弹性波装置及包含所述弹性波装置的模块的制作方法

本公开涉及一种弹性波装置及包含所述弹性波装置的模块。

背景技术：

1、随着近年来技术的进步，以移动通信终端为代表的智能手机等，显着地小型化与轻量化。作为使用这些移动通信终端的弹性波装置，使用着可以小型化的弹性波装置。并且，在移动通信系统中，能同时收发信的通信系统急遽增长，且对双工器的需求也急遽增长。

2、伴随着移动通信系统的变化，对于弹性波装置的要求规格也变得更加严格。换句话说，比现有的更小型的弹性波装置是必要的。然而，一旦弹性波装置小型化，saw共振器就不得不小型化，导致功率耐久性(power durability)低落。

3、根据施加的电压及频率，所述saw共振器的电极反复承受着内部应力，且金属原子容易因为所述应力沿着晶界扩散移动，并且产生形成突起而引发短路或空隙造成的断线，及特性显着劣化的问题。这种现象被称为应力迁移(stress migration)。因此，伴随着弹性波装置的小型化，所述saw共振器的电极的功率耐久性有必要被提升。

4、专利文献1(特开2006-74202)示例一种为了提升功率耐久性而将saw共振器串联地分割的技术。

技术实现思路

1、[发明欲解决之课题]

2、然而，在专利文献1记载的弹性波装置中，在分割成三个以上的串联分割共振器中，设置于内侧的所述分割共振器很难散热。因此，设置于内侧的分割共振器容易产生应力迁移，因此所述弹性波装置的功率耐久性不良。

3、本公开中为解决上述问题，目的在于提供一种以提升功率耐久性为目标、且能抑制串联分割共振器的应力迁移、而能更加提升功率耐久性的弹性波装置与包含所述弹性波装置的模块。并且，提供一种耗电量少且环保性能优异的弹性波装置与包含所述弹性波装置的模块。

4、[用以解决课题的手段]

5、本公开的弹性波装置，包含压电基板与形成于所述压电基板上的多个共振器，所述多个共振器中的至少一个是多级分割共振器，所述多级分割共振器被串联地分割，并包括电信号最先输入的第一分割共振器、电信号最后输入的第二分割共振器，及设置在所述第一分割共振器与所述第二分割共振器间的第三分割共振器，所述第三分割共振器的电容值，比所述第一分割共振器的电容值与所述第二分割共振器的电容值大。

6、本公开的一种形态，所述第一分割共振器的共振频率与所述第二分割共振器的共振频率，比所述第三分割共振器的共振频率低。

7、本公开的一种形态，所述多级分割共振器包括设置在所述第一分割共振器与所述第三分割共振器间的第四分割共振器，和设置在所述第二分割共振器与所述第三分割共振器间的第五分割共振器。

8、本公开的一种形态，所述第三分割共振器、所述第四分割共振器，及所述第五分割共振器的电容值，比所述第一分割共振器与所述第二分割共振器的电容值还大。

9、本发明的一种形态，所述第一分割共振器与所述第二分割共振器的共振频率，比所述第三分割共振器、所述第四分割共振器，及所述第五分割共振器的共振频率低。

10、本公开的一种形态，所述第三分割共振器的电容值，比所述第四分割共振器与所述第五分割共振器的电容值还大。

11、本公开的一种形态，所述第四分割共振器与所述第五分割共振器的共振频率，比所述第三分割共振器的共振频率低。

12、本公开的一种形态，所述压电基板是铌酸锂或钽酸锂的单晶形成的基板。

13、本公开的一种形态，所述弹性波装置还包含设置于所述压电基板的形成所述多个共振器的主面的相反面的支撑基板，所述支撑基板是由蓝宝石、硅、氧化铝、尖晶石、水晶或玻璃形成的基板。

14、本公开的一种形态，所述多个共振器包括构成梯型带通滤波器的多个串联共振器与多个并联共振器，所述多级分割共振器，是在所述多个串联共振器中电信号最先输入或第二顺位输入的串联共振器。

15、本公开的一种形态，所述多个共振器具有双工器的功能。

16、本公开的一种形态，包含所述弹性波装置的模块。

17、发明效果

18、根据本发明，能提供一种增加功率耐久性的弹性波装置。

技术特征：

1.一种弹性波装置，包含压电基板与形成于所述压电基板上的多个共振器，其特征在于：所述多个共振器中的至少一个是多级分割共振器，所述多级分割共振器被串联地分割，并包括电信号最先输入的第一分割共振器、电信号最后输入的第二分割共振器，及设置在所述第一分割共振器与所述第二分割共振器间的第三分割共振器，所述第三分割共振器的电容值，比所述第一分割共振器的电容值与所述第二分割共振器的电容值大。

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于：所述第一分割共振器的共振频率与所述第二分割共振器的共振频率，比所述第三分割共振器的共振频率低。

3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于：所述多级分割共振器包括设置在所述第一分割共振器与所述第三分割共振器间的第四分割共振器，和设置在所述第二分割共振器与所述第三分割共振器间的第五分割共振器。

4.根据权利要求3所述的弹性波装置，其特征在于：所述第三分割共振器、所述第四分割共振器，及所述第五分割共振器的电容值，比所述第一分割共振器与所述第二分割共振器的电容值还大。

5.根据权利要求3所述的弹性波装置，其特征在于：所述第一分割共振器与所述第二分割共振器的共振频率，比所述第三分割共振器、所述第四分割共振器，及所述第五分割共振器的共振频率低。

6.根据权利要求3所述的弹性波装置，其特征在于：所述第三分割共振器的电容值，比所述第四分割共振器与所述第五分割共振器的电容值还大。

7.根据权利要求3所述的弹性波装置，其特征在于：所述第四分割共振器与所述第五分割共振器的共振频率，比所述第三分割共振器的共振频率低。

8.根据权利要求1至7中任一权利要求所述的弹性波装置，其特征在于：所述压电基板是铌酸锂或钽酸锂的单晶形成的基板。

9.根据权利要求1至7中任一权利要求所述的弹性波装置，其特征在于：所述弹性波装置还包含设置于所述压电基板的形成所述多个共振器的主面的相反面的支撑基板，所述支撑基板是由蓝宝石、硅、氧化铝、尖晶石、水晶或玻璃形成的基板。

10.根据权利要求1至7中任一权利要求所述的弹性波装置，其特征在于：所述多个共振器包括构成梯型带通滤波器的多个串联共振器与多个并联共振器，所述多级分割共振器，是在所述多个串联共振器中电信号最先输入或第二顺位输入的串联共振器。

11.根据权利要求1至7中任一权利要求所述的弹性波装置，其特征在于：所述多个共振器具有双工器的功能。

12.一种包含权利要求1至7中任一权利要求所述的弹性波装置的模块。

技术总结
一种弹性波装置，包含压电基板与形成于所述压电基板上的多个共振器，所述多个共振器中的至少一个是多级分割共振器，所述多级分割共振器串联地分割，并包括电信号最先输入的第一分割共振器、电信号最后输入的第二分割共振器，及设置在所述第一分割共振器与所述第二分割共振器间的第三分割共振器，所述第三分割共振器的电容值，比所述第一分割共振器的电容值与所述第二分割共振器的电容值大。借此，能提供一种增加功率耐久性的弹性波装置。

技术研发人员：古藤祐喜,塩井伸一
受保护的技术使用者：三安日本科技株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/5/6