声波装置及其制造方法与流程

本发明关于射频通信，特别是用于射频通信中的一种声波装置及其制造方法。

背景技术：

1、声波装置，例如表面声波(surface acoustic wave，saw)装置，可用于电信号与声信号的转换及传递。声波装置具有诸多用途。举例而言，声波装置可用作滤波器，以滤除噪声及留下特定频段的无线信号，具有传输损耗小、抗电磁干扰性能佳、体积小的特性，因此被广泛应用于各种通信产品。然而由于制造误差，现有的saw装置会产生能量泄漏，造成质量因子下降。此外，声波装置亦可用作谐振器(resonator)。

技术实现思路

1、本发明实施例提供一种声波装置，包含压电基板及换能器。压电基板具有表面。换能器设置在压电基板的表面上。换能器包含第一电极、第二电极及至少一第一凸起部。第一电极沿着第一方向延伸，且具有第一末端。第二电极沿着第一方向延伸，且具有第二末端，第二电极与第一电极沿第二方向间隔设置。至少一第一凸起部设置于第一电极的第一末端处，至少一第一凸起部沿第一方向延伸且不完全覆盖第一末端。

2、本发明实施例提供另一种声波装置的制造方法，包含提供一压电基板，压电基板具有表面，在表面上形成导电层，及利用遮罩使导电层图案化，以形成图案化导电层。形成图案化导电层的步骤包含沿着第一方向形成第一电极，第一电极具有第一末端，在第一电极的第一末端处形成至少一第一凸起部，至少一第一凸起部沿第一方向延伸且不完全覆盖第一末端，及沿着第一方向形成第二电极，第二电极具有第二末端，其中第二电极与第一电极沿第二方向间隔设置。

技术特征：

1.一种声波装置，其特征在于，包含：

2.如权利要求1所述的声波装置，其特征在于，其中该换能器另包含：

3.如权利要求2所述的声波装置，其特征在于，其中,

4.如权利要求1所述的声波装置，其特征在于，其中该换能器另包含：

5.如权利要求4所述的声波装置，其特征在于，其中该换能器另包含：

6.如权利要求5所述的声波装置，其特征在于，其中

7.如权利要求5所述的声波装置，其特征在于，其中：

8.如权利要求5所述的声波装置，其特征在于，其中：

9.如权利要求5所述的声波装置，其特征在于，其中：

10.如权利要求5所述的声波装置，其特征在于，其中：

11.如权利要求5所述的声波装置，其特征在于，其中该至少一第一凸起部、该至少一第二凸起部、该至少一第一伪凸起部、该至少一第二伪凸起部其中至少一者具有一方形轮廓、一弧形轮廓、或一三角形轮廓。

12.如权利要求1所述的声波装置，其特征在于，其中该换能器另包含：

13.如权利要求1所述的声波装置，其特征在于，其中该换能器另包含：

14.如权利要求1所述的声波装置，其特征在于，其中该第二方向垂直于该第一方向。

15.如权利要求1所述的声波装置，其特征在于，其中该第一电极的材料及该第二电极的材料包含金属，其中该金属包含钼、铜、铝、金、铂及钨的一任意组合。

16.如权利要求1所述的声波装置，其特征在于，其中：

17.如权利要求4所述的声波装置，其特征在于，其中：

18.一种声波装置的制造方法，其特征在于，包含：

19.如权利要求18所述的声波装置的制造方法，其特征在于，其中：

20.如权利要求18所述的声波装置的制造方法，其特征在于，其中形成该图案化导电层的步骤包含：

技术总结
一种声波装置包含压电基板及换能器。压电基板具有表面。换能器设置在压电基板的表面上。换能器包含第一电极、第二电极及至少一凸起部。第一电极沿着第一方向延伸，且具有第一末端。第二电极沿着第一方向延伸，且具有第二末端，第二电极与第一电极沿第二方向间隔设置。至少一凸起部设置于第一电极的第一末端处，至少一凸起部沿第一方向延伸且不完全覆盖第一末端。

技术研发人员：张晋嘉,林诗猛,陈诗喆
受保护的技术使用者：立积电子股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/16