一种声表滤波器的制作方法

本发明涉及声表滤波器，具体为一种声表滤波器。

背景技术：

1、声表滤波器广泛作用于各微波射频系统中，是系统中非常重要的元件之一，市面上常见的声表滤波器，其结构从纵向方向来说，从下到上依次为晶圆基底材料层、金属metal层、修剪层以及钝化层。其中修剪层可通过工艺参数厚度的调整来可针对其金属层进行频率和带宽的调节，从而来逐步减小仿真与实际测试结果的偏差。然而采用该种调节方式，调节范围较小，导致该滤波器的仿真与实际测试结果之间的偏差依然较大，影响测试真实性。

技术实现思路

1、针对现有的声表面滤波器通过调节修剪层来调节金属层的频率和带宽，调节范围较小，导致滤波器的仿真与实际测试结果之间的偏差依然较大，影响测试的真实性的问题，本发明提供了一种声表滤波器，其调节范围大，减小了滤波器的仿真与实际测试结果的偏差，保证测试的真实性。

2、其技术方案是这样的：一种声表滤波器，其特征在于：其包括基底层，所述基底层上顺次设有金属层、第一修剪层、第二修剪层及钝化层，所述金属层上分布有梳状电极；

3、所述梳状电极包括第一至第五谐振器，所述第一、第三、第五谐振器顺次串联，所述第二谐振器与所述第一谐振器并联，所述第四谐振器与第五谐振器并联。

4、其进一步特征在于：所述第一、第二、第四、第五谐振器分别包括反射栅和叉指换能器，所述反射栅悬浮、或与所述叉指换能器的输入端或输出端连接，所述第三谐振器包括反射栅和并列布置的第一至第五叉指换能器，所述第一谐振器的叉指换能器的下端连接总输入端pin1，所述第一谐振器的叉指换能器的上端连接所述第三谐振器的第一叉指换能器、第三叉指换能器、第五叉指换能器的下端及所述第二谐振器的叉指换能器的上端，所述第三谐振器的第一叉指换能器、第三叉指换能器、第五叉指换能器的上端及所述第二谐振器的叉指换能器的下端分别接地，所述第三谐振器的第二叉指换能器、第四叉指换能器的上端相连后与第四谐振器的叉指换能器的下端连接，所述第三谐振器的第二叉指换能器、第四叉指换能器的下端分别接地，所述第四谐振器的叉指换能器的上端与所述第五谐振器的叉指换能器的上端相连后连接总输出端pout1，所述第五谐振器的叉指换能器的下端接地；

5、其还包括接口芯片，所述接口芯片包括接地板，所述接地板上设有外围电路，所述外围电路包括第一匹配电路、第二匹配电路和第三匹配电路；所述第一匹配电路、第二匹配电路和第三匹配电路分别包括第一电感l1、第二电感l2和第三电感l3，所述第一电感l1一端与所述总输入端pin1连接，所述第一电感l1的另一端连接输入端port1，所述第二电感l2一端与所述总输出端pout1连接，所述第二电感l2的另一端连接输出端port2，所述第三电感l3一端与接地口p3连接，所述第三电感l3的另一端接地。

6、采用了上述结构后，由于本发明的声表面滤波器包括两层修剪层，则调节时，可以同时增大、减小两个修剪层的厚度或者调节两个修剪层为不同的厚度，从而来分别控制梳状电极的串联谐振器和并联谐振器的谐振点来调整滤波特性中的零点的位置来控制频率或带宽，不仅调节范围更大，同时减小了滤波器的仿真与实际测试结果的偏差，保证测试的真实性。

技术特征：

1.一种声表滤波器，其特征在于：其包括基底层，所述基底层上顺次设有金属层、第一修剪层、第二修剪层及钝化层，所述金属层上分布有梳状电极；

2.根据权利要求1所述的一种声表滤波器，其特征在于：所述第一、第二、第四、第五谐振器分别包括反射栅和叉指换能器，所述反射栅悬浮、或与所述叉指换能器的输入端或输出端连接，所述第三谐振器包括反射栅和并列布置的第一至第五叉指换能器，所述第一谐振器的叉指换能器的下端连接总输入端pin1，所述第一谐振器的叉指换能器的上端连接所述第三谐振器的第一叉指换能器、第三叉指换能器、第五叉指换能器的下端及所述第二谐振器的叉指换能器的上端，所述第三谐振器的第一叉指换能器、第三叉指换能器、第五叉指换能器的上端及所述第二谐振器的叉指换能器的下端分别接地，所述第三谐振器的第二叉指换能器、第四叉指换能器的上端相连后与第四谐振器的叉指换能器的下端连接，所述第三谐振器的第二叉指换能器、第四叉指换能器的下端分别接地，所述第四谐振器的叉指换能器的上端与所述第五谐振器的叉指换能器的上端相连后连接总输出端pout1，所述第五谐振器的叉指换能器的下端接地。

3.根据权利要求1所述的一种声表滤波器，其特征在于：其还包括接口芯片，所述接口芯片包括接地板，所述接地板上设有外围电路，所述外围电路包括第一匹配电路、第二匹配电路和第三匹配电路；所述第一匹配电路、第二匹配电路和第三匹配电路分别包括第一电感l1、第二电感l2和第三电感l3，所述第一电感l1一端与所述总输入端pin1连接，所述第一电感l1的另一端连接输入端port1，所述第二电感l2一端与所述总输出端pout1连接，所述第二电感l2的另一端连接输出端port2，所述第三电感l3一端与接地口p3连接，所述第三电感l3的另一端接地。

技术总结
本发明提供了一种声表滤波器，其调节范围大，减小了滤波器的仿真与实际测试结果的偏差，保证测试的真实性。其包括基底层，基底层上顺次设有金属层、第一修剪层、第二修剪层及钝化层，金属层上分布有梳状电极；梳状电极包括第一至第五谐振器，第一、第三、第五谐振器顺次串联，第二谐振器与第一谐振器并联，第四谐振器与第五谐振器并联。

技术研发人员：杨茂雅
受保护的技术使用者：全讯射频科技(无锡)有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/7/18