核心插入式螺旋管及其制造方法与流程

本发明涉及核心插入式螺旋管及其制造方法，且更具体来说，涉及通过将聚合物弹性材料插入到金属螺旋管中而具有改进的重复弹性属性的核心插入式螺旋管，及其制造方法。

背景技术：

1、使用例如真空沉积和干式蚀刻的等离子的半导体制造工艺设备由于在工艺操作期间的高等离子密度和驱动电力而遭受严重的热问题和各种电磁问题。由于这些热和电磁问题，硅晶片的工艺良率极大地受到影响，确切来说，解决高电压施加到的上部电极和下部电极的电磁波屏蔽是主要的挑战。

2、图1示出了使用等离子的半导体制造工艺设备中使用的常规螺旋管100的示意图。如图1所示出，在常规螺旋管100中，弹性核心构件20a定位于螺旋金属管10的内侧上；然而，由于在螺旋金属管10的内表面和弹性核心构件20a的外表面之间形成了空间，因此存在以下问题：由于作为半导体工艺的等离子工艺中使用的用于rf接地的金属(例如al/ti/al包层、becu、哈斯特合金(hastelloy)、埃尔吉洛伊非磁性合金(elgiloy)等)螺旋管中的重复压力施加和移除，螺旋管的形状变形且弹力降低。

3、已经对有效地阻挡电磁波的螺旋管进行了大量研究。然而，需要对具有可长时间使用且同时维持重复使用的螺旋管的弹力的特征的螺旋管及其制造方法的研究。

4、相关技术文件

5、专利文件

6、((参考文件1)韩国专利申请公开案第2012-0089291号

7、(参考文件2)韩国专利申请公开案第2005-0042419号

8、(参考文件3)韩国专利申请公开案第2009-0068846号

9、(参考文件4)日本专利申请公开案第1992-048695号

10、(参考文件5)日本专利申请公开案第2001-182833号

11、(参考文件6)日本专利公开案第5514278号

技术实现思路

1、为了解决以上问题，本发明旨在通过安装待插入到金属螺旋管中的聚合物弹性材料以改进核心插入式螺旋管的重复弹性特性，所述核心插入式螺旋管是作为半导体工艺的等离子装置中使用的用于rf接地的金属。

2、技术解决方案

3、根据本发明的实施例的核心插入式螺旋管包含其中具有空白空间(empty space)的螺旋金属管；和定位于螺旋金属管内部的弹性核心构件。

4、当螺旋金属管的内径定义为“t”且弹性核心构件的直径定义为“d”时，弹性核心构件的直径(d)小于或等于螺旋金属管的内径(t)。

5、当螺旋金属管的内径定义为“t”且弹性核心构件的直径定义为“d”时，弹性核心构件的直径(d)大于螺旋金属管的内径(t)。

6、弹性核心构件为硅橡胶(silicon rubber)或填有无机填充剂的硅橡胶，且弹性核心构件是以线状处理，进行第一次发泡，然后插入到螺旋金属管中，并且进行第二次发泡使得弹性核心构件与螺旋金属管的内侧接触。

7、螺旋金属管由以下制成：铍铜、不锈钢、埃尔吉洛伊非磁性合金(elgiloy)、哈氏合金(hasteloy)、阿斯特罗洛伊镍基超耐热合金(aastroloy)、铬镍铁合金(inconel)、镍基变形高温合金(rene)、沉淀强化镍基合金(udimet)、瓦斯帕洛伊变形镍基耐热合金(waspaloy)、蒙乃尔合金(nimonie)、镍铁铬合金(incoloy)、变形超耐热合金(pyromet)、迪斯卡洛伊涡轮叶片用耐热合金(discaloy)、或铝/钛/铝包层，或者金属管镀覆有选自金、锡、镍和银的任一种或两种或更多种的混合金属。

8、根据本发明的实施例的核心插入式螺旋管是在半导体工艺中使用的等离子设备上安装的用于rf接地的金属管。

9、根据本发明的实施例的用于核心插入式螺旋管的制造方法包含；

10、以线状处理弹性核心构件的第一步骤；

11、对以线状处理的弹性核心构件进行第一次发泡的第二步骤；

12、将第一次发泡的弹性核心构件插入到其中具有空白空间的螺旋金属管的内侧中的第三步骤；以及

13、对插入到螺旋金属管的内侧中的弹性核心构件进行第二次发泡的第四步骤。

14、弹性核心构件为硅橡胶或填有无机填充剂的硅橡胶。

15、在第一次发泡中，硅橡胶的发泡比例为1％到50％。

16、在第二次发泡中，硅橡胶的发泡比例为20％到100％，并且在第二次发泡中的硅橡胶的发泡比例大于在第一次发泡中的硅橡胶的发泡比例。

17、在核心插入式螺旋管的制造方法中，当螺旋金属管的内径定义为“t”且弹性核心构件的直径定义为“d”时，弹性核心构件的直径(d)通过第二次发泡而小于或等于螺旋金属管的内径(t)。

18、在核心插入式螺旋管的制造方法中，当螺旋金属管的内径定义为“t”且弹性核心构件的直径定义为“d”时，弹性核心构件的直径(d)通过第二次发泡而大于螺旋金属管的内径(t)。

19、发明效果

20、如上文所描述，本发明的核心插入式螺旋管被设计成使得弹性核心构件在螺旋金属管的空白空间中与螺旋金属管的内侧接触，使得作为在半导体工艺的等离子装置中使用的用于rf接地的螺旋管的核心插入式螺旋管的重复弹性得以改进，因而具有延长螺旋管的更换周期的作用。

1.一种核心插入式螺旋管，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的核心插入式螺旋管，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的核心插入式螺旋管，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的核心插入式螺旋管，其特征在于

5.根据权利要求1所述的核心插入式螺旋管，其特征在于

6.根据权利要求1到5任一项所述的核心插入式螺旋管，其特征在于

7.一种核心插入式螺旋管的制造方法，其特征在于，包括：

8.根据权利要求7所述的核心插入式螺旋管的制造方法，其特征在于

9.根据权利要求8所述的核心插入式螺旋管的制造方法，其特征在于

10.根据权利要求9所述的核心插入式螺旋管的制造方法，其特征在于

11.根据权利要求7所述的核心插入式螺旋管的制造方法，其特征在于，