弹性波滤波器以及多工器的制作方法

本发明涉及弹性波滤波器以及多工器。

背景技术：

1、从有效利用无线通信用的频率资源这样的观点出发，便携式电话机等的作为通信频带而被分配的频带的间隔变窄。鉴于该频带的分配状况，在使用于通信设备等高频电路的弹性波滤波器中，为了确保低损耗以及与相邻的频带的高隔离度，减小相对于温度变动的频移(减小频率温度系数tcf：temperature coefficient offrequency)成为重要的性能指标。

2、在专利文献1中公开了一种弹性波装置，其具有在压电体与高声速材料层之间配置了低声速材料层的基板构造。根据该结构，能够减小频率温度系数tcf的绝对值。

3、在先技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：国际公开第2012/086639号

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、在梯型的弹性波滤波器中，主要由并联臂谐振器的谐振点来规定通带低频侧的衰减极，由串联臂谐振器的反谐振点来规定通带高频侧的衰减极。因此，只要并联臂谐振器以及串联臂谐振器的频率温度系数tcf小，相对于温度变动的通带以及衰减带的频移就小，能够在广泛的动作温度下确保良好的滤波器特性。

3、然而，在专利文献1公开的弹性波装置中，具有如下倾向，即，随着动作温度的上升，并联臂谐振器的谐振点向高频侧移动，串联臂谐振器的反谐振点向低频侧移动。因此，随着动作温度的上升，通带宽度变小，有可能产生通带端部处的插入损耗的增加以及耐功率性的下降这样的滤波器通过特性的劣化。

4、因此，本发明正是为了解决上述问题而完成的，其目的在于，提供一种能够抑制温度变动所引起的滤波器通过特性的劣化的弹性波滤波器以及使用该弹性波滤波器的多工器。

5、用于解决问题的技术方案

6、本发明的一个方式涉及的弹性波滤波器具备第1输入输出端子以及第2输入输出端子、配置在将第1输入输出端子和第2输入输出端子连结的路径上的1个以上的串联臂谐振器、和配置在上述路径上的节点与接地之间的1个以上的并联臂谐振器，1个以上的串联臂谐振器以及1个以上的并联臂谐振器分别包含具有形成在基板上的idt(interdigitaltransducer，叉指换能器)电极的弹性波谐振器，上述基板具有压电性，上述基板具有在一个面上形成了idt电极的压电膜、和所传播的体波声速与在压电膜传播的弹性波声速相比为高速的高声速支承基板，idt电极具有一对梳形电极，上述梳形电极由多个电极指和汇流条电极构成，上述多个电极指在与弹性波传播方向交叉的方向上延伸且配置为相互平行，上述汇流条电极将构成该多个电极指的电极指的一端彼此连接，将上述多个电极指之中的与构成一对梳形电极的任意汇流条电极均不连接的电极指定义为浮置间隔剔除电极，将上述多个电极指之中的与和左右相邻的电极指所连接的汇流条电极相同的汇流条电极连接的电极指定义为极性反转间隔剔除电极，在该情况下，1个以上的串联臂谐振器之中的至少1个具有包含极性反转间隔剔除电极的idt电极，1个以上的并联臂谐振器之中的至少1个具有包含浮置间隔剔除电极的idt电极。

7、发明效果

8、根据本发明，能够提供一种能抑制温度变动所引起的滤波器通过特性的劣化的弹性波滤波器以及使用该弹性波滤波器的多工器。

技术特征：

1.一种弹性波滤波器，具备：

2.根据权利要求1所述的弹性波滤波器，其中，

3.根据权利要求1或2所述的弹性波滤波器，其中，

4.根据权利要求1～3中任一项所述的弹性波滤波器，其中，

5.根据权利要求1～4中任一项所述的弹性波滤波器，其中，

6.根据权利要求1～4中任一项所述的弹性波滤波器，其中，

7.根据权利要求1～6中任一项所述的弹性波滤波器，其中，

8.根据权利要求1～6中任一项所述的弹性波滤波器，其中，

9.一种多工器，具备：

技术总结
弹性波滤波器(1)具备1个以上的串联臂谐振器和1个以上的并联臂谐振器，并包含具有形成在基板上的IDT电极的弹性波谐振器。上述基板具有压电膜(53)和高声速支承基板(51)。IDT电极具有一对梳形电极，将多个电极指之中的与构成一对梳形电极的任意汇流条电极均不连接的电极指定义为浮置间隔剔除电极，将构成一对梳形电极的全部电极指之中的与和左右相邻的电极指所连接的汇流条电极相同的汇流条电极连接的电极指定义为极性反转间隔剔除电极。此时，1个以上的串联臂谐振器中的至少1个具有包含极性反转间隔剔除电极的IDT电极，1个以上的并联臂谐振器中的至少1个具有包含浮置间隔剔除电极的IDT电极。

技术研发人员：田口朋子
受保护的技术使用者：株式会社村田制作所
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15