一种移动式微型加热装置的制作方法

本技术属于加热装置，具体涉及一种移动式微型加热装置。

背景技术：

1、原子层沉积工作过程中，需要对反应源加热。现有技术中常用的加热方法是在反应装置的外部使用管式炉加热，例如管式炉对石英管内的反应源进行加热反应；该装置结构为打开式，内设一定尺寸管径，将石英管放入加热装置即可开始工作；但管式炉体积较大不便使用，温区较长不能对石英管局部加热。

技术实现思路

1、本实用新型针对现有技术的问题提供一种移动式微型加热装置，加热操作简单、方便移动。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

3、一种移动式微型加热装置，包括底座以及加热器，所述底座的顶部设置有固定架，所述加热器与所述固定架连接，所述加热器的中部开设有通槽，所述加热器上开设有加热孔，所述加热孔内设置有加热棒。

4、其中，所述加热器的外周设置有隔热板，所述隔热板与所述固定架连接。

5、其中，所述隔热板与所述加热器之间设置有隔热间隙，所述隔热板的内壁设置有多个支架，所述支架均与所述加热器连接。

6、其中，所述加热器包括上加热部以及下加热部，所述上加热部与所述下加热部叠合，所述隔热板包括上隔热板以及下隔热板，所述上隔热板与所述下隔热板铰接，所述下隔热板与所述固定架连接，所述支架包括上支架以及下支架，所述上隔热板的内壁与所述上支架连接，所述上支架与所述上加热部连接，所述下隔热板的内壁与所述下支架连接，所述下支架与所述下加热部连接。

7、其中，所述上隔热板的外侧设置有拉手。

8、其中，所述隔热板的材质为铝。

9、其中，所述加热孔的内壁上设置有热电偶。

10、其中，所述底座的边沿处设置有多个垫块。

11、其中，所述底座包括底板、顶板以及升降组件，所述升降组件的底部与所述底板连接，所述升降组件的顶部与所述顶板连接。

12、其中，所述升降组件设置有两个，所述底板的顶部两侧分别与两个升降组件的底部连接，所述顶板的底部两侧分别与两个升降组件的顶部连接。

13、本实用新型的有益效果：本实用新型结构新颖、设计巧妙，使用时，将石英管放入通槽当中，加热棒工作，加热棒发热使得加热器整体的温度上升，进而通槽内的石英管温度上升，达到加热的效果，本实用新型操作简单，通过加热棒工作即可，升温快速，加热器导热使得通槽内温场均匀，并且体积小巧、移动方便。

技术特征：

1.一种移动式微型加热装置，其特征在于：包括底座以及加热器，所述底座的顶部设置有固定架，所述加热器与所述固定架连接，所述加热器的中部开设有通槽，所述加热器上开设有加热孔，所述加热孔内设置有加热棒。

2.根据权利要求1所述的一种移动式微型加热装置，其特征在于：所述加热器的外周设置有隔热板，所述隔热板与所述固定架连接。

3.根据权利要求2所述的一种移动式微型加热装置，其特征在于：所述隔热板与所述加热器之间设置有隔热间隙，所述隔热板的内壁设置有多个支架，所述支架均与所述加热器连接。

4.根据权利要求3所述的一种移动式微型加热装置，其特征在于：所述加热器包括上加热部以及下加热部，所述上加热部与所述下加热部叠合，所述隔热板包括上隔热板以及下隔热板，所述上隔热板与所述下隔热板铰接，所述下隔热板与所述固定架连接，所述支架包括上支架以及下支架，所述上隔热板的内壁与所述上支架连接，所述上支架与所述上加热部连接，所述下隔热板的内壁与所述下支架连接，所述下支架与所述下加热部连接。

5.根据权利要求4所述的一种移动式微型加热装置，其特征在于：所述上隔热板的外侧设置有拉手。

6.根据权利要求2所述的一种移动式微型加热装置，其特征在于：所述隔热板的材质为铝。

7.根据权利要求1所述的一种移动式微型加热装置，其特征在于：所述加热孔的内壁上设置有热电偶。

8.根据权利要求1所述的一种移动式微型加热装置，其特征在于：所述底座的边沿处设置有多个垫块。

技术总结
本技术属于加热装置技术领域，具体涉及一种移动式微型加热装置，包括底座以及加热器，所述底座的顶部设置有固定架，所述加热器与所述固定架连接，所述加热器的中部开设有通槽，所述加热器上开设有加热孔，所述加热孔内设置有加热棒。本技术结构新颖、设计巧妙，使用时，将石英管放入通槽当中，加热棒工作，加热棒发热使得加热器整体的温度上升，进而通槽内的石英管温度上升，达到加热的效果，本技术操作简单，通过加热棒工作即可，升温快速，加热器导热使得通槽内温场均匀，并且体积小巧、移动方便。

技术研发人员：李湘林,苏郁清,钟权平
受保护的技术使用者：东莞纳锋微电子装备有限公司
技术研发日：20220428
技术公布日：2024/1/13