带有作为接地屏蔽的集成去耦的平衡-非平衡转换器的制造方法
【专利摘要】本发明涉及带有作为接地屏蔽的集成去耦的平衡-非平衡转换器。提供了一种装置。在第一区域中形成传输线单元。在一部分第一区域内的传输线单元上方形成第一金属化层。至少一部分第一金属化层电耦合到多个传输线单元。在第一金属化层上方形成第二金属化层，其具有互连部分、交叠部分和第一平衡-非平衡转换器。互连部分至少部分延伸到第一区域中，并且交叠部分在第一区域内。第一平衡-非平衡转换器绕组电耦合到交叠部分并部分延伸到第二区域中。第一区域部分围绕第二区域。在第二金属化层上方形成第三金属化层，其具有在第二区域内的第二平衡-非平衡转换器绕组，其中第二绕组与第一平衡-非平衡转换器绕组大致同轴。
【专利说明】参见2010年9月22日提交的题为“101-2/888, 208，为了所有目的通过引用将该专6衡转换器，但是该传输线基本上是线性的。结果，浪费了面积。因此，希望传输线与并使用较小的面积。:包括:形成在第一区域中的多个传输线单&上方的第一金属化层，其中至少一部分第5第一金属化层上方的第二金属化层，其中戶的互连部分；在第一区域内的交叠部分；釋一平衡-非平衡转换器绕组，其中第一区I上方的第三金属化层，其具有在第二区域:组与第一平衡-非平衡转换器绕组大致同
其中第一平衡-非平衡转换器绕组包括延绕组还包括耦合到第二交叠部分并指向第一方向并与第二方向相反。
互括:平衡-非平衡转换器，其具有:由第一绕组具有指向第一方向的第一和第二引线1与第一方向相反；以及由至少一部分第二I向第三方向的第四和第五引线，其中第三绕组形成在第一绕组上方并与第一绕组大部分形成的传输线，其中传输线包括:多个第一导电平面，其在传输线上方延伸，其中:二金属化层的第二部分形成的第二导电平&面上方延伸，并且其中第二导电平面电耦之的第一互连，其中第一互连电耦合到第四
I二互连，其中第二互连电耦合到第一导电
互连和第一导电平面之间的第一组通孔；丁”的美国专利申请如.12/888，208中对这:引用将该专利申请合并于此。这些单元包1更详细地看到)的通孔108 (例如，其可以可如，其可以由铝或铜形成)形成，并且其可112形成。如该示例中所示，形成在金属化-以部分用作接地平面。
卜到)可以形成金属化层118。与金属化层珍成。金属化层118和114之间的一个差别、到平衡-非平衡转换器区域102中。在传(可以由部分116-1和116-4组成)和互连I不例中，部分116-3完全位于传输线区域示例中，部分116-2延伸到传输线区域104I巨平衡转换器区域104内，金属化层118的122-2 (其可以是差分端子)的绕组117-1，
I1口 103。与引线122-1和122-2相反的是
【权利要求】
1.一种装置，其包含: 形成在第一区域中的多个传输线单元； 形成在一部分所述第一区域内的所述多个传输线单元上方的第一金属化层，其中至少一部分所述第一金属化层电耦合到所述多个传输线单元； 形成在所述第一金属化层上方的第二金属化层，其中所述第二金属化层包括: 至少部分延伸到所述第一区域中的互连部分； 在所述第一区域内的交叠部分； 电耦合到所述交叠部分并部分延伸到第二区域中的第一平衡-非平衡转换器绕组，其中所述第一区域部分围绕所述第二区域；以及形成在所述第二金属化层上方的第三金属化层，其具有在所述第二区域内的第二平衡-非平衡转换器绕组，其中所述第二绕组与所述第一平衡-非平衡转换器绕组大致同轴。
2.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一区域包括开口，并且其中所述第一平衡-非平衡转换器绕组包括延伸穿过所述开口的第一引线和第二引线。
3.根据权利要求2所述的装置，其中所述交叠部分还包括第一交叠部分和第二交叠部分，并且其中所述互连部分位于所述第一和第二交叠部分之间。
4.根据权利要求3所述的装置，其中所述第一平衡-非平衡转换器绕组还包括耦合到所述第二交叠部分且与第一和第二引线相反的第三引线。
5.根据权利要求4所述的装置，其中所述互连部分还包括第一互连部分和第二互连部分。
6.根据权利要求5所述的装置，其中所述第二平衡-非平衡转换器绕组还包括: 耦合到所述第一互连部分的第四引线；以及 耦合到所述第二互连部分的第五引线。
7.一种装置，其包含: 第一区域； 第二区域，其中所述第一区域基本上围绕所述第二区域的至少一部分，并且其中所述第一区域包括开口； 形成在所述第一区域中的多个传输线单元； 形成在所述第一区域中的具有多个部分的第一金属化层，所述多个部分电耦合到所述多个传输线单元； 形成在所述第一金属化层上方的第二金属化层，其中所述第二金属化层包括: 至少部分延伸到所述第一区域中的互连部分； 在所述第一区域内的交叠部分； 电耦合到所述交叠部分且部分延伸到第二区域中的第一平衡-非平衡转换器绕组，其中所述第一区域部分围绕所述第二区域；以及形成在所述第二金属化层上方的第三金属化层，其具有在所述第二区域内的第二平衡-非平衡转换器绕组，其中所述第二绕组与所述第一平衡-非平衡转换器绕组大致同轴。
8.根据权利要求7所述的装置，其中所述互连部分还包括第一互连部分和第二互连部分。
9.根据权利要求8所述的装置，其中所述第二平衡-非平衡转换器绕组还包括:耦合到所述第一互连部分的第一引线；以及 耦合到所述第二互连部分的第二引线。
10.根据权利要求9所述的装置，其中所述第一和第二引线指向第一方向，并且其中所述第一平衡-非平衡转换器绕组包括延伸穿过所述开口并指向第二方向的第一和第二引线，并且其中所述第一方向大致垂直于所述第二方向。
11.根据权利要求10所述的装置，其中所述交叠部分还包括第一交叠部分和第二交叠部分，并且其中所述互连部分位于所述第一和第二交叠部分之间。
12.根据权利要求11所述的装置，其中所述第一平衡-非平衡转换器绕组还包括耦合到所述第二交叠部分且指向第三方向的第三引线，其中所述第三方向大致垂直于所述第一方向并与所述第二方向相反。
13.一种装置，其包括: 平衡-非平衡转换器，其具有: 由第一金属化层的第一部分形成的第一绕组，其中所述第一绕组具有指向第一方向的第一和第二引线以及指向第二方向的第三引线，并且其中所述第二方向与所述第一方向相反；和 由第二金属化层的至少一部分形成的第二绕组，其中所述第二绕组具有指向第三方向的第四和第五引线，其中所述第三方向大致垂直于所述第一和第二方向，并且其中所述第二绕组形成在所述第一绕组上方并与所述第一绕组大致同轴； 沿所述平衡-非平衡转换器的外围的至少一部分形成的传输线，其中所述传输线包括多个传输线单元； 由第三金属化层的至少一部分形成的第一导电平面，其在所述传输线上方延伸，其中至少一部分所述第一导电平面电耦合到所述传输线； 由所述第二金属化层的第二部分形成的第二导电平面，其中所述第二导电平面在至少一部分所述第一导电平面上方延伸，并且其中所述第二导电平面电耦合到所述第三引线；由所述第二金属化层的第三部分形成的第一互连，其中所述第一互连电耦合到所述第四引线；以及 由所述第二金属化层的第四部分形成的第二互连，其中所述第二互连电耦合到所述第一导电平面和所述第五引线。
14.根据权利要求13所述的装置，其中所述装置还包括: 耦合在所述第二互连和所述第一导电平面之间的第一组通孔；以及 耦合在所述第五引线和所述第二互连之间的第二组通孔。
15.根据权利要求14所述的装置，其中所述第一、第二和第三金属化层由铜或铝形成。
16.根据权利要求15所述的装置，其中所述第一和第二组通孔由钨形成。
【文档编号】H03H7/42GK103840786SQ201310593903
【公开日】2014年6月4日 申请日期:2013年11月21日 优先权日:2012年11月21日
【发明者】S·桑卡兰, B·P·金斯伯格, V·B·伦塔拉, S·M·拉马斯瓦米, E·赛奥克, B·哈龙, B·A·克雷默, H·阿里, N·C·沃克 申请人:德克萨斯仪器股份有限公司