弹性波装置的制作方法

本公开涉及弹性波装置。

背景技术：

1、在专利文献1中记载有弹性波装置。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2012-257019号公报

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、在专利文献1所示的弹性波装置中，有时在设置有谐振器的压电层与支承基板之间设置有空间部。在压电层设置有多个谐振器的情况下，谐振器的配置有可能会被空间部的蚀刻孔限制。

3、本公开用于解决上述问题，其目的在于，能够实现更加自由的谐振器的配置。

4、用于解决问题的手段

5、一方式的弹性波装置具备：支承构件，其具备在第一方向上具有厚度的支承基板；压电层，其设置在所述支承构件的所述第一方向上；以及多个谐振器，其分别具有设置在所述压电层的所述第一方向上的功能电极，在所述支承构件，在沿所述第一方向俯视时与所述多个谐振器的所述功能电极的至少一部分重叠的位置设置有多个空间部，在所述支承构件，在沿所述第一方向俯视时与所述空间部不重叠的位置设置有与至少一个所述空间部连通的引出部，至少一个所述引出部与至少两个所述空间部连通，在所述压电层设置有贯通孔，该贯通孔贯穿在沿所述第一方向俯视时与所述引出部重叠的位置的所述压电层。

6、发明效果

7、根据本公开，能够更加自由地配置谐振器。

技术特征：

1.一种弹性波装置，具备：

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求1至3中任一项所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求1至4中任一项所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求1至5中任一项所述的弹性波装置，其中，

7.根据权利要求1至5中任一项所述的弹性波装置，其中，

8.根据权利要求1至7中任一项所述的弹性波装置，其中，

9.根据权利要求1至8中任一项所述的弹性波装置，其中，

10.根据权利要求9所述的弹性波装置，其中，

11.根据权利要求9所述的弹性波装置，其中，

12.根据权利要求11所述的弹性波装置，其中，

13.根据权利要求9至12中任一项所述的弹性波装置，其中，

14.根据权利要求13所述的弹性波装置，其中，

15.根据权利要求14所述的弹性波装置，其中，

16.根据权利要求1至8中任一项所述的弹性波装置，其中，

17.根据权利要求1至8中任一项所述的弹性波装置，其中，

18.根据权利要求1至8中任一项所述的弹性波装置，其中，

技术总结
提高设计自由度。弹性波装置具备：支承构件，其具备在第一方向上具有厚度的支承基板；压电层，其设置在支承构件的第一方向上；以及多个谐振器，其分别具有设置在压电层的第一方向上的功能电极。在支承构件，在沿第一方向俯视时与多个谐振器的功能电极的至少一部分重叠的位置设置有多个空间部，在支承构件，在沿第一方向俯视时与空间部不重叠的位置设置有与至少一个空间部连通的引出部，至少一个引出部与至少两个空间部连通，在压电层设置有贯通孔，该贯通孔贯穿在沿第一方向俯视时与引出部重叠的位置的压电层。

技术研发人员：木村哲也
受保护的技术使用者：株式会社村田制作所
技术研发日：
技术公布日：2024/1/16