一种静电型MOEMS振镜高压驱动运放电路的制作方法

本发明属于及电子电路，设计一种静电型momes振镜高压驱动运放电路。

背景技术：

1、随着静电型moems振镜市场需求的多种多样，常规静电型moems振镜驱动运放电路不仅体积较大，而且信号输出形变。目前业界厂商提供的集成式高压运算放大器，由差分放大器、电压放大器、高电流输出级组成，因为在电压放大器放大电压时通常采用单级单晶体管放大，放大后信号易变形，因此需要发明一种可输出高压的运放电路，克服现有高压运放电路的缺点。

技术实现思路

1、本发明的目的就是为了解决现有技术中存在的高压驱动运放信号易变形的缺点，提供的一种静电型moems振镜高压驱动运放电路。

2、为实现上述目，本发明提供了一种静电型moems振镜高压驱动运放电路，包括：

3、输入差分放大电路，用于接入两路输入端接驳moems振镜微弱驱动信号的差分电压，并对两路输入差分电压进行初级放大；

4、中间级放大电路，连接于所述输入差分放大电路，用于将所述初级放大电压进行中间级放大，以输出中间级放大电压，提供给输出推挽功率放大电路；

5、挽功率放大电路，采用两级挽功率放大结构，连接于所述中间级放大电路，用于将所述中间级放大电压进行功率放大，以输出推挽功率放大信号。

6、本发明的优点在于：通过将输入差分小信号给定差分放大电路先将信号第一次放大，并将第一次放大的信号送给中间级放大电路放大进行信号电压放大，最后将电压放大的信号送给输出推挽功率放大电路进行功率放大并输出。运放电路的器件耐压较高，其中的推挽功率放大电路，采用互补推挽电路结构，防止输出信号形变。

技术特征：

1.一种静电型moems振镜高压驱动运放电路，其特征在于包括：

2.根据权利要求1所述的一种静电型moems振镜高压驱动运放电路，其特征在于：

3.根据权利要求1或2所述的一种静电型moems振镜高压驱动运放电路，其特征在于：

4.根据权利要求3所述的一种静电型moems振镜高压驱动运放电路，其特征在于：

5.根据权利要求4所述的一种静电型moems振镜高压驱动运放电路，其特征在于，在输入信号ui-端与地之间连接电阻r10，输入信号ui-端与输出信号u0之间连接在电阻r10，以构成电压串联负反馈环路。

技术总结
本发明涉及一种静电型MOEMS振镜高压驱动运放电路，包括：输入差分放大电路，用于在接入两路输入差分电压，并对两路输入差分电压进行初级放大电压；中间级放大电路，连接于所述输入差分放大电路，用于将所述初级放大电压进行中间级放大，以输出中间级放大电压，供所述输出推挽功率放大电路；挽功率放大电路，用于将所述中间级放大电压进行功率放大输出推挽功率放大信号。本发明的优点在于：通过差分放大电路、中间级放大电路以及推挽功率放大电路进行功率放大并输出。运放电路的器件耐压较高，其中的推挽功率放大电路，采用互补推挽电路结构，防止输出信号形变。

技术研发人员：张宏昆,何凯旋,李奥,郭威
受保护的技术使用者：华东光电集成器件研究所
技术研发日：
技术公布日：2024/1/11