方向延伸。第四边处于第一区域的连结部的相反侧。第三边的长度是:与第四边的长度相同、或为第四边的长度以上。根据第十观点，第十一观点的压电振动片包括:与第一区域的第四边的两端发生接触的角部。借由曲面或平面来对角部进行倒角。根据第十观点或第十一观点，对于第十二观点的压电振动片而言，第三边的长度是:与连结部的第一方向的长度相同、或为连结部的第一方向的长度以下。根据第七观点至第十二观点，对于第十三观点的压电振动片而言，第一区域的第二方向的长度为:第一框体的第二方向的长度的一半、或所述第一框体的所述第二方向的长度的一半以下。根据第七观点至第十三观点，对于第十四观点的压电振动片而言，激振部包括:台面区域与周边区域。在台面区域中形成有激振电极。周边区域是:形成在台面区域的周围，且厚度比台面区域的厚度更薄的区域。周边区域的厚度为第一厚度。第十五观点的压电元件包含:第七观点至第十四观点的压电振动片；盖板，接合于压电振动片的框部的一方的主面；以及基底板，接合于压电振动片的框部的另一方的主面。根据本发明的压电振动片及压电元件，可抑制对于激振部的应力的影响。在所述说明书中，已对本发明的原理、优选实施方式、及处理模式进行了说明。然而，需被保护的发明并不特别限定于所述实施方式。而且，此处所述的实施方式是例示，并不对本发明进行限定。在不脱离本发明的宗旨的范围内，本领域技术人员可进行变更及改良，并可使用对等物。因此，显然权利要求书所定义的本发明的宗旨及范畴内的全部的变更、改良及对等物包含于本发明。
权利要求
1.种压电振动片，其特征在于包括: 矩形形状的激振部，包含:两个主面、所述两个主面上的一对激振电极、在第一方向延伸的第一边、比所述第一边更长且在与所述第一方向正交的第二方向延伸的第二边； 框部，利用在所述第一方向延伸的第一框体及在所述第二方向延伸的第二框体，来将所述激振部予以包围，所述第一框体包含:第一厚度的第一区域、与比所述第一厚度更厚的第二区域； 连结部，为所述第一厚度，且将所述激振部的所述第一边与所述第一框体的第一区域予以连结；以及 突起部，在所述连结部、和所述连结部与所述连结部的所述第二方向上所配置的所述激振电极之间的区域的至少一方，所述突起部向所述厚度方向突出， 所述第一框体的所述第二方向的长度是:比所述第一区域的所述第二方向的长度更长， 所述突起部的所述第一方向的长度是:与所述连结部的第一方向的长度相同、或为所述连结部的第一方向的长度以上。
2.种压电振动片，其特征在于包括: 矩形形状的激振部，包含:两个主面、所述两个主面上的一对激振电极、在第一方向延伸的第一边、比所述第一边更长且在与所述第一方向正交的第二方向延伸的第二边； 框部，将所述激振部予以包围； 连结部，将所述激振部的所述第一边与所述框部予以连结，且所述连结部的厚度比所述框部的厚度更薄；以及 突起部，在所述连结部、和所述连结部与所述连结部的所述第二方向上所配置的所述激振电极之间的区域的至少一方，所述突起部向所述厚度方向突出， 所述突起部的所述第一方向的长度是:与所述连结部的第一方向的长度相同、或为所述连结部的第一方向的长度以上。
3.据权利要求2所述的压电振动片，其特征在于: 所述连结部连结于所述激振部的所述第一边的中央。
4.据权利要求2所述的压电振动片，其特征在于: 所述激振部包括:台面区域与周边区域， 所述台面区域形成有所述激振电极， 所述周边区域形成在所述台面区域的周围，且所述周边区域的厚度比所述台面区域的厚度更薄， 所述周边区域的厚度与所述连结部的厚度相等。
5.种压电兀件,其特征在于包括: 根据权利要求2所述的压电振动片； 盖板，接合于所述压电振动片的所述框部的一方的主面；以及 基底板，接合于所述压电振动片的所述框部的另一方的主面。
6.种压电振动片,其特征在于包括: 矩形形状的激振部，包含:两个主面、所述两个主面上的一对激振电极、在第一方向延伸的第一边、比所述第一边更长且在与所述第一方向正交的第二方向延伸的第二边；框部，利用在所述第一方向延伸的第一框体及在所述第二方向延伸的第二框体，来将所述激振部予以包围，所述第一框体包含:第一厚度的第一区域、与比所述第一厚度更厚的第二区域；以及 连结部，为所述第一厚度，且将所述激振部的所述第一边与所述第一框体的第一区域予以连结， 所述第一框体的所述第二方向的长度是:比所述第一区域的所述第二方向的长度更长。
7.据权利要求6所述的压电振动片，其特征在于: 所述连结部为一个，且所述连结部连结于所述激振部的所述第一边的中央。
8.据权利要求6所述的压电振动片，其特征在于: 所述第一区域包含: 于所述连结部侧在所述第一方向延伸的第三边、与所述第一区域的所述连结部的相反侧的第四边， 所述第三边的长度是:与所述第四边的长度相同、或为所述第四边的长度以上。
9.据权利要求6所述的压电振动片，其特征在于: 所述第一区域的所述第二方向的长度为:所述第一框体的所述第二方向的长度的一半、或所述第一框体的所述第二方向的长度的一半以下。
10.种压电元件，其特 征在于包括: 根据权利要求6所述的压电振动片； 盖板，接合于所述压电振动片的所述框部的一方的主面；以及 基底板，接合于所述压电振动片的所述框部的另一方的主面。
全文摘要
一种压电振动片以及压电元件，所述压电振动片包括矩形形状的激振部、框部、连结部、以及突起部。激振部包含两个主面上的一对激振电极、在第一方向延伸的第一边、以及在第二方向延伸的第二边。第二边比第一边更长。第二方向与第一方向正交。连结部将激振部的第一边与框部予以连结，且连结部的厚度比框部的厚度更薄。在连结部、与连结部与激振电极之间的区域的至少一方，突起部向厚度方向突出地形成。突起部的第一方向的长度与连结部的第一方向的长度相同、或为连结部的第一方向的长度以上。
文档编号H03H9/02GK103095243SQ20121043121
公开日2013年5月8日 申请日期2012年11月1日 优先权日2011年11月2日
发明者有路巧, 高桥岳宽 申请人:日本电波工业株式会社