弹性波装置的制作方法

本发明涉及弹性波装置。

背景技术：

1、以往，弹性波装置被广泛用于便携式电话机的滤波器等。在下述的专利文献1中，公开了作为弹性波装置的压电谐振器的一例。在该弹性波装置中，在支承基板上设置有固定层。在固定层上设置有压电薄膜。在压电薄膜上设置有idt(inter digital transducer，叉指换能器)。在固定层中的与idt对置的部分设置有空隙。空隙被压电薄膜的背面和固定层的内壁面包围。对于固定层使用了sio2等的电介质。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2016-086308号公报

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、在支承基板与压电层之间设置有电介质膜，且在电介质膜设置有空洞部的情况下，有时在电介质膜产生裂纹。进而，还有时在电介质膜的内壁面粘贴压电层。因此，弹性波装置的电特性有可能劣化。

3、本发明的目的在于，提供一种弹性波装置，能够抑制在电介质膜产生裂纹、以及压电层粘贴于电介质膜。

4、用于解决问题的手段

5、本发明涉及的弹性波装置具备支承基板、设置在支承基板上的电介质膜、设置在所述电介质膜上的压电层和设置于所述压电层的激励电极，所述压电层具有彼此对置的第1主面以及第2主面，所述第1主面以及所述第2主面中的所述第2主面位于所述电介质膜侧，在所述电介质膜设置有空洞部，所述空洞部在俯视下与所述激励电极的至少一部分重叠，所述电介质膜具有面向所述空洞部的侧壁面，所述侧壁面具有倾斜为越远离所述压电层则所述空洞部的宽度变得越窄的倾斜部，所述倾斜部至少包括所述侧壁面中的所述压电层侧的端部，在将所述侧壁面的所述倾斜部和所述压电层的所述第2主面所成的角度设为倾斜角度时，所述倾斜角度为40°以上且80°以下。

6、发明效果

7、根据本发明涉及的弹性波装置，能够抑制在电介质膜产生裂纹、以及压电层粘贴于电介质膜。

技术特征：

1.一种弹性波装置，具备：

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求2～4中任一项所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求5所述的弹性波装置，其中，

7.根据权利要求2～6中任一项所述的弹性波装置，其中，

8.根据权利要求7所述的弹性波装置，其中，

9.根据权利要求7或8所述的弹性波装置，其中，

10.根据权利要求1～9中任一项所述的弹性波装置，其中，

11.根据权利要求1～10中任一项所述的弹性波装置，其中，

12.根据权利要求11所述的弹性波装置，其中，

13.根据权利要求11所述的弹性波装置，其中，

14.根据权利要求11所述的弹性波装置，其中，

15.根据权利要求14所述的弹性波装置，其中，

16.根据权利要求14或15所述的弹性波装置，其中，

17.根据权利要求1～16中任一项所述的弹性波装置，其中，

18.根据权利要求13～16中任一项所述的弹性波装置，其中，

19.根据权利要求1～10中任一项所述的弹性波装置，其中，

20.根据权利要求1～19中任一项所述的弹性波装置，其中，

21.根据权利要求1～20中任一项所述的弹性波装置，其中，

22.一种弹性波装置的制造方法，制造权利要求1～21中任一项所述的弹性波装置，所述制造方法包括：

技术总结
提供一种弹性波装置，能够抑制在电介质膜产生裂纹及压电体层粘贴于电介质膜。弹性波装置(10)具备支承基板(12)、电介质膜(13)、压电层(14)和IDT电极(15)(激励电极)。压电层(14)具有第1、第2主面(14a、14b)。第2主面(14b)位于电介质膜(13)侧。在电介质膜(13)设置有空洞部(11a)。空洞部(11a)在俯视下与IDT电极(15)的至少一部分重叠。电介质膜(13)具有面向空洞部(11a)的侧壁面(13a)。侧壁面(13a)具有倾斜为越远离压电层(14)则空洞部(11a)的宽度变得越窄的倾斜部(13c)。倾斜部(13c)至少包括侧壁面(13c)中的压电层(14)侧的端部。在将倾斜部(13c)和压电层(14)的第2主面(14b)所成的角度设为倾斜角度α时，倾斜角度α为40°以上且80°以下。

技术研发人员：木村哲也,久保新太郎,岸本谕卓,大村正志,山田一
受保护的技术使用者：株式会社村田制作所
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13