弹性波滤波器装置的制作方法

本发明一般涉及弹性波滤波器装置，更详细地，涉及具备压电体层的弹性波滤波器装置。

背景技术：

以往，作为用于谐振器、带通滤波器(弹性波滤波器装置)等的弹性波装置，已知一种利用了板波的弹性波装置(例如，参照专利文献1)。

专利文献1所记载的弹性波装置具备：支承基板、声反射层(声阻抗层)、压电体层、和idt(interdigitaltransducer，叉指换能器)电极。

专利文献1所记载的弹性波装置的声反射层具有：低声阻抗层、和声阻抗比低声阻抗层高的高声阻抗层。

在专利文献1记载了如下主旨，即，通过增大高声阻抗层的声阻抗和低声阻抗层的声阻抗之比即声阻抗比，从而能够有效地反射板波，能够得到良好的滤波器特性。此外，在专利文献1中，作为声阻抗比成为最大的材料的组合，公开了w(钨)和sio2(氧化硅)的组合。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2012/086441号

技术实现要素：

发明要解决的课题

但是，在具备声反射层(声阻抗层)的弹性波滤波器装置中，在作为声反射层的材料而采用了w等金属的情况下，存在通带外的衰减量会下降的问题。

本发明的目的在于，提供一种能够抑制衰减量的下降的弹性波滤波器装置。

用于解决课题的手段

本发明的一个方式涉及的弹性波滤波器装置具备：基板、第1声阻抗层以及第2声阻抗层、压电体层、第1idt电极、第2idt电极、输入端子、输出端子、接地端子、串联臂电路、和并联臂电路。第1声阻抗层以及第2声阻抗层形成在所述基板上。所述压电体层形成在所述第1声阻抗层以及所述第2声阻抗层上。所述第1idt电极形成在所述压电体层上，在从所述压电体层的厚度方向的俯视下，至少一部分与所述第1声阻抗层相重叠。所述第2idt电极形成在所述压电体层上，在从所述厚度方向的俯视下，至少一部分与所述第2声阻抗层相重叠。所述输入端子形成在所述压电体层上。所述输出端子形成在所述压电体层上。所述接地端子形成在所述压电体层上。所述串联臂电路设置在将所述输入端子和所述输出端子连结的第1路径上，具有所述第1idt电极以及所述第2idt电极。所述并联臂电路设置在将所述第1路径上的节点和所述接地端子连结的第2路径上。所述第1声阻抗层以及所述第2声阻抗层各自具有：至少一个高声阻抗层、和声阻抗比所述至少一个高声阻抗层低的至少一个低声阻抗层。关于所述第1声阻抗层以及所述第2声阻抗层各自，所述至少一个高声阻抗层以及所述至少一个低声阻抗层的至少一个为导电层。所述第1声阻抗层中的所述导电层和所述第2声阻抗层中的所述导电层被电绝缘。

发明效果

在本发明的一个方式涉及的弹性波滤波器装置中，能够抑制衰减量的下降。

附图说明

图1是本发明的实施方式1涉及的弹性波滤波器装置的俯视图。

图2涉及与上述相同的弹性波滤波器装置，是图1的a-a线剖视图。

图3的a是与上述相同的弹性波滤波器装置中的第1idt电极(或第2idt电极)的俯视图。图3的b是与上述相同的弹性波滤波器装置中的第3idt电极的俯视图。

图4是与上述相同的弹性波滤波器装置的电路图。

图5是比较例的弹性波滤波器装置的主要部分剖视图。

图6是本发明的实施方式2涉及的弹性波滤波器装置的部分破断的俯视图。

图7涉及与上述相同的弹性波滤波器装置，是图6的x1-x1线剖视图。

图8的a是与上述相同的弹性波滤波器装置中的第1idt电极(或第2idt电极)以及各反射器的俯视图。图8的b是与上述相同的弹性波滤波器装置中的第3idt电极以及各反射器的俯视图。

图9是与上述相同的弹性波滤波器装置的电路图。

具体实施方式

以下，参照附图对实施方式涉及的弹性波滤波器装置进行说明。

在以下的实施方式等中参照的图1、图2、图3的a、图3的b、图5、图6、图7、图8的a以及图8的b均为示意性的图，图中的各构成要素的大小、厚度各自之比未必一定反映了实际的尺寸比。

(实施方式1)

(1)弹性波滤波器装置的整体结构

以下，参照附图对实施方式涉及的弹性波滤波器装置1进行说明。

实施方式1涉及的弹性波滤波器装置1是梯型滤波器。如图1以及图4所示，弹性波滤波器装置1具备：输入端子15、输出端子16、多个(两个)接地端子17、18、串联臂电路12、和多个并联臂电路13、14。串联臂电路12设置在将输入端子15和输出端子16连结的第1路径上。两个并联臂电路13、14分别设置在将第1路径上的节点和两个接地端子17、18一对一连结的两个第2路径上。串联臂电路12具有多个(三个)串联臂谐振器s1。两个并联臂电路13、14各自具有并联臂谐振器p1。

在弹性波滤波器装置1中，多个串联臂谐振器s1相互被串联连接。以下，为了说明的方便，也有时将三个串联臂谐振器s1按照靠近输入端子15的顺序称作串联臂谐振器s11、串联臂谐振器s12、串联臂谐振器s13。此外，将两个并联臂谐振器p1按照靠近输入端子15的顺序称作并联臂谐振器p11、并联臂谐振器p12。并联臂谐振器p11的一端连接于两个串联臂谐振器s11、s12的连接点(第1路径上的节点)。并联臂谐振器p11的另一端连接于接地端子17。并联臂谐振器p12的一端连接于两个串联臂谐振器s12、s13的连接点(第1路径上的节点)。并联臂谐振器p12的另一端连接于接地端子18。

具体来说，如图1以及图2所示，弹性波滤波器装置1具备：基板2、第1声阻抗层4a以及第2声阻抗层4b、压电体层5、输入端子15、输出端子16、多个(两个)接地端子17、18、第1idt电极7a以及第2idt电极7b、和多个(两个)第3idt电极8。第1声阻抗层4a以及第2声阻抗层4b形成在基板2上。压电体层5形成在第1声阻抗层4a以及第2声阻抗层4b上。输入端子15形成在压电体层5上。输出端子16形成在压电体层5上。多个接地端子17、18形成在压电体层5上。第1idt电极7a以及第2idt电极7b形成在压电体层5上。第1idt电极7a以及第2idt电极7b是设置在将输入端子15和输出端子16连结的第1路径上的多个串联臂谐振器s1用的idt电极。多个第3idt电极8形成在压电体层5上。多个第3idt电极8是分别设置于将第1路径上的节点和多个接地端子17、18连结的多个第2路径的多个并联臂谐振器p1用的idt电极。

(2)弹性波滤波器装置的各构成要素

接着，参照附图对弹性波滤波器装置1的各构成要素进行说明。

(2.1)基板

如图2所示，基板2对包含第1声阻抗层4a、第2声阻抗层4b、压电体层5、第1idt电极7a、第2idt电极7b以及多个第3idt电极8的层叠体进行支承。以下，将层叠体之中包含第1声阻抗层4a以及第2声阻抗层4b且介于基板2与压电体层5之间的层称为中间层3。基板2具有在其厚度方向d1上彼此处于相反侧的第1主面201以及第2主面202。第1主面201以及第2主面202相互背对。基板2的俯视形状(从厚度方向d1对基板2进行观察时的外周形状)为长方形状，但不限于长方形状，例如也可以为正方形状。基板2例如为硅基板。基板2的厚度例如为120μm。

(2.2)第1声阻抗层以及第2声阻抗层

如图2所示，第1声阻抗层4a以及第2声阻抗层4b形成在基板2的第1主面201上。第1声阻抗层4a在基板2的厚度方向d1上与第1idt电极7a对置。第2声阻抗层4b在基板2的厚度方向d1上与第2idt电极7b对置。此外，多个第3声阻抗层40在基板2的厚度方向d1上与多个(两个)第3idt电极8对置。此外，弹性波滤波器装置1还具备在基板2上介于第1声阻抗层4a与第2声阻抗层4b之间的绝缘层30。绝缘层30形成在基板2上。绝缘层30包含于上述的层叠体。第1声阻抗层4a、第2声阻抗层4b、多个第3声阻抗层40以及绝缘层30介于基板2与压电体层5之间。在弹性波滤波器装置1中，串联臂谐振器s11以及s13包含：第1idt电极7a、与该第1idt电极7a对置的第1声阻抗层4a、和压电体层5之中处于第1idt电极7a与第1声阻抗层4a之间的部分。此外，串联臂谐振器s12包含：第2idt电极7b、与该第2idt电极7b对置的第2声阻抗层4b、和压电体层5之中处于第2idt电极7b与第2声阻抗层4b之间的部分。并联臂谐振器p11以及p12包含：第3idt电极8、与该第3idt电极8对置的第3声阻抗层40、和压电体层5之中处于第3idt电极8与第3声阻抗层40之间的部分。

第1声阻抗层4a具有抑制由第1idt电极7a激励的弹性波泄漏到基板2的功能。第2声阻抗层4b具有抑制由第2idt电极7b激励的弹性波泄漏到基板2的功能。第1声阻抗层4a以及第2声阻抗层4b各自具有多个(三个)低声阻抗层42和多个(两个)高声阻抗层41在厚度方向d1上每隔一层交替排列的层叠构造。低声阻抗层42的声阻抗低于高声阻抗层41的声阻抗。

以下，为了说明的方便，在第1声阻抗层4a以及第2声阻抗层4b各自中，也有时将两个高声阻抗层41按照靠近基板2的第1主面201的顺序称作高声阻抗层411、高声阻抗层412。此外，也有时将三个低声阻抗层42按照靠近基板2的第1主面201的顺序称作低声阻抗层420、低声阻抗层421、低声阻抗层422。

在第1声阻抗层4a以及第2声阻抗层4b各自中，从基板2侧起依次排列低声阻抗层420、高声阻抗层411、低声阻抗层421、高声阻抗层412以及低声阻抗层422。因此，第1声阻抗层4a以及第2声阻抗层4b各自能够在低声阻抗层422与高声阻抗层412的界面、低声阻抗层421与高声阻抗层411的界面、高声阻抗层411与低声阻抗层420的界面分别反射来自压电体层5的弹性波(板波)。

在第1声阻抗层4a以及第2声阻抗层4b各自中，多个高声阻抗层41的材料例如为pt(铂)。此外，在第1声阻抗层4a以及第2声阻抗层4b各自中，多个低声阻抗层42的材料例如为sio2(氧化硅)。由于多个高声阻抗层41各自由pt形成，因此第1声阻抗层4a以及第2声阻抗层4b各自包含两层的导电层。

多个第3声阻抗层40具有抑制由第3idt电极8激励的弹性波泄漏到基板2的功能。多个第3声阻抗层40各自具有与第1声阻抗层4a以及第2声阻抗层4b相同的层叠构造。

绝缘层30在与第1声阻抗层4a、第2声阻抗层4b以及多个第3声阻抗层40不同的位置介于基板2与压电体层5之间。在本实施方式中，绝缘层30是介于基板2与压电体层5之间的中间层3中除了第1声阻抗层4a、第2声阻抗层4b以及多个第3声阻抗层40以外的区域。绝缘层30由与低声阻抗层42相同的材料形成。绝缘层30具有电绝缘性。

(2.3)压电体层

压电体层5例如由linbo3压电单晶构成。

在将由第1idt电极7a以及第2idt电极7b的电极指间距即2×t1(关于t1参照图3的a)以及第3idt电极8的电极指间距即2×t21(关于t21参照图3的b)所决定的弹性波的波长设为λ时，压电体层5的厚度为1λ以下。由此，在弹性波滤波器装置1中，分别通过第1idt电极7a、第2idt电极7b以及第3idt电极8激励板波，且板波传播。关于作为电极指间距的2×t1、2×t21，在后述的“(2.4)第1idt电极、第2idt电极以及第3idt电极”一栏进行说明。在本实施方式的弹性波滤波器装置1中，例如，弹性波的波长为1.7μm，压电体层5的厚度为340nm。

(2.4)第1idt电极、第2idt电极以及第3idt电极

第1idt7a、第2idt电极7b以及多个第3idt电极8形成在压电体层5上。更详细地，第1idt7a、第2idt电极7b以及多个第3idt电极8形成在压电体层5的与中间层3侧相反的表面上。第1idt7a、第2idt电极7b以及多个第3idt电极8具有导电性。第1idt7a、第2idt电极7b以及多个第3idt电极8的材料例如为al。第1idt7a、第2idt电极7b以及多个第3idt电极8的厚度例如为85nm。

如图3的a所示，第1idt电极7a以及第2idt电极7b各自包含：一对汇流条71、72(以下，也称作第1汇流条71以及第2汇流条72)、多个电极指73(以下，也称作第1电极指73)、和多个电极指74(以下，也称作第2电极指74)。在图3的a中，对第1idt电极7a(或第2idt电极7b)标注有点的阴影，但该阴影并非表示剖面，只不过为了容易理解第1idt电极7a(或第2idt电极7b)和第1声阻抗层4a(或第2声阻抗层4b)的关系而标注的。

第1汇流条71以及第2汇流条72是将与基板2的厚度方向d1正交的一个方向作为长度方向的长条状。在第1idt电极7a以及第2idt电极7b各自中，第1汇流条71和第2汇流条72在与基板2的厚度方向d1和上述一个方向双方正交的方向上相互对置。

多个第1电极指73与第1汇流条71连接且朝向第2汇流条72延伸。在此，多个第1电极指73从第1汇流条71沿着与第1汇流条71的长度方向正交的方向延伸。多个第1电极指73的前端与第2汇流条72分离。多个第1电极指73彼此的长度以及宽度相同。

多个第2电极指74与第2汇流条72连接且朝向第1汇流条71延伸。在此，多个第2电极指74从第2汇流条72沿着与第2汇流条72的长度方向正交的方向延伸。多个第2电极指74各自的前端与第1汇流条71分离。多个第2电极指74彼此的长度以及宽度相同。多个第2电极指74的长度以及宽度与多个第1电极指73的长度以及宽度分别相同。

在第1idt电极7a以及第2idt电极7b各自中，多个第1电极指73和多个第2电极指74在与第1汇流条71和第2汇流条72的对置方向正交的方向上，各一根交替地相互隔开排列。因此，在第1汇流条71的长度方向上相邻的第1电极指73和第2电极指74分离。如图3的a所示，第1idt电极7a以及第2idt电极7b各自的电极指间距(2×t1)是相邻的第1电极指73和第2电极指74的相互对应的边(在图3的a中是在第1电极指73以及第2电极指74各自中与中心线平行的左侧的边)之间的距离t1的2倍的值。电极指宽度t2(参照图3的a)除以距离t1所得的值(占空比)为0.5。电极指宽度t2是第1电极指73以及第2电极指74的宽度。

第1idt电极7a以及第2idt电极7b各自在图3的a中用单点划线示出的规定区域10中激励弹性波(板波)。规定区域10是多个第1电极指73和多个第2电极指74在沿着第1汇流条71的长度方向的方向上重叠的区域。

如图3的b所示，第3idt电极8包含：一对汇流条81、82(以下，也称作第1汇流条81以及第2汇流条82)、多个电极指83(以下，也称作第1电极指83)、和多个电极指84(以下，也称作第2电极指84)。在图3的b中，对第3idt电极8标注有点的阴影，但该阴影并非表示剖面，只不过为了容易理解第3idt电极8和第3声阻抗层40的关系而标注的。

第1汇流条81以及第2汇流条82是将与基板2的厚度方向d1正交的一个方向作为长度方向的长条状。在第3idt电极8各自中，第1汇流条81和第2汇流条82在与基板2的厚度方向d1和上述一个方向双方正交的方向上相互对置。

多个第1电极指83与第1汇流条81连接且朝向第2汇流条82延伸。在此，多个第1电极指83从第1汇流条81沿着与第1汇流条81的长度方向正交的方向延伸。多个第1电极指83的前端与第2汇流条82分离。多个第1电极指83彼此的长度以及宽度相同。

多个第2电极指84与第2汇流条82连接且朝向第1汇流条81延伸。在此，多个第2电极指84从第2汇流条82沿着与第2汇流条82的长度方向正交的方向延伸。多个第2电极指84各自的前端与第1汇流条81分离。多个第2电极指84彼此的长度以及宽度相同。多个第2电极指84的长度以及宽度与多个第1电极指83的长度以及宽度分别相同。

在第3idt电极8中，多个第1电极指83和多个第2电极指84在与第1汇流条81和第2汇流条82的对置方向正交的方向上，各一根交替地相互隔开排列。因此，在第1汇流条81的长度方向上相邻的第1电极指83和第2电极指84分离。如图3的b所示，第3idt电极8的电极指间距即2×t21是相邻的第1电极指83和第2电极指84的相互对应的边(在图3的b中是在第1电极指83以及第2电极指84各自中与中心线平行的左侧的边)之间的距离t21的2倍的值。电极指宽度t22(参照图3的b)除以距离t21所得的值(占空比)为0.5。电极指宽度t22是第1电极指83以及第2电极指84的宽度。

第3idt电极8在图3的b中用单点划线示出的规定区域11中，激励弹性波(板波)。规定区域11是多个第1电极指83和多个第2电极指84在沿着第1汇流条81的长度方向的方向上重叠的区域。

第1idt电极7a以及第2idt电极7b的电极指间距即2×t1和第3idt电极8的电极指间距即2×t21是相同的值。

(3)布局

在实施方式1涉及的弹性波滤波器装置1中，输入端子15、输出端子16、多个接地端子17、18、第1idt电极7a、第2idt电极7b以及多个第3idt电极8在压电体层5上相互分离。

在实施方式1涉及的弹性波滤波器装置1中，在基板2的厚度方向d1上与第1声阻抗层4a对置的第1idt电极7a在厚度方向d1上与第1声阻抗层4a的高声阻抗层41(导电层)重叠。此外，在弹性波滤波器装置1中，第1idt电极7a的整个范围与和该第1idt电极7a对置的导电层重叠。此外，在实施方式1涉及的弹性波滤波器装置1中，在基板2的厚度方向d1上与第2声阻抗层4b对置的第2idt电极7b在厚度方向d1上与第2声阻抗层4b的高声阻抗层41(导电层)重叠。此外，在弹性波滤波器装置1中，第2idt电极7b的整个范围与和该第2idt电极7b对置的导电层重叠。第1声阻抗层4a以及第2声阻抗层4b相互分离地配置。此外，多个(两个)第1声阻抗层4a相互分离地配置。

此外，在实施方式1涉及的弹性波滤波器装置1中，在基板2的厚度方向d1上与第3声阻抗层40对置的第3idt电极8在厚度方向d1上与第3声阻抗层40的高声阻抗层41(导电层)重叠。此外，在弹性波滤波器装置1中，第3idt电极8的整个范围与和该第3idt电极8对置的导电层重叠。多个第3声阻抗层40相互分离地配置。

在实施方式1涉及的弹性波滤波器装置1中，在中间层3之中除了第1声阻抗层4a、第2声阻抗层4b以及多个第3声阻抗层40以外成为绝缘层30。因此，在实施方式1涉及的弹性波滤波器装置1中，绝缘层30的一部分介于第1声阻抗层4a以及第2声阻抗层4b各自中的两层的导电层(高声阻抗层411、412)之中远离基板2的导电层(高声阻抗层412)彼此之间。

(4)效果

实施方式1涉及的弹性波滤波器装置1具备：基板2、第1声阻抗层4a以及第2声阻抗层4b、压电体层5、第1idt电极7a、第2idt电极7b、输入端子15、输出端子16、接地端子17、18、串联臂电路12、和并联臂电路13、14。第1声阻抗层4a以及第2声阻抗层4b形成在基板2上。压电体层5形成在第1声阻抗层4a以及第2声阻抗层4b上。第1idt电极7a形成在压电体层5上，在从压电体层5的厚度方向d1的俯视下，至少一部分与第1声阻抗层4a相重叠。第2idt电极7b形成在压电体层5上，在从厚度方向d1的俯视下，至少一部分与第2声阻抗层4b相重叠。输入端子15形成在压电体层5上。输出端子16形成在压电体层5上。接地端子17、18形成在压电体层5上。串联臂电路12设置在将输入端子15和输出端子16连结的第1路径上，具有第1idt电极7a以及第2idt电极7b。并联臂电路13、14设置在将第1路径上的节点和接地端子17、18连结的第2路径上。第1声阻抗层4a以及第2声阻抗层4b各自具有高声阻抗层41和声阻抗比高声阻抗层41低的低声阻抗层42。关于第1声阻抗层4a以及第2声阻抗层4b各自，高声阻抗层41或低声阻抗层42为导电层。第1声阻抗层4a中的导电层和第2声阻抗层4b中的导电层被电绝缘。另外，若在厚度方向d1上与第1idt电极7a对置的导电层和在厚度方向d1上与第2idt电极7b对置的导电层相连，则在输入端子15与输出端子16之间形成不必要的电容耦合所引起的电容(换言之，不必要的电容耦合所引起的电容与串联臂电路12并联连接)，滤波器特性中的衰减量会下降。相对于此，在实施方式1涉及的弹性波滤波器装置1中，例如，与图5所示的、像比较例涉及的弹性波滤波器装置100那样具备包含在基板2的厚度方向d1上与第1idt电极7a和第2idt电极7b重叠的大小的导电层(高声阻抗层41)的声阻抗层4的情况相比，能够降低在输入端子15与输出端子16之间由于电容耦合而产生的电容的电容值，能够抑制通带外的衰减量的下降。

此外，在实施方式1涉及的弹性波滤波器装置1中，在将由第1idt电极7a、第2idt电极7b以及第3idt电极8的电极指间距即2×t1、2×t1以及2×t21所决定的弹性波的波长设为λ时，压电体层5的厚度为1λ以下。由此，在实施方式1涉及的弹性波滤波器装置1中，能够激励板波。

此外，在实施方式1涉及的弹性波滤波器装置1中，弹性波为板波。由此，在实施方式1涉及的弹性波滤波器装置1中，能够作为利用板波的弹性波滤波器装置来使用。

(实施方式2)

以下，基于图6～9对实施方式2涉及的弹性波滤波器装置1a进行说明。关于实施方式2涉及的弹性波滤波器装置1a，对于与实施方式1涉及的弹性波滤波器装置1同样的构成要素，标注相同的附图标记并适当省略说明。

如图9所示，实施方式2涉及的弹性波滤波器装置1a具备：输入端子15a、输出端子16a、多个(两个)接地端子17a、18a、多个(三个)串联臂谐振器s1a、和多个(两个)并联臂谐振器p1a。多个串联臂谐振器s1a包含于串联臂电路12a，该串联臂电路12a设置在将输入端子15a和输出端子16a连结的第1路径上。多个并联臂谐振器p1a包含于多个并联臂电路13a、14a，该多个并联臂电路13a、14a设置在将第1路径上的节点和两个接地端子17a、18a连结的多个第2路径上。

在弹性波滤波器装置1a中，多个串联臂谐振器s1a相互被串联连接。以下，为了说明的方便，也有时将三个串联臂谐振器s1a按照靠近输入端子15a的顺序称作串联臂谐振器s11a、串联臂谐振器s12a、串联臂谐振器s13a。此外，将两个并联臂谐振器p1a按照靠近输入端子15a的顺序称作并联臂谐振器p11a、并联臂谐振器p12a。并联臂谐振器p11a的一端与两个串联臂谐振器s11a、s12a的连接点(第1路径上的节点)连接。并联臂谐振器p11a的另一端与接地端子17a连接。并联臂谐振器p12a的一端与两个串联臂谐振器s12a、s13a的连接点(第1路径上的节点)连接。并联臂谐振器p12a的另一端与接地端子18a连接。

此外，在弹性波滤波器装置1a中，在输入端子15a与串联臂谐振器s11a的连接点、和并联臂谐振器p11a与接地端子17a的连接点之间连接有第1电容器c1和第2电容器c2的串联电路。

此外，在弹性波滤波器装置1a中，如图8的a所示，串联臂谐振器s11a、13a(参照图9)各自包含在沿着第1idt电极7a的第1汇流条71的长度方向的方向上配置于第1idt电极7a的一侧的反射器91、和配置于另一侧的反射器92。沿着第1idt电极7a的第1汇流条71的长度方向的方向是沿着弹性波(在本实施方式中为板波)的传播方向的方向。反射器91以及92是格栅型反射器。反射器91以及92对弹性波进行反射。在图8的a中，对第1idt电极7a、反射器91以及92标注有点的阴影，但该阴影并非表示剖面，只不过为了容易理解第1idt电极7a、反射器91以及92和第1声阻抗层4a的关系而标注的。在弹性波滤波器装置1a中，第1声阻抗层4a在厚度方向d1上不仅与第1idt电极7a相重叠，而且与第1idt电极7a的两侧的反射器91以及92也相重叠。此外，在弹性波滤波器装置1a中，如图8的a所示，串联臂谐振器s12a(参照图9)包含：在沿着第2idt电极7b的第1汇流条71的长度方向的方向上配置于第2idt电极7b的一侧的反射器91、和配置于另一侧的反射器92。沿着第2idt电极7b的第1汇流条71的长度方向的方向是沿着弹性波(在本实施方式中为板波)的传播方向的方向。第2idt电极7b的两侧的反射器91以及92是格栅型反射器，对弹性波进行反射。在图8的a中，对第2idt电极7b、反射器91以及92标注有点的阴影，但该阴影并非表示剖面，只不过为了容易理解第2idt电极7b、反射器91以及92和第2声阻抗层4b的关系而标注的。在弹性波滤波器装置1a中，第2声阻抗层4b在厚度方向d1上不仅与第2idt电极7b相重叠，而且与第2idt电极7b的两侧的反射器91以及92也相重叠。

此外，在弹性波滤波器装置1a中，如图8的b所示，多个并联臂谐振器p1a各自包含：在沿着第3idt电极8的第1汇流条81的长度方向的方向上配置于第3idt电极8的一侧的反射器93、和配置于另一侧的反射器94。沿着第3idt电极8的第1汇流条81的长度方向的方向是沿着弹性波(在本实施方式中为板波)的传播方向的方向。反射器93以及94是格栅型反射器。反射器93以及94对弹性波进行反射。在图8的b中，对第3idt电极8、反射器93以及94标注有点的阴影，但该阴影并非表示剖面，只不过为了容易理解第3idt电极8、反射器93以及94和第3声阻抗层40的关系而标注的。在弹性波滤波器装置1a中，第3声阻抗层40在厚度方向d1上不仅与第3idt电极8相重叠，而且与第3idt电极8的两侧的反射器93以及94也相重叠。

如图6以及图7所示，弹性波滤波器装置1a还具备第1电极21和第2电极22。

第1电极21是第1电容器c1形成用的电极，形成在压电体层5上。第1电极21与多个第1idt电极7a和第2idt电极7b之中的一个第1idt电极7a的一对汇流条71、72中的输入端子15a侧的汇流条71电连接。如图6所示，第1电极21在从基板2的厚度方向d1(参照图7)的俯视下与串联臂谐振器s11a相邻。第1电极21与串联臂谐振器s11a的第1idt电极7a的汇流条71一起连接于在串联臂电路12a中成为相同电位的部分。

第2电极22是第2电容器c2形成用的电极，形成在压电体层5上。第2电极22与多个第3idt电极8之中的一个第3idt电极8的一对汇流条81、82中的接地端子17a侧的汇流条82电连接。如图6所示，第2电极22在从基板2的厚度方向d1的俯视下与并联臂谐振器p11a相邻。第2电极22与并联臂谐振器p11a一起连接于在并联臂电路13a中成为相同电位的部分。

在弹性波滤波器装置1a中，中间层3还具有声阻抗层400(以下，也称作第4声阻抗层400)。第4声阻抗层400在基板2的厚度方向d1上介于基板2与压电体层5之间。第4声阻抗层400在从厚度方向d1的俯视下与第1电极21的至少一部分和第2电极22的至少一部分相重叠。第4声阻抗层400具有与第1声阻抗层4a、第2声阻抗层4b以及第3声阻抗层40相同的层叠构造。因此，第4声阻抗层400包含至少一层(在实施方式2中为两层)导电层(高声阻抗层411、412)。在弹性波滤波器装置1a中，第1电容器c1由第1电极21、第4声阻抗层400的高声阻抗层412之中与第1电极21对置的第1部分4121、和压电体层5之中介于第1电极21与高声阻抗层412的第1部分4121之间的部分构成。此外，在弹性波滤波器装置1a中，第2电容器c2由第2电极22、第4声阻抗层400的高声阻抗层412之中与第2电极22对置的第2部分4122、和压电体层5之中介于第2电极22与高声阻抗层412的第2部分4122之间的部分构成。此外，第4声阻抗层400的高声阻抗层412之中第1部分4121与第2部分4122之间的第3部分4123构成了将第1电容器c1和第2电容器c2电连接的布线。

在实施方式2涉及的弹性波滤波器装置1a中，通过具备第1电极21、第2电极22以及第4声阻抗层400，从而能够形成第1电容器c1以及第2电容器c2，因此能够进一步抑制滤波器特性的下降(衰减量的下降)。此外，在实施方式2涉及的弹性波滤波器装置1a中，在其设计时，通过决定第1电极21以及第2电极22各自的面积(与第4声阻抗层400的导电层的对置面积)，从而能够决定第1电容器c1以及第2电容器c2各自的电容值。

此外，在实施方式2涉及的弹性波滤波器装置1a中，第4声阻抗层400的第3部分4123构成了布线，因此与将布线形成在压电体层5上的情况相比，能够谋求小型化。

上述的实施方式1以及2只不过是本发明的各种各样的实施方式之一。上述的实施方式1以及2只要能够达到本发明的目的，就能够根据设计等进行各种变更。

(变形例)

例如，在弹性波滤波器装置1中，具备多个接地端子17、18，在多个接地端子17、18一对一地连接有多个并联臂谐振器p1，但不限于此，也可以在一个接地端子连接有多个并联臂谐振器p1。也就是说，接地端子17、18可以公共化为一个接地端子。关于弹性波滤波器装置1a，也同样地，接地端子17a、18a可以公共化为一个接地端子。

此外，基板2的材料不限于si，例如也可以为linbo3、litao3、石英、玻璃等。此外，从基板2的厚度方向d1观察的基板2的俯视形状不限于长方形状，例如也可以为正方形状。

此外，第1声阻抗层4a以及第2声阻抗层4b各自中的高声阻抗层41以及低声阻抗层42各自的数量不限于两个以及三个，也可以为两个以上以及三个以上。此外，不限于高声阻抗层41的数量和低声阻抗层42的数量不同的情况，也可以相同，还可以低声阻抗层42的数量比高声阻抗层41的数量少一个。此外，关于第1声阻抗层4a以及第2声阻抗层4b各自，只要至少一个高声阻抗层41和至少一个低声阻抗层42在基板2的厚度方向d1上相重叠即可。

此外，多个高声阻抗层41的材料不限于pt(铂)，例如也可以为w(钨)等金属。此外，关于第1声阻抗层4a以及第2声阻抗层4b各自，不限于高声阻抗层41为导电层的例子，也可以低声阻抗层42为导电层。无论如何，只要第1声阻抗层4a的导电层和第2声阻抗层4b的导电层被电绝缘即可。此外，在像弹性波滤波器装置1那样具备多个第1声阻抗层4a的情况下，只要第1声阻抗层4a的导电层彼此被电绝缘即可。此外，关于实施方式2涉及的弹性波滤波器装置1a的第3声阻抗层40a以及第4声阻抗层400，也与第1声阻抗层4a以及第2声阻抗层4b同样地，不限于高声阻抗层41为导电层的例子，也可以低声阻抗层42为导电层。

此外，多个高声阻抗层41不限于彼此为相同的材料的情况，例如也可以彼此为不同的材料。此外，多个低声阻抗层42不限于彼此为相同的材料的情况，例如也可以彼此为不同的材料。

压电体层5的材料不限于linbo3，例如也可以为litao3等。

第1idt电极7a、第2idt电极7b、第3idt电极8、反射器91、92、93以及94的材料不限于al，也可以为al合金。此外，第1idt电极7a、第2idt电极7b、第3idt电极8、反射器91、92、93以及94的材料例如也可以是cu、pt、au、ag、ti、ni、cr、mo、w或以这些金属的任一者为主体的合金等。此外，第1idt电极7a、第2idt电极7b、第3idt电极8、反射器91、92、93以及94不限于单层构造，也可以是多层构造。

在弹性波滤波器装置1、1a中，在从厚度方向d1的俯视下第1idt电极7a的整个范围与第1声阻抗层4a的导电层(高声阻抗层41)重叠，但不限于此，也可以在从厚度方向d1的俯视下仅第1idt电极7a之中的一部分(例如，规定区域10)与导电层重叠。此外，在弹性波滤波器装置1、1a中，在从厚度方向d1的俯视下第2idt电极7b的整个范围与第2声阻抗层4b的导电层(高声阻抗层41)重叠，但不限于此，也可以在从厚度方向d1的俯视下仅第2idt电极7b之中的一部分(例如，规定区域10)与导电层重叠。

此外，在弹性波滤波器装置1a中，第2电容器c2的与第1电容器c1相反侧的一端连接于并联臂谐振器p11a(的第3idt电极8的第2汇流条82)与接地端子17a的连接点，但不限于此。例如，第2电容器c2的与第1电容器c1相反侧的一端也可以连接于并联臂谐振器p12a(的第3idt电极8的第2汇流条82)与接地端子18a的连接点。

此外，在弹性波滤波器装置1a中，第4声阻抗层400与串联臂谐振器s11a的第1声阻抗层4a以及并联臂谐振器p11a的第3声阻抗层40分别分离，但不限于此。在弹性波滤波器装置1a中，例如，在想要增大第1电容器c1和第2电容器c2的串联电路的电容值的情况下，第4声阻抗层400也可以与串联臂谐振器s11a的第1声阻抗层4a以及并联臂谐振器p11a的第3声阻抗层各自或者任意一方相连。

此外，在弹性波滤波器装置1中，具备两个并联臂电路13、14，但并联臂电路的数量不限于两个，例如，也可以为一个，还可以为三个以上。关于弹性波滤波器装置1a，并联臂电路的数量也不限于两个，例如，可以为一个，也可以为三个以上。此外，并联臂电路不限于具有并联臂谐振器的结构，例如，也可以是具有电感器、电容器等的结构。

(总结)

根据以上说明的实施方式等公开了以下的方式。

第1方式涉及的弹性波滤波器装置(1；1a)具备：基板(2)、第1声阻抗层(4a)以及第2声阻抗层(4b)、压电体层(5)、第1idt电极(7a)、第2idt电极(7b)、输入端子(15；15a)、输出端子(16；16a)、接地端子(17、18；17a、18a)、串联臂电路(12；12a)、和并联臂电路(13、14；13a、14a)。第1声阻抗层(4a)以及第2声阻抗层(4b)形成在基板(2)上。压电体层(5)形成在第1声阻抗层(4a)以及第2声阻抗层(4b)上。第1idt电极(7a)形成在压电体层(5)上，在从压电体层(5)的厚度方向(d1)的俯视下，至少一部分与第1声阻抗层(4a)相重叠。第2idt电极(7b)形成在压电体层(5)上，在从厚度方向(d1)的俯视下，至少一部分与第2声阻抗层(4b)相重叠。输入端子(15；15a)形成在压电体层(5)上。输出端子(16；16a)形成在压电体层(5)上。接地端子(17、18；17a、18a)形成在压电体层(5)上。串联臂电路(12；12a)设置在将输入端子(15；15a)和输出端子(16；16a)连结的第1路径上，具有第1idt电极(7a)以及第2idt电极(7b)。并联臂电路(13、14；13a、14a)设置在将第1路径上的节点和接地端子(17、18；17a、18a)连结的第2路径上。第1声阻抗层(4a)以及第2声阻抗层(4b)各自具有：至少一个高声阻抗层(41)、和声阻抗比至少一个高声阻抗层(41)低的至少一个低声阻抗层(42)。关于第1声阻抗层(4a)以及第2声阻抗层(4b)各自，至少一个高声阻抗层(41)以及至少一个低声阻抗层(42)的至少一个为导电层。第1声阻抗层(4a)中的导电层和第2声阻抗层(4b)中的导电层被电绝缘。

在第1方式涉及的弹性波滤波器装置(1；1a)中，能够抑制衰减量的下降。

第2方式涉及的弹性波滤波器装置(1；1a)在第1方式中，至少一个高声阻抗层(41)包含多个高声阻抗层(41)。至少一个低声阻抗层(42)包含多个低声阻抗层(42)。多个高声阻抗层(41)和多个低声阻抗层(42)在厚度方向(d1)上每隔一层交替排列。

在第2方式涉及的弹性波滤波器装置(1；1a)中，可谋求滤波器特性的提高。

第3方式涉及的弹性波滤波器装置(1a)在第1方式或第2方式中，并联臂电路(13、14；13a、14a)具有形成在压电体层(5)上的第3idt电极(8)。第1idt电极(7a)、第2idt电极7b以及第3idt电极(8)各自包含一对汇流条(71、72、71、72以及81、82)。弹性波滤波器装置(1a)还具备第1电极(21)和第2电极(22)。第1电极(21)形成在压电体层(5)上。第1电极(21)与第1idt电极(7a)和第2idt电极(7b)之中一个一对汇流条(71、72)中的输入端子(15a)侧的汇流条(71)电连接。第2电极(22)形成在压电体层(5)上。第2电极(22)与多个第3idt电极(8)之中的一个第3idt电极(8)的一对汇流条(81、82)中的接地端子(17a)侧的汇流条(82)电连接。弹性波滤波器装置(1a)还具有声阻抗层(400)。声阻抗层(400)包含在基板(2)与压电体层(5)之间在俯视下与第1电极(21)的至少一部分和第2电极(22)的至少一部分相重叠的至少一层的导电层。

在第3方式涉及的弹性波滤波器装置(1a)中，能够进一步抑制衰减量的下降。

第4方式涉及的弹性波滤波器装置(1；1a)在第3方式中，在将由第1idt电极(7a)、第2idt电极(7b)以及第3idt电极(8)的电极指间距(2×t1、2×t1以及2×t21)所决定的弹性波的波长设为λ时，压电体层(5)的厚度为1λ以下。

在第4方式涉及的弹性波滤波器装置(1；1a)中，能够激励板波。

第5方式涉及的弹性波滤波器装置(1；1a)在第4方式中，弹性波为板波。

在第5方式涉及的弹性波滤波器装置(1；1a)中，能够作为利用板波的弹性波滤波器装置来使用。

附图标记说明

1、1a弹性波滤波器装置；

100弹性波滤波器装置；

2基板；

201第1主面；

202第2主面；

3中间层；

30绝缘层；

4a第1声阻抗层；

4b第2声阻抗层；

40第3声阻抗层；

400声阻抗层(第4声阻抗层)；

41高声阻抗层(导电层)；

42低声阻抗层；

4121第1部分；

4122第2部分；

4123第3部分；

5压电体层；

7a第1idt电极；

7b第2idt电极；

71汇流条(第1汇流条)；

72汇流条(第2汇流条)；

73电极指(第1电极指)；

74电极指(第2电极指)；

8第3idt电极；

81汇流条(第1汇流条)；

82汇流条(第2汇流条)；

83电极指(第1电极指)；

84电极指(第2电极指)；

10规定区域；

11规定区域；

12、12a串联臂电路；

13、13a并联臂电路；

14、13a并联臂电路；

15、15a输入端子；

16、16a输出端子；

17、17a接地端子；

18、18a接地端子；

21第1电极；

22第2电极；

91、93反射器；

92、94反射器；

c1第1电容器；

c2第2电容器；

t1、t21距离；

t2、t22电极指宽度；

d1厚度方向；

s1、s1a串联臂谐振器；

p1、p1a并联臂谐振器。