一种声表面波谐振器和无线通信设备的制作方法

本发明实施例涉及声表面波谐振器技术，尤其涉及一种声表面波谐振器和无线通信设备。

背景技术：

1、声表面波滤波器作为射频前端领域重要的元件之一，特别是在移动通信中的基站和移动终端射频、中频部分得到广泛应用。随着4g、5g通信技术的快速发展，对声表面波滤波器技术提出了更高的要求，声学滤波器技术领域从材料、换能器结构、拓扑结构等多维度出发，逐渐突破高世代声波滤波器关键技术。为实现低插入损耗、更高频率段应用、低频率温度系数(tcf)、高q值等的滤波器特性，温度补偿型声表面波(tc-saw)滤波器、薄膜型声表面波(tf-saw)滤波器应用而生。

2、然而，在研究公知的上述声表面波器件中，声波在纵向或横向上离开声轨迹。尤其是在声轨迹的有限孔径中，存在横波模式寄生的问题。相对于传统形式的saw谐振器，特别是yx-litao3块体衬底中，横波模式寄生对滤波器性能的影响很小，通常不用过多考虑。但在高世代滤波器技术中，如tc-saw滤波器、tf-saw滤波器等，横波模式寄生影响很明显，这会使得声表面波滤波器的通带内会存在大量纹波脉动，会增大插入损耗和减弱q值，劣化声表面波器件的滤波器特性。目前常用的横波寄生抑制的手段主要为指条加权和倾斜(例如整体倾斜、指条倾斜及声学通道倾斜等方案)，加权手段对插损性能恶化严重，倾斜会增大滤波器芯片面积和增加拓扑布线难度。

技术实现思路

1、本发明提供一种声表面波谐振器和无线通信设备，声表面波谐振器提供了一种横波寄生抑制方案。在声表面波谐振器具有横波寄生抑制能力的同时，避免了插损性能恶化，也避免了增大滤波器芯片面积或增加拓扑布线难度。

2、第一方面，本发明实施例提供了一种声表面波谐振器，包括：

3、第一汇流条，所述第一汇流条设置于一侧；

4、第二汇流条，所述第二汇流条设置于与所述第一汇流条平行相对的另一侧；

5、多个第一叉指换能器电极，所述第一叉指换能器电极均电连接于所述第一汇流条，所述第一叉指换能器电极的延展方向与所述第一汇流条垂直；各个所述第一叉指换能器电极远离所述第一汇流条的一端所在的第一直线与所述第二汇流条之间形成第一区域；

6、多个第二叉指换能器电极，所述第二叉指换能器电极均电连接于所述第二汇流条，所述第二叉指换能器电极的延展方向与所述第二汇流条垂直；所述第一叉指换能器电极与所述第二叉指换能器电极交替排布于所述第一汇流条和所述第二汇流条之间；各个所述第二叉指换能器电极远离所述第二汇流条的一端所在的第二直线与所述第一汇流条之间形成第二区域；

7、多个第一假指电极，所述第一假指电极设置在所述第一区域内，所述第一假指电极与所述第一直线之间的距离不为0，所述第一假指电极与所述第二汇流条之间的距离不为0；

8、多个第二假指电极，所述第二假指电极设置在所述第二区域内，所述第二假指电极与所述第二直线之间的距离不为0，所述第二假指电极与所述第一汇流条之间的距离不为0。

9、可选的，所述第一叉指换能器电极和所述第二叉指换能器电极沿所述第一汇流条的延展方向呈第一周期排布；所述第一假指电极和所述第二假指电极均沿所述第一汇流条的延展方向呈第二周期排布；所述第一周期与所述第二周期的周期长度相同。

10、可选的，所述第一假指电极或所述第二假指电极沿所述第一汇流条的延展方向离散排布。

11、可选的，所述第一假指电极的延展方向与所述第一叉指换能器电极的延展方向相同，所述第二假指电极的延展方向与所述第二叉指换能器电极的延展方向相同；每个所述第一假指电极均与对应的一个所述第一叉指换能器电极构成第一轴对称图案，每个所述第二假指电极均与对应的一个所述第二叉指换能器电极构成第二轴对称图案，所述第一轴对称图案和所述第二轴对称图案的对称轴均垂直于所述第一汇流条的延展方向。

12、可选的，所述第一假指电极包括多个第一假指子电极，所述第二假指电极包括多个第二假指子电极，所述第一假指子电极和所述第二假指子电极均沿所述第一汇流条的延展方向离散排布。

13、可选的，所述第一假指电极或所述第二假指电极沿所述第一汇流条的延展方向连续分布。

14、可选的，所述第一假指电极和所述第二假指电极均包括沿所述第一汇流条的延展方向延伸的直线图案、锯齿线图案、波浪线图案、正弦图案、余弦图案或方波脉冲图案。

15、可选的，位于所述第一汇流条与所述第二假指电极间的所述第一叉指换能器电极，相比所述第二汇流条与所述第二假指电极间的所述第一叉指换能器电极相差半个所述第一周期。

16、可选的，所述第一汇流条与声波波矢间的角度大于0度，且小于15度。

17、可选的，所述第一区域与所述第二区域上覆盖有介质层。

18、第二方面，本发明实施例还提供了一种无线通信设备，包括上述任意一种声表面波谐振器。

19、本发明实施例中，声表面波谐振器包括，第一汇流条，第一汇流条设置于一侧；第二汇流条，第二汇流条设置于与第一汇流条相对的另一侧；多个第一叉指换能器电极，第一叉指换能器电极均电连接于第一汇流条，第一叉指换能器电极的延展方向与第一汇流条垂直；各个第一叉指换能器电极远离第一汇流条的一端所在的第一直线与第二汇流条之间形成第一区域；多个第二叉指换能器电极，第二叉指换能器电极均电连接于第二汇流条，第二叉指换能器电极的延展方向与第二汇流条垂直；第一叉指换能器电极与第二叉指换能器电极交替排布于第一汇流条和第二汇流条之间；各个第二叉指换能器电极远离第二汇流条的一端所在的第二直线与第一汇流条之间形成第二区域；多个第一假指电极，第一假指电极设置在第一区域内，第一假指电极与第一直线之间的距离不为0，第一假指电极与第二汇流条之间的距离不为0；多个第二假指电极，第二假指电极设置在第二区域内，第二假指电极与第二直线之间的距离不为0，第二假指电极与第一汇流条之间的距离不为0。多个第一假指电极和多个第二假指电极可以抑制横波模式寄生的问题，将第一假指电极和第二假指电极以上述形式设置在上述位置，可以使谐振器中的横向模态寄生得到抑制，提高q值；同时提升声表面波滤波器件的性能，能够实现减小插入损耗、减弱横波模式寄生造成的通带纹波劣化。

技术特征：

1.一种声表面波谐振器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一叉指换能器电极和所述第二叉指换能器电极沿所述第一汇流条的延展方向呈第一周期排布；所述第一假指电极和所述第二假指电极均沿所述第一汇流条的延展方向呈第二周期排布；所述第一周期与所述第二周期的周期长度相同。

3.根据权利要求2所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一假指电极或所述第二假指电极沿所述第一汇流条的延展方向离散排布。

4.根据权利要求3所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一假指电极的延展方向与所述第一叉指换能器电极的延展方向相同，所述第二假指电极的延展方向与所述第二叉指换能器电极的延展方向相同；每个所述第一假指电极均与对应的一个所述第一叉指换能器电极构成第一轴对称图案，每个所述第二假指电极均与对应的一个所述第二叉指换能器电极构成第二轴对称图案，所述第一轴对称图案和所述第二轴对称图案的对称轴均垂直于所述第一汇流条的延展方向。

5.根据权利要求4所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一假指电极包括多个第一假指子电极，所述第二假指电极包括多个第二假指子电极，所述第一假指子电极和所述第二假指子电极均沿所述第一汇流条的延展方向离散排布。

6.根据权利要求2所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一假指电极或所述第二假指电极沿所述第一汇流条的延展方向连续分布。

7.根据权利要求6所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一假指电极和所述第二假指电极均包括沿所述第一汇流条的延展方向延伸的直线图案、锯齿线图案、波浪线图案、正弦图案、余弦图案或方波脉冲图案。

8.根据权利要求6所述的声表面波谐振器，其特征在于，位于所述第一汇流条与所述第二假指电极间的所述第一叉指换能器电极，相比所述第二汇流条与所述第二假指电极间的所述第一叉指换能器电极相差半个所述第一周期。

9.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一汇流条与声波波矢间的角度大于0度，且小于15度。

10.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一区域与所述第二区域上覆盖有介质层。

11.一种无线通信设备，其特征在于，包括权利要求1-10任一所述的声表面波谐振器。

技术总结
本发明实施例公开了一种声表面波谐振器和无线通信设备。声表面波谐振器，其特征在于，包括，第一汇流条、第二汇流条、多个第一叉指换能器电极和多个第二叉指换能器电极。还包括多个第一假指电极，第一假指电极设置在第一区域内，第一假指电极与第一直线之间的距离不为0，第一假指电极与第二汇流条之间的距离不为0。多个第二假指电极，第二假指电极设置在第二区域内，第二假指电极与第二直线之间的距离不为0，第二假指电极与第一汇流条之间的距离不为0。多个第一假指电极和多个第二假指电极可以抑制横波模式寄生的问题。提升声表面波滤波器件的性能，能够实现减小插入损耗、减弱横波模式寄生造成的通带纹波劣化。

技术研发人员：姜建利,马阳阳,廖庆嵩,朱德进,姚文峰
受保护的技术使用者：天通瑞宏科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13