显示面板制造系统的制作方法

本发明的示例性实施方式/实现方式大体涉及显示面板制造系统和使用所述显示面板制造系统制造显示面板的方法，并且更具体地，涉及包括喷墨设备的显示面板制造系统和使用所述显示面板制造系统制造显示面板的方法。

背景技术：

1、显示面板用于向用户提供图像信息。显示面板包括配置成显示图像的多个像素。对于有机发光显示面板，多个像素中的每一个均包括包含发光材料的有机薄膜图案。

2、有机薄膜图案通过多种方法(诸如，光刻方法和喷墨方法)形成。对于喷墨方法，将有机油墨滴落在开口中以形成构成有机薄膜图案的油墨图案。

3、在油墨滴落于非期望的位置处或形成为不完全地或过度地填充开口的情况中，有机薄膜图案可能形成为具有缺陷。换言之，有机薄膜图案的质量高度地取决于油墨是否滴落在期望的位置处。

4、在本背景部分中公开的以上信息仅用于对本发明构思的背景的理解，并且因此，其可能包含不构成现有技术的信息。

技术实现思路

1、本发明构思的一些示例性实施方式提供了显示面板制造系统，所述显示面板制造系统配置成在喷墨过程期间执行检查过程。

2、一些示例性实施方式提供了显示面板制造方法，在所述显示面板制造方法中喷墨过程和检查过程同时执行。

3、根据一些示例性实施方式，显示面板制造系统可包括衬底供应模块、测试衬底供应模块、有机膜形成模块、偏移检查模块、图案检查模块和液滴检查模块，其中，衬底供应模块配置成提供包括其上设置有薄膜晶体管的有源区域和与有源区域相邻的周边区域；测试衬底供应模块配置成提供测试衬底；有机膜形成模块配置成在所述衬底和所述测试衬底中的每一个上形成油墨图案，有机膜形成模块包括多个头部，所述多个头部中的每一个配置成滴落油墨；偏移检查模块配置成检查位于所述衬底上的油墨图案；图案检查模块配置成检查位于所述测试衬底上的油墨图案；液滴检查模块配置成检查从自所述多个头部选择的头部滴落的油墨。

4、在一些示例性实施方式中，有机膜形成模块、偏移检查模块和液滴检查模块可配置成一起移动。

5、在一些示例性实施方式中，有机膜形成模块可配置成在测试衬底上形成第一油墨图案，以及图案检查模块可配置成检查第一油墨图案并且调节头部的位置。

6、在一些示例性实施方式中，有机膜形成模块可配置成在衬底上形成第二油墨图案，以及偏移检查模块可配置成检查形成在周边区域上并且是自第二油墨图案选择的图案与衬底之间的对齐精度并且调节头部的位置。

7、在一些示例性实施方式中，头部可配置成根据由偏移检查模块输出的偏移检查结果数据在与衬底的运动方向垂直的方向上移动，以及根据由图案检查模块输出的图案检查结果数据在与测试衬底的运动方向垂直的方向上移动和旋转。

8、在一些示例性实施方式中，所选择的头部可以是在第一油墨图案或第二油墨图案被检查时自所述头部选择的。

9、在一些示例性实施方式中，多个头部中的每一个可包括多个喷嘴，并且所选择的头部的多个喷嘴中的至少一个不喷射油墨或形成尺寸可与参考油墨图案的尺寸不同的油墨图案。

10、在一些示例性实施方式中，液滴检查模块可包括激光照射设备和电子平衡设备，以及激光照射设备可设置在电子平衡设备与所选择的头部之间并且可配置成检查从所选择的头部向电子平衡设备提供的油墨。

11、在一些示例性实施方式中，液滴检查模块还可包括过滤器，激光照射设备包括配置成用激光束照射油墨的激光照射部分和配置成接收由油墨散射或透射穿过油墨的激光束的激光接收部分，以及过滤器可配置成控制从激光照射部分入射的激光束的强度以及控制由油墨散射或透射穿过油墨的激光束的方向性。

12、在一些示例性实施方式中，过滤器可包括衍射缝。

13、在一些示例性实施方式中，液滴检查模块还包括油墨抽吸设备，以及油墨抽吸设备可放置在电子平衡设备与所选择的头部之间，并且可用于抽吸要泄漏至电子平衡设备的外部的油墨。

14、根据本发明构思的一些示例性实施方式，制造显示面板的方法包括：提供衬底；在衬底上形成至少一个油墨图案以形成有机图案；以及检查油墨图案之间的对齐精度的图案检查步骤、检查油墨图案与衬底之间的对齐精度的偏移检查步骤以及检查滴落在衬底上以形成油墨图案的液滴检查步骤，其中，检查油墨图案的步骤可在形成有机图案的步骤期间执行。

15、在一些示例性实施方式中，可通过从头部滴落至衬底的油墨形成油墨图案，以及可执行油墨图案检查步骤以调节头部的位置。

16、在一些示例性实施方式中，可执行图案检查步骤以通过平面图上的平移运动和旋转运动改变头部的位置，以及可执行偏移检查步骤以通过平面图上的平移运动改变头部的位置。

17、在一些示例性实施方式中，头部包括多个头部，多个头部中的每一个可被独立地控制。

18、在一些示例性实施方式中，头部包括多个头部，以及可执行液滴检查步骤以检查从单个头部滴落的油墨，所述单个头部可以是自所述多个头部选择的。

19、在一些示例性实施方式中，可执行液滴检查步骤以调节从所选择的单个头部滴落的油墨的量，以及所选择的头部可以在图案检查步骤和偏移检查步骤中的至少一者中选择。

20、在一些示例性实施方式中，可执行液滴检查步骤以用新的头部替代所选择的单个头部。

21、在一些示例性实施方式中，可使用激光束执行液滴检查步骤。

22、在一些示例性实施方式中，可使用电子平衡设备执行液滴检查步骤。

23、本发明构思的另外的特征将在以下描述中进行阐述，并且将根据所述描述部分地显而易见，或者可通过对本发明构思的实践而被习得。

24、将理解的是，前述一般描述和以下详细描述二者均是示例性和说明性的，并且旨在提供对所要求保护的发明的进一步说明。

技术特征：

1.显示面板制造系统，包括：

2.根据权利要求1所述的显示面板制造系统，其中，所述有机膜形成模块配置成在所述测试衬底上形成第一油墨图案，以及

3.根据权利要求2所述的显示面板制造系统，其中，所述有机膜形成模块配置成在所述衬底上形成第二油墨图案，以及

4.根据权利要求3所述的显示面板制造系统，其中，所述多个头部配置成：

5.根据权利要求3所述的显示面板制造系统，其中，所选择的头部是在所述第一油墨图案或所述第二油墨图案被检查时自所述多个头部选择的。

6.制造显示面板的方法，包括：

7.根据权利要求6所述的方法，其中：

8.根据权利要求7所述的方法，其中：

9.根据权利要求8所述的方法，其中，所述头部包括多个头部，所述多个头部中的每个被独立地控制。

10.根据权利要求7所述的方法，其中：

11.根据权利要求10所述的方法，其中：

12.根据权利要求10所述的方法，其中，执行所述液滴检查步骤，以用新的头部替代所选择的单个头部。

13.根据权利要求10所述的方法，其中，使用激光束执行所述液滴检查步骤。

14.根据权利要求13所述的方法，其中，使用电子平衡设备执行所述液滴检查步骤。

技术总结
本申请提供了一种显示面板制造系统，该显示面板制造系统包括：衬底供应模块，配置成提供包括其上设置有薄膜晶体管的有源区域和与有源区域相邻的周边区域的衬底；测试衬底供应模块，配置成提供测试衬底；有机膜形成模块，配置成在衬底和测试衬底中的每一个上形成油墨图案；有机膜形成模块，包括多个头部，所述多个头部中的每一个均配置成滴落油墨；偏移检查模块，配置成检查位于衬底上的油墨图案；图案检查模块，配置成检查位于测试衬底上的油墨图案；以及液滴检查模块，配置成检查从自所述多个头部选择的头部滴落的油墨。

技术研发人员：李炳哲,郑兴铁,许明洙,金锺成,崔炳勳
受保护的技术使用者：三星显示有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12