弹性波装置的制作方法

本发明涉及弹性波装置。

背景技术：

1、以往，弹性波装置广泛用作便携式电话机的滤波器等。在下述的专利文献1中，公开了弹性波器件的一例。在该弹性波器件中，在多晶尖晶石层上设置有压电层。在压电层上设置有idt(interdigital transducer，叉指换能器)电极。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2019-216414号公报

5、但是，在专利文献1的弹性波器件中，有可能不能充分抑制在主模式附近产生的高次模式。

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、本发明的目的在于提供能够有效地抑制在主模式附近产生高次模式的情况的弹性波装置。

3、用于解决问题的手段

4、本发明涉及的弹性波装置具备：单晶尖晶石基板，其包含铝酸镁单晶；压电体层，其设置在所述单晶尖晶石基板上；以及idt电极，其设置在所述压电体层上，构成所述单晶尖晶石基板的铝酸镁单晶的欧拉角中的θ和ψ是图5～图41中的任意的区域a的范围内的角度。

5、发明效果

6、根据本发明涉及的弹性波装置，能够有效地抑制在主模式附近产生高次模式的情况。

技术特征：

1.一种弹性波装置，具备：

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求1至3中任一项所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求1至4中任一项所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求5所述的弹性波装置，其中，

技术总结
提供一种弹性波装置，能够有效地抑制在主模式附近产生高次模式的情况。具备包含铝酸镁单晶的单晶尖晶石基板(3)、设置在单晶尖晶石基板(3)上的压电体层(5)以及设置在压电体层(5)上的IDT电极(7)。构成单晶尖晶石基板(3)的铝酸镁单晶的欧拉角中的θ和ψ是图5～图41中的任意的区域A的范围内的角度。

技术研发人员：山根毅
受保护的技术使用者：株式会社村田制作所
技术研发日：
技术公布日：2024/3/27