基片处理系统、信息处理装置、信息处理方法和程序与流程

本发明涉及基片处理系统、信息处理装置、信息处理方法和信息处理程序。

背景技术：

1、使用在基片的制造工艺中获取的多种时序数据，例如尝试对进行等离子体处理的处理空间(腔室)内的状态进行量化。这是因为，如果能够对处理空间内的状态进行量化，并调节与各个状态对应的控制键(控制旋钮)，则能够使等离子体处理后的基片均质化。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：美国专利第6633391号说明书。

5、专利文献2：美国专利第7829468号说明书。

6、专利文献3：美国专利第10565513号说明书。

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、本发明提供一种对进行等离子体处理的处理空间内的状态进行量化的基片处理系统、信息处理装置、信息处理方法和信息处理程序。

3、用于解决问题的技术手段

4、本发明的一个方式的基片处理系统例如具有以下的结构。即，具有：获取部，其在每次对基片进行等离子体处理时，获取多种时序数据；学习部，其通过计算第一阶段中获取的多种时序数据中的每一种时序数据的数据密集度，来生成与时序数据的种类数相应的数量的学习后的离群值检测模型；和量化部，其通过将第二阶段中获取的多种时序数据分别输入到对应的学习后的离群值检测模型，计算与第一阶段中获取的多种时序数据的偏离度，来对第二阶段中的处理空间内的状态进行量化。

5、发明效果

6、根据本发明，能够提供对进行等离子体处理的处理空间内的状态进行量化的基片处理系统、信息处理装置、信息处理方法和信息处理程序。

技术特征：

1.一种基片处理系统，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的基片处理系统，其特征在于：

3.如权利要求2所述的基片处理系统，其特征在于：

4.如权利要求2所述的基片处理系统，其特征在于：

5.如权利要求4所述的基片处理系统，其特征在于：

6.如权利要求4所述的基片处理系统，其特征在于：

7.一种信息处理装置，其特征在于，包括：

8.一种信息处理方法，其特征在于，包括：

9.一种信息处理程序，其特征在于，用于使计算机执行以下步骤，即：

技术总结
本发明提供一种对进行等离子体处理的处理空间内的状态进行量化的基片处理系统、信息处理装置、信息处理方法和程序。基片处理系统包括：获取部，其在每次对基片进行等离子体处理时，获取多种时序数据；学习部，其通过计算第一阶段中获取的多种时序数据中的每一种时序数据的数据密集度，来生成与时序数据的种类数相应的数量的学习后的离群值检测模型；和量化部，其通过将第二阶段中获取的多种时序数据分别输入到对应的学习后的离群值检测模型，计算与第一阶段中获取的多种时序数据的偏离度，来对第二阶段中的处理空间内的状态进行量化。

技术研发人员：赤羽修平,永井龙,田中康基
受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13