一种PECVD双舟辅助加热的专用分区功率长寿命红外加热灯的制作方法

本发明属于pecvd设备，特别是涉及一种pecvd双舟辅助加热的专用分区功率长寿命红外加热灯。

背景技术：

1、pecvd(plasmaenhancedchemicalvapordeposition)等离子体增强化学气象沉积是利用低温等离子体做能量源，太阳能电池硅片置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电(或另加发热体)使硅片升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经化学和等离子体反应，在硅片上形成固态薄膜，是太阳能电池必不可少的镀膜制备工艺，然而实际制备工艺中，对加热效率和加热均匀性的要求越来越高，尤其是现有的单管双舟工艺中，出现局部位置温度过低，舟片色差明显，成品率低，而现有的炉体加热装置或加了普通辅助加热灯或辅助加热器，往往只能统一调整炉体内加热温度，而不能对于炉体内不同区域进行区别的补温加热，想要提高产品合格率，想要提高生产效率，都存在一定难度，由此，还有待进一步研发改进。另外普通辅助加热灯或辅助加热器寿命短，外套管易断裂，稳定性差，直接影响到生产节拍和生产效率，由此需要进一步研发。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种pecvd双舟辅助加热的专用分区功率长寿命红外加热灯，以解决炉体内不同区域进行区别的补温加热还存在一定难度的问题。同时解决普通辅助加热灯或辅助加热器寿命短，外套管易断裂，稳定性差的问题

2、为解决上述技术问题，本发明是通过以下技术方案实现的：

3、本发明为一种pecvd双舟辅助加热的专用分区功率长寿命红外加热灯，包括：外套管，所述外套管一端封闭端插入加热炉体内，且所述外套管另一端露出加热炉体外，所述外套管露出加热炉体的一端设置有通孔；红外加热灯，所述红外加热灯从外套管通孔插入所述外套管内，所述红外加热灯通过固定环固定在所述外套管上，所述红外加热灯包括红外加热灯外壳以及位于红外加热灯外壳内部腔体的红外发热钨丝，所述红外发热钨丝呈双钨丝螺旋状绕制，所述加热灯内不同段红外发热钨丝的螺旋疏密程度不同。

4、作为本发明的一种优选技术方案，所述外套管为石英管或碳化硅管。

5、作为本发明的一种优选技术方案，所述外套管呈单端封闭的圆柱状。

6、作为本发明的一种优选技术方案，所述外套管插入加热炉炉体内的一端设置有密封堵头，所述外套管另一端与加热炉之间设置有密封组件。

7、作为本发明的一种优选技术方案，所述红外加热灯外壳为双孔孪管透明石英管,所述红外加热灯外壳一端压封封头，所述红外加热灯外壳另一端设置有双层陶瓷件结构并通过双层陶瓷件结构做成单端出线安全保障结构。

8、作为本发明的一种优选技术方案，所述单端出线安全保障结构的构造为压封钼片和钼杆，把双孔孪管透明石英管内部红外发热钨丝和外部高温引线焊接连通，通过双层陶瓷结构把高温引线焊接部位与红外加热灯外壳固定为一整体，制造成单端出线安全保障结构。

9、作为本发明的一种优选技术方案，所述红外加热灯外壳外壁180度烧结白色陶瓷红外反射涂层。

10、作为本发明的一种优选技术方案，所述红外发热钨丝为定制型高温红外双钨丝，其沿着红外加热灯的灯腔长度方向螺旋绕制布置。

11、作为本发明的一种优选技术方案，所述红外发热钨丝冷端设置有钼丝大螺旋结构。

12、本发明具有以下有益效果：

13、本发明中通过设置加热炉体内的石英或碳化硅外套管，解决普通辅助加热灯或辅助加热器外套管断裂问题，提高红外加热灯在真空炉内的安全保障。双孔孪管透明石英能做成单端出线安全保障结构。双层陶瓷结构能够保护红外加热灯真空压封和引线结构的整体强度，提高安全使用系数。双孔孪管透明石英外壁180度烧结白色陶瓷红外反射涂层，增加单向红外辐射能量。红外发热钨丝是定制型高温红外双钨丝，双钨丝呈螺旋状绕制提高红外加热灯的使用寿命。不同段双钨丝的螺旋疏密程度不同，用以控制辅助红外加热灯相应区域的分区功率。红外发热钨丝冷端设计钼丝大螺旋结构，能大大提高红外加热灯使用寿命和安全性。

14、当然，实施本发明的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

技术特征：

1.一种pecvd双舟辅助加热的专用分区功率长寿命红外加热灯，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种pecvd双舟辅助加热的专用分区功率长寿命红外加热灯，其特征在于，所述外套管(1)呈单端封闭的圆柱状。

3.根据权利要求2所述的一种pecvd双舟辅助加热的专用分区功率长寿命红外加热灯，其特征在于，所述外套管(1)一端封闭端插入加热炉炉体内，所述外套管(1)另一端设置有通孔与加热炉之间设置有密封组件和固定环。

4.根据权利要求1所述的一种pecvd双舟辅助加热的专用分区功率长寿命红外加热灯，其特征在于，所述红外加热灯外壳(2)一端压封封头，所述红外加热灯外壳(2)另端设置有双层陶瓷件结构(5)并通过双层陶瓷件结构(5)做成单端出线安全保障结构。

5.根据权利要求4所述的一种pecvd双舟辅助加热的专用分区功率长寿命红外加热灯，其特征在于，所述单端出线安全保障结构的构造为压封钼片和钼杆，把红外加热灯外壳(2)内部红外发热钨丝(3)和外部高温引线焊接连通，通过双层陶瓷件结构(5)把高温引线焊接部位与红外加热灯外壳固定为一整体，制造成单端出线安全保障结构。

6.根据权利要求5所述的一种pecvd双舟辅助加热的专用分区功率长寿命红外加热灯，其特征在于，所述红外加热灯外壳(2)外壁180度烧结白色陶瓷红外反射涂层。

7.根据权利要求6所述的一种pecvd双舟辅助加热的专用分区功率长寿命红外加热灯，其特征在于，所述红外发热钨丝(3)为定制型高温红外双钨丝，其沿着红外加热灯的灯腔长度方向螺旋绕制布置。

8.根据权利要求7所述的一种pecvd双舟辅助加热的专用分区功率长寿命红外加热灯，其特征在于，所述红外发热钨丝(3)冷端设置有钼丝大螺旋结构(6)。

技术总结
本发明公开了一种PECVD双舟辅助加热的专用分区功率长寿命红外加热灯，涉及PECVD设备技术领域。包括：外套管，其一端封闭插入加热炉体内，且外套管另一端露出炉体外，外套管露出炉体的一端设置有通孔；红外加热灯，其从外套管通孔插入外套管内，并通过固定环固定在外套管上，其包括双孔孪管石英外壳以及位于红外加热灯外壳内部腔体的红外发热钨丝，红外发热钨丝呈双钨丝螺旋状绕制，不同段红外发热钨丝的螺旋疏密程度不同。本发明专利通过设置加热炉体内的石英或碳化硅外套管，提高红外加热灯在真空炉内的安全保障。双钨丝螺旋状绕制提高高功率密度的红外加热灯使用寿命；不同段双钨丝的螺旋疏密程度不同，用以控制辅助红外加热灯相应区域的分区功率。

技术研发人员：叶玉梅,叶根深,丁红日
受保护的技术使用者：安徽灏东光电科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12