一种声表面波滤波器的制作方法

本申请涉及滤波器，尤其涉及一种温度补偿型声表面波滤波器。

背景技术：

1、声学滤波器包括saw（声表面波滤波器）和baw（体声波滤波器），是用于射频通信领域的重要器件，能够滤除杂波干扰并放大指定信号。其中，saw成本低，插损低，抑制性好且温度敏感，主要应用于射频中的低频段，也有tc-saw（温度补偿型声表面波滤波器）等进行温度补偿的设计。其中，温度补偿型声表面波滤波器不易受温度影响，性能更为稳定，应用更为广泛。

2、但是，现有tc-saw（温度补偿型声表面波滤波器）在工作时杂散信号较多，影响温度补偿型声表面波滤波器的性能，因此，如何消除温度补偿型声表面波滤波器工作时的杂散信号，提高温度补偿型声表面波滤波器的性能成为本领域技术人员的研究热点。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题，本申请实施例提供了一种声表面波滤波器，减小声表面波滤波器工作时的杂散信号，以提高温度补偿型声表面波滤波器的性能。

2、为解决上述问题，本申请实施例提供了如下技术方案：

3、一种声表面波滤波器，包括：至少一个声表面波谐振器，所述声表面波谐振器包括：

4、衬底；

5、位于所述衬底第一侧的叉指换能器，所述叉指换能器包括第一叉指部和第二叉指部，所述第一叉指部包括多个沿第一方向延伸的第一叉指电极，所述第二叉指部包括多个沿所述第一方向延伸的第二叉指电极，所述第一叉指电极和所述第二叉指电极在第二方向上间隔排布，所述第一方向和所述第二方向平行于所述衬底所在平面，且所述第二方向与所述第一方向相交；

6、位于所述叉指换能器远离所述衬底一侧的辅助电极，所述辅助电极包括沿所述第二方向延伸的第一辅助电极和第二辅助电极，在第三方向上，所述第一辅助电极覆盖多个所述第一叉指电极的端部，且与多个所述第二叉指电极相交，所述第二辅助电极覆盖多个所述第二叉指电极的端部，且与多个所述第一叉指电极相交，所述第三方向垂直于所述衬底所在平面。

7、可选的，所述辅助电极包括层叠的钛电极/铜电极/钛电极。

8、可选的，所述叉指换能器包括层叠的钛电极/银电极/铜电极/钛电极。

9、可选的，所述声表面波谐振器还包括：位于所述叉指换能器与所述辅助电极之间的第一绝缘层。

10、可选的，所述第一绝缘层为氧化硅层。

11、可选的，所述声表面波谐振器还包括覆盖于所述辅助电极表面的第二绝缘层。

12、可选的，所述第二绝缘层包括层叠的第一绝缘子层、第二绝缘子层和第三绝缘子层，其中，所述第一绝缘子层和所述第二绝缘子层材料不同，所述第一绝缘子层和所述第三绝缘子层材料相同。

13、可选的，所述第一绝缘子层为氮化硅层，所述第二绝缘子层为氧化硅层。

14、可选的，所述叉指换能器还包括：在所述第一方向上位于所述第一叉指部和第二叉指部第一侧的第一连接部；在所述第一方向上位于所述第一叉指部和第二叉指部第二侧第二连接部，所述第二侧和所述第一侧相对；

15、所述声表面波谐振器还包括：贯穿所述第一绝缘层和所述第二绝缘层的第一通孔和第二通孔，所述第一通孔曝露所述第一连接部至少部分区域，所述第二通孔曝露所述第二连接部至少部分区域；

16、位于所述第一通孔内，与所述第一连接部电连接的第一输入输出端；

17、位于所述第一通孔内，与所述第一连接部电连接的第二输入输出端。

18、可选的，所述第一输入输出端包括层叠的钛电极/铝铜合金电极；

19、所述第二输入输出端包括层叠的钛电极/铝铜合金电极。

20、与现有技术相比，上述技术方案具有以下优点：

21、本申请实施例所提供的技术方案，所述声表面波滤波器包括至少一个声表面波谐振器，所述声表面波谐振器除包括叉指换能器外，还包括辅助电极，且所述辅助电极，所述辅助电极包括第一辅助电极和第二辅助电极，在垂直于所述衬底所在平面的方向上，所述第一辅助电极覆盖多个所述第一叉指电极的端部，且与多个所述第二叉指电极相交，所述第二辅助电极覆盖多个所述第二叉指电极的端部，且与多个所述第一叉指电极相交，以减小所述声表面波谐振器的杂散信号，提高所述声表面波谐振器的性能，从而提高所述声表面波滤波器的性能。

技术特征：

1.一种声表面波滤波器，其特征在于，包括：至少一个声表面波谐振器，所述声表面波谐振器包括：

2.根据权利要求1所述的声表面波滤波器，其特征在于，所述辅助电极包括层叠的钛电极/铜电极/钛电极。

3.根据权利要求1所述的声表面波滤波器，其特征在于，所述叉指换能器包括层叠的钛电极/银电极/铜电极/钛电极。

4.根据权利要求1所述的声表面波滤波器，其特征在于，所述声表面波谐振器还包括：位于所述叉指换能器与所述辅助电极之间的第一绝缘层。

5.根据权利要求4所述的声表面波滤波器，其特征在于，所述第一绝缘层为氧化硅层。

6.根据权利要求4所述的声表面波滤波器，其特征在于，所述声表面波谐振器还包括覆盖于所述辅助电极表面的第二绝缘层。

7.根据权利要求6所述的声表面波滤波器，其特征在于，所述第二绝缘层包括层叠的第一绝缘子层、第二绝缘子层和第三绝缘子层，其中，所述第一绝缘子层和所述第二绝缘子层材料不同，所述第一绝缘子层和所述第三绝缘子层材料相同。

8.根据权利要求7所述的声表面波滤波器，其特征在于，所述第一绝缘子层为氮化硅层，所述第二绝缘子层为氧化硅层。

9.根据权利要求6所述的声表面波滤波器，其特征在于，所述叉指换能器还包括：在所述第一方向上位于所述第一叉指部和第二叉指部第一侧的第一连接部；在所述第一方向上位于所述第一叉指部和第二叉指部第二侧第二连接部，所述第二侧和所述第一侧相对；

10.根据权利要求9所述的声表面波滤波器，其特征在于，所述第一输入输出端包括层叠的钛电极/铝铜合金电极；

技术总结
本申请实施例公开了一种声表面波滤波器，包括至少一个声表面波谐振器，所述声表面波谐振器除包括叉指换能器外，还包括辅助电极，且所述辅助电极，所述辅助电极包括第一辅助电极和第二辅助电极，在垂直于所述衬底所在平面的方向上，所述第一辅助电极覆盖多个所述第一叉指电极的端部，且与多个所述第二叉指电极相交，所述第二辅助电极覆盖多个所述第二叉指电极的端部，且与多个所述第一叉指电极相交，以减小所述声表面波谐振器的杂散信号，提高所述声表面波谐振器的性能，从而提高所述声表面波滤波器的性能。

技术研发人员：黄磊,邹洁,唐供宾
受保护的技术使用者：深圳新声半导体有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15