一种声表面波谐振器及滤波器的制作方法

本发明涉及谐振器，尤其涉及一种声表面波谐振器及滤波器。

背景技术：

1、在声表面波器件上，电信号施加在叉指换能器上激发声波，激励的声波信号向叉指换能器两侧传播，在叉指换能器两侧设置的反射器能够抑制声波泄露，进而可以防止我们所需的声波模式被衰减。

2、但实际应用时，反射器位于通带外的声波会发生叠加，会进一步恶化滤波器的带外衰减，其次还存在非调和高次模式共振的寄生，这也会劣化滤波器的带外特性。

技术实现思路

1、本发明提供了一种声表面波谐振器及滤波器，以提升声表面波谐振器及滤波器的通带的低频或高频附近频带中的衰减量，减少声波能量的泄露，抑制通带外近旁的寄生信号的电平。

2、根据本发明的一方面，提供了一种声表面波谐振器，其中包括叉指换能结构以及位于叉指换能结构相对设置两侧的反射结构；

3、反射结构包括金属栅条和附加反射结构；

4、金属栅条沿第一方向延伸，多条金属栅条沿第二方向排列，第一方向和第二方向正交；

5、附加反射结构的边缘轮廓与第一方向相交。

6、可选的，附加反射结构包括至少一条附加条带，附加条带的延伸方向与第一方向相交；附加反射结构的边缘轮廓与位于反射结构边缘的附加条带的形状相同。

7、可选的，附加反射结构包括多条附加条带，多条附加条带的排列方向与第一方向相交；

8、同一附加反射结构中，任意两条附加条带的延伸方向相同；

9、沿多条附加条带的排列方向，相邻两条附加条带之间存在条带间隙；同一附加反射结构中，任意两个条带间隙相同，或者，存在大小不同的两个条带间隙。

10、可选的，附加条带为直线型附加条带或者曲线型附加条带。

11、可选的，反射结构包括两组附加反射结构；

12、两组附加反射结构沿反射结构关于反射结构的第一对称轴对称设置，第一对称轴经过反射结构的中心且沿第二方向延伸。

13、可选的，沿声表面波谐振器的厚度方向，附加条带与金属栅条交叠；

14、或者，沿声表面波谐振器的厚度方向，附加条带与金属栅条不交叠。

15、可选的，附加反射结构包括两组附加栅块组，两组附加栅块组关于反射结构的第一对称轴对称设置，第一对称轴经过反射结构的中心沿第二方向延伸；

16、附加栅块组包括多个附加栅块，且每组附加栅块组中附加栅块的数量与金属栅条的数量相同，沿声表面波谐振器的厚度方向，附加栅块与金属栅条交叠；

17、附加反射结构的边缘轮廓与同一附加栅块组中多个附加栅块的边缘连线的形状相同。

18、可选的，附加栅块包括靠近第一对称轴一侧的第一边；

19、任意两个附加栅块在第一方向上的延伸长度相同，且同一附加栅块组中的多个附加栅块的第一边的连线与第二方向平行。

20、可选的，附加栅块包括靠近第一对称轴一侧的第一边；

21、任意两个附加栅块在第一方向上的延伸长度相同，且同一附加栅块组中的多个附加栅块的第一边的连线与第二方向相交。

22、可选的，附加栅块包括靠近第一对称轴一侧的第一边以及远离第一对称轴一侧的第二边；

23、沿反射结构指向叉指换能结构的方向，附加栅块在第一方向上的尺寸逐渐减小，且同一附加栅块组中的多个附加栅块的第一边的连线与第二方向相交，同一附加栅块组中的多个附加栅块的第二边的连线与第二方向相交。

24、可选的，附加栅块包括靠近第一对称轴一侧的第一边以及远离第一对称轴一侧的第二边；

25、沿反射结构指向叉指换能结构的方向，附加栅块在第一方向上的尺寸逐渐减小，且同一附加栅块组中的多个附加栅块的第一边的连线与第二方向相交，同一附加栅块组中的多个附加栅块的第二边的连线与第二方向平行。

26、可选的，附加栅块包括靠近第一对称轴一侧的第一边；

27、任意两个附加栅块在第一方向上的延伸长度相同，且同一附加栅块组中的多个附加栅块的第一边的连线包括至少两个重复波形。

28、可选的，附加反射结构包括两组栅条间隙组，两组栅条间隙组关于反射结构的第一对称轴对称设置，第一对称轴经过反射结构的中心沿第二方向延伸；

29、栅条间隙组包括多个栅条间隙，沿声表面波谐振器，栅条间隙贯穿金属栅条；且同一栅条间隙组中相邻两个栅条间隙之间设置有至少一条未设置栅条间隙的金属栅条；

30、附加反射结构的边缘轮廓与同一栅条间隙组中多个栅条间隙的边缘连线的形状相同。

31、可选的，栅条间隙包括靠近第一对称轴一侧的第三边；

32、任意两个栅条间隙在第一方向上的延伸长度相同，且同一栅条间隙组中的多个栅条间隙的第三边的连线与第二方向平行。

33、可选的，栅条间隙组包括靠近第一对称轴一侧的第三边；

34、任意两个栅条间隙在第一方向上的延伸长度相同，且同一栅条间隙组中的多个栅条间隙的第三边的连线与第二方向相交。

35、可选的，同一栅条间隙组中的多个附加栅块的第三边的连线为直线或者曲线。

36、可选的，反射结构包括位于叉指换能结构相对设置两侧的第一反射结构和第二反射结构；

37、第一反射结构和第二反射结构关于叉指换能结构的第二对称轴对称设置，第二对称轴经过叉指换能结构的中心且沿第一方向延伸。

38、可选的，反射结构包括位于叉指换能结构相对设置两侧的第一反射结构和第二反射结构；

39、第一反射结构和第二反射结构关于叉指换能结构的中心呈中心对称设置。

40、可选的，叉指换能结构包括至少一个叉指换能器；

41、叉指换能器包括多个第一指和多个第二指，第一指包括位于有源区的第一分部以及位于假指区的第二分部，第二指位于假指区；

42、在假指区，第二分部和第二指均沿第一方向延伸且沿第二方向依次交替设置；

43、在有源区，多个第一分部均沿第一方向延伸且沿第二方向排列。

44、根据本发明的另一方面，提供了一种滤波器，其中包括声表面波谐振器。

45、本发明实施例的技术方案，通过在反射结构中设置附加反射结构，改变反射结构的反射边界条件，使得叉指换能结构激发的能量最大限度返回声表面波谐振器的谐振腔中，减少声波能量的泄露。其次，还能够使阻带外的响应分散和高阶模式抑制，使通带的低频侧附近的频带中的衰减特性平缓，即降低通带外的反射器反射特性的鼓包峰，可以有效地抑制通带外近旁的寄生信号的电平，实现滤波器通带外具有更大的衰减量，同时，减小了叉指换能结构的电极指宽度的偏差等对衰减量的影响。

46、应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本发明的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本发明的范围。本发明的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。

技术特征：

1.一种声表面波谐振器，其特征在于，包括叉指换能结构以及位于所述叉指换能结构相对设置两侧的反射结构；

2.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述附加反射结构包括多条附加条带，多条所述附加条带的排列方向与所述第一方向相交；

4.根据权利要求2所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述附加条带为直线型附加条带或者曲线型附加条带。

5.根据权利要求2-4任一项所述的声表面波谐振器，其特征在于，

6.根据权利要求2所述的声表面波谐振器，其特征在于，沿所述声表面波谐振器的厚度方向，所述附加条带与所述金属栅条交叠；

7.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述附加反射结构包括两组附加栅块组，两组所述附加栅块组关于所述反射结构的第一对称轴对称设置，所述第一对称轴经过所述反射结构的中心沿所述第二方向延伸；

8.根据权利要求7所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述附加栅块包括靠近所述第一对称轴一侧的第一边；

9.根据权利要求7所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述附加栅块包括靠近所述第一对称轴一侧的第一边；

10.根据权利要求7所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述附加栅块包括靠近所述第一对称轴一侧的第一边以及远离所述第一对称轴一侧的第二边；

11.根据权利要求7所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述附加栅块包括靠近所述第一对称轴一侧的第一边以及远离所述第一对称轴一侧的第二边；

12.根据权利要求7所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述附加栅块包括靠近所述第一对称轴一侧的第一边；

13.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述附加反射结构包括两组栅条间隙组，两组所述栅条间隙组关于所述反射结构的第一对称轴对称设置，所述第一对称轴经过所述反射结构的中心沿所述第二方向延伸；

14.根据权利要求13所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述栅条间隙包括靠近所述第一对称轴一侧的第三边；

15.根据权利要求13所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述栅条间隙组包括靠近所述第一对称轴一侧的第三边；

16.根据权利要求15所述的声表面波谐振器，其特征在于，同一所述栅条间隙组中的多个所述栅条间隙的所述第三边的连线为直线或者曲线。

17.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述反射结构包括位于所述叉指换能结构相对设置两侧的第一反射结构和第二反射结构；

18.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述反射结构包括位于所述叉指换能结构相对设置两侧的第一反射结构和第二反射结构；

19.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述叉指换能结构包括至少一个叉指换能器；

20.一种滤波器，其特征在于，包括权利要求1-19中任一项所述的声表面波谐振器。

技术总结
本发明公开了一种声表面波谐振器及滤波器，其中，声表面波谐振器包括叉指换能结构以及位于叉指换能结构相对设置两侧的反射结构；反射结构包括金属栅条和附加反射结构；金属栅条沿第一方向延伸，多条金属栅条沿第二方向排列，第一方向和第二方向正交；附加反射结构的边缘轮廓与第一方向相交。本发明提供的技术方案，通过在反射结构中设置附加反射结构，改变反射结构的反射边界条件，使得叉指换能结构中的声波能量最大限度返回声表面波谐振器的谐振腔中，减少声波能量的泄露，抑制通带外近旁的寄生信号的电平，实现滤波器通带外具有更大的衰减量。

技术研发人员：姜建利,马阳阳
受保护的技术使用者：天通瑞宏科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12