振荡器的制作方法

本公开涉及vcxo(voltage controlled crystal oscillator：电压控制水晶振荡器)或tcxo(temperature compensated crystal oscillator：温度补偿水晶振荡器)等振荡器。

背景技术：

1、具备压电元件和电子元件的压电器件在普及。作为这种压电器件，能举出vcxo或tcxo等。

2、此外，还已知通过两个封装件将压电元件双重进行密封的压电器件。在该情况下，由于通过将收纳压电元件的第一封装件用第二封装件与周围的环境阻断，周围的环境的温度变化变得难以到达压电元件，因此，谋求振荡频率的稳定化。

3、例如，在专利文献1、2中公开了一种tcxo，将压电元件收在第一封装件内，将该第一封装件和电子元件进一步收在第二封装件内。在专利文献1中，通过在基板的相同面安装第一封装件和电子元件，在专利文献2中，通过在基板的表背面分别安装第一封装件和电子元件，来使第一封装件内的压电元件的温度和电子元件内的温度传感器的温度接近。由此，使振荡频率的温度补偿精度提升。

4、在先技术文献

5、专利文献

6、专利文献1：jp特开2014-107862号公报

7、专利文献2：jp特开2019-153851号公报

技术实现思路

1、本公开所涉及的振荡器具备：压电元件，其输出固定的振荡频率的信号；第一封装件，其内置所述压电元件；电子元件，其通过电压来控制所述振荡频率；和第二封装件，其进一步内置所述电子元件以及所述第一封装件，所述第二封装件具有：基体，其安装所述电子元件以及所述第一封装件；和盖体，其将所述电子元件以及所述第一封装件和所述基体一起进行气密密封，所述基体具有：基板部，其包含处于表背关系的第一主面以及第二主面，在所述第一主面安装所述电子元件；第一框部，其包含安装所述第一封装件的第一框面，位于所述第一主面上的周缘；和第二框部，其包含接合所述盖体的第二框面，位于所述第一框面上的周缘。

技术特征：

1.一种振荡器，具备：

2.根据权利要求1所述的振荡器，其中，

3.根据权利要求2所述的振荡器，其中，

4.根据权利要求1所述的振荡器，其中，

技术总结
电压控制型振荡器11具备：压电元件(20)；内置压电元件(20)的第一封装件(30)；电子元件(50)；和进一步内置电子元件(50)以及第一封装件(30)的第二封装件(60)。第二封装件(60)具有：安装电子元件(50)以及第一封装件(30)的基体(60a)；将电子元件(50)以及第一封装件(30)和基体(60a)一起进行气密密封的盖体(60b)。基体(60a)具有：包含处于表背关系的第一主面(61a)以及第二主面(62)且在第一主面(61a)安装电子元件(50)的基板部(63)；包含安装第一封装件(30)的第一框面(61b)且位于第一主面(61a)上的周缘的第一框部(84a)；和包含与盖体(60b)接合的第二框面61c且位于第一框面(61b)上的周缘的第二框部(84b)。

技术研发人员：石川广幸,楠木孝男,太田正明,植田贵博
受保护的技术使用者：京瓷株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15