一种对触控面板载体玻璃进行定点溅镀导电材料的装置的制作方法

文档序号:7542371阅读:185来源:国知局
专利名称:一种对触控面板载体玻璃进行定点溅镀导电材料的装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种载体玻璃定点溅镀领域,特别涉及一种对触控面板载体玻璃进行定点溅镀导电材料的装置。
背景技术
随着科技的高速发展,电子类产品已发生了天翻地覆的变化,随着近来触控式电子类产品的问世,触控产品已越来越多的受到人们的追捧,不但其可节省空间,方便携带,而且用户通过手指或者触控笔等就可直接操作,使用舒适,非常便捷。例如,目前市场常见的个人数字处理(PDA)、触控类手机、手提式笔记型电脑等等,都已加大对触控技术的投入,所以触控式装置将来必在各个领域有更加广泛的应用。 电容式触控面板的结构是由含导电材料即氧化铟锡(ITO)的载体基材、盖板玻璃和FPC软排线构成。其中导电材料的载体基材为载体玻璃又叫氧化铟锡(ITO)基材,其制造工艺很复杂,占据电容屏的成本比重较高。目前,常用的溅镀工艺方法是采用轰击靶材,靶材由导电材料构成,使原子大小的导电材料如细小的雪花状自由落在载体玻璃上,工艺名称叫溅镀法,通常指的是磁控溅镀,属于高速低温溅镀法,该工艺要求真空度在IX 10-3Torr左右,S卩I. 3X10_3Pa的真空状态充入惰性气体氩气(Ar),并在载体玻璃(阳极)和金属靶材(阴极)之间加上高压直流电压,由于辉光放电(glow discharge)产生的电子激发惰性气体,产生等离子体,等离子体将金属靶材的原子大小的导电材料轰出,沉积在载体玻璃上。然后使用指定的Mask光照网板覆盖在氧化铟锡(ΙΤ0)基材上,用化学液体蚀刻,或者激光蚀刻的方式对载体玻璃上的导电材料进行线路刻蚀,此种方式对于设备、操作人员、操作环境的空气洁净度都有严格的要求。其优点在于大批量生产快捷,缺点是小批量生产,成本高昂,对于现在流行的小批量定做样屏,存在无法降低成本的问题。为了克服上述缺点和问题,虽然目前业界也针对性的提出了一些解决办法,比如通过使用印刷设备,在软性膜材料印刷导电材料的方式,但是软性膜材料的材料特质使得其高温可靠性,透光率都会有明显的下降,且寿命会比载体玻璃短很多,小批量虽然有优势,但是转为大批量生产时,成本并没有降低多少。或者也有在载体玻璃的背面增加一个可移动的电极装置,通过电机带动移动可移动电极的方法实现定点溅镀,此装置存在机械移动电极部件,在移动电极时不宜准确定位,长时间使用后会发生机械位置偏差,并且电机带动电极的移动速度不够迅速和快捷,溅镀工作效率低。因此采用的上述设备均得不到客户的要求和认可。因此迫切需要提供一种更加简便,低成本的定点溅镀装置来解决以上问题。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种对触控面板载体玻璃进行定点溅镀导电材料的装置,解决在对载体玻璃进行定点溅镀时因机械部件多,易发生机械定位不准确和电极部件移动速度不迅速的问题。为了实现上述目的,本实用新型提供一种对触控面板载体玻璃进行定点溅镀导电材料的装置,对载体玻璃进行定点溅镀导电材料,包括靶材、前电极和射线发生器,射线发生器的射线轰击靶材,还包括矩阵开关板和固定装置,所述靶材和前电极连接,均设置在载体玻璃的一侧并不接触载体玻璃,矩阵开关板设置在载体玻璃的另一侧并和载体玻璃平行设置,矩阵开关板和载体玻璃通过固定装置定位。矩阵开关板包括印刷线路板、矩阵开关和控制电路,矩阵开关和控制电路设置在印刷线路板上,矩阵开关设置一个或至少一个以上个,控制电路控制矩阵开关的通断,矩阵开关板的面积大于或等于载体玻璃的面积。固定装置采用夹持或卡合的方式定位。 固定装置包括定位条和弹簧,定位条设置在矩阵开关板的对边上,弹簧相对平行安装在定位条上。本实用新型的工作原理是通过矩阵开关板和固定装置的设置,采用印刷线路板上集成矩阵开关和开关控制电路的方式,不再采用机械移动的电极及带动电极移动的电机等部件,通过印刷线路板上不同坐标上的开关输出电极与前电极保持相反,实现定点溅镀导电材料于载体玻璃上,并通过固定装置保证矩阵开关板和载体玻璃事先相互位置定位。本实用新型的有益效果是取消了机械移动电极,实现载体玻璃定点溅镀时能够定点移动迅速、准确定位和提高溅镀工作效率。

图I为本实用新型实施例的结构原理示意图。图2为本实用新型实施例的矩阵开关板结构示意图。其中I-控制电路,2-矩阵开关,3-印刷线路板,4-弹簧,5-定位条,6_矩阵开关板,7-前电极,8-靶材,9-射线发生器,10-载体玻璃。
具体实施方式
以下结合附图详细说明本实用新型的优选实施例。实施例如图I和图2所示,本实施例提供一种对触控面板载体玻璃进行定点溅镀导电材料的装置,对载体玻璃进行定点溅镀导电材料,包括靶材8、前电极7、射线发生器9、矩阵开关板6和固定装置,所述靶材8和前电极7连接,均设置在载体玻璃10的一侧并不接触载体玻璃10,矩阵开关板6设置在载体玻璃10的另一侧并和载体玻璃10平行设置,矩阵开关板6和载体玻璃10通过固定装置定位,固定装置包括定位条5和弹簧4,定位条5设置在印刷线路板3上,弹簧4设置在定位条5上,矩阵开关板6的面积大于载体玻璃10,矩阵开关板6的对边分别设置定位条5和弹簧4对载体玻璃10进行定位和卡合,或者也可以采用固定夹夹持矩阵开关板6和载体玻璃10进行定位和固定。矩阵开关板6包括印刷线路板3、9个矩阵开关2和控制电路1,矩阵开关2和控制电路I均设置在印刷线路板3上,或者也可以将控制电路I单独设置在另外一块印刷线路板上用导线相互连接,供电后的控制电路I控制矩阵开关2通断或多个通断,矩阵开关板6的面积设置成大于载体玻璃10的面积。[0020]本实施例的有益效果是取消了机械移动电极,实现载体玻璃定点溅镀时能够定点 移动迅速、准确定位和提高溅镀工作效率。
权利要求1.一种对触控面板载体玻璃进行定点溅镀导电材料的装置,对载体玻璃进行定点溅镀,包括靶材、前电极和射线发生器,射线发生器的射线轰击靶材,其特征在于还包括矩阵开关板和固定装置,所述靶材和前电极连接,均设置在载体玻璃的一侧并不接触载体玻璃,矩阵开关板设置在载体玻璃的另一侧并和载体玻璃平行设置,矩阵开关板和载体玻璃通过固定装置定位。
2.根据权利要求I所述的一种对触控面板载体玻璃进行定点溅镀导电材料的装置,其特征在于矩阵开关板包括印刷线路板、矩阵开关和控制电路,矩阵开关和控制电路设置在印刷线路板上,矩阵开关设置至少一个,控制电路控制矩阵开关的通断,矩阵开关板的面积大于或等于载体玻璃的面积。
3.根据权利要求I或2所述的一种对触控面板载体玻璃进行定点溅镀导电材料的装置,其特征在于固定装置采用夹持或卡合的方式定位。
4.根据权利要求3所述的一种对触控面板载体玻璃进行定点溅镀导电材料的装置,其特征在于固定装置包括定位条和弹簧,定位条设置在矩阵开关板的对边上,弹簧相对平行安装在定位条上。
专利摘要本实用新型提供一种对触控面板载体玻璃进行定点溅镀导电材料的装置,对载体玻璃进行定点溅镀,包括靶材、前电极和射线发生器,射线发生器的射线轰击靶材,还包括矩阵开关板和固定装置,所述靶材和前电极连接,均设置在载体玻璃的一侧并不接触载体玻璃,矩阵开关板设置在载体玻璃的另一侧并和载体玻璃平行设置,矩阵开关板和载体玻璃通过固定装置定位;取消了机械移动电极,实现载体玻璃定点溅镀时能够定点移动迅速、准确定位和提高溅镀工作效率的有益效果。
文档编号H03K17/975GK202649752SQ201220185619
公开日2013年1月2日 申请日期2012年4月27日 优先权日2012年4月27日
发明者矣红, 钟刚 申请人:江苏昭阳光电科技股份有限公司
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