弹性波装置以及弹性波装置的制造方法与流程

本公开涉及弹性波装置以及弹性波装置的制造方法。

背景技术：

1、在专利文献1，记载了弹性波装置。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2012-257019号公报

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、在专利文献1中，在压电层设置有与空洞部连通的贯通孔的情况下，有可能产生以贯通孔为起点的裂纹。因此，要求抑制压电层的破损。

3、本公开用于解决上述的问题，其目的在于，抑制压电层的破损。

4、用于解决问题的技术方案

5、一个方式涉及的弹性波装置具备：支承基板，在第1方向上具有厚度；压电层，设置在所述支承基板的所述第1方向上；以及idt电极，设置在所述压电层的所述第1方向上，具有多个第1电极指和多个第2电极指，所述多个第1电极指在与所述第1方向正交的第2方向上延伸，所述多个第2电极指在与所述第1方向以及所述第2方向正交的第3方向上与所述多个第1电极指中的任一个对置，并在所述第2方向上延伸，在所述支承基板的所述压电层侧，在所述第1方向上俯视时至少一部分与所述idt电极重叠的位置设置有凹部，在所述凹部的一部分设置有包含与所述支承基板的材料不同的材料的填充物。

6、一个方式涉及的弹性波装置的制造方法包含：凹部形成工序，在支承基板形成凹部；填充工序，在所述凹部形成工序中形成的所述凹部填充填充剂；一体化工序，在所述填充工序后的所述支承基板叠放压电层并使其一体化；以及热处理工序，以比所述一体化工序的处理温度高的温度进行热处理，使所述填充剂收缩，在凹部形成空洞部。

7、发明效果

8、根据本公开，能够抑制压电层的破损。

技术特征：

1.一种弹性波装置，具备：

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求5所述的弹性波装置，其中，

7.根据权利要求1至6中的任一项所述的弹性波装置，其中，

8.根据权利要求1至7中的任一项所述的弹性波装置，其中，

9.根据权利要求1至8中的任一项所述的弹性波装置，其中，

10.根据权利要求1至权利要求9中的任一项所述的弹性波装置，其中，

11.根据权利要求9或10所述的弹性波装置，其中，

12.根据权利要求1至11中的任一项所述的弹性波装置，其中，

13.根据权利要求12所述的弹性波装置，其中，

14.根据权利要求12或13所述的弹性波装置，其中，

15.根据权利要求1至7中的任一项所述的弹性波装置，其中，

16.一种弹性波装置的制造方法，包含：

17.根据权利要求16所述的弹性波装置的制造方法，其中，

18.根据权利要求16所述的弹性波装置的制造方法，其中，

技术总结
本发明抑制压电层的破损。弹性波装置具备：支承基板，在第1方向上具有厚度；压电层，设置在所述支承基板的所述第1方向上；以及IDT电极，设置在所述压电层的所述第1方向上，具有多个第1电极指和多个第2电极指，所述多个第1电极指在与所述第1方向正交的第2方向上延伸，所述多个第2电极指在与所述第1方向以及所述第2方向正交的第3方向上与所述多个第1电极指中的任一个对置，并在所述第2方向上延伸。在所述支承基板的所述压电层侧，在所述第1方向上俯视时至少一部分与所述IDT电极重叠的位置设置有凹部，在所述凹部的一部分设置有包含与所述支承基板的材料不同的材料的填充物。

技术研发人员：井上和则
受保护的技术使用者：株式会社村田制作所
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15