一种加热器的制作方法

本技术涉及半导体设备，具体涉及一种加热器。

背景技术：

1、半导体中的硅片在制作完成后需要对其进行清洗，一般是将硅片放置在清洗设备的化学药液池内进行清洗；目前大部分采用湿法化学工艺对硅片进行清洗，即采用酸碱性化学药液对其进行清洗，但是在清洗过程中要求药液需要达到一定的温度才能将硅片清洗干净，这就需要使用加热器对化学药液池内的化学药液进行加热。

2、传统的加热方法，是通过在与化学药液池连接的循环管路上连接加热器从而实现对化学药液进行加热，这种加热方式是在管道内安装多组电热管对流通进管道内的药液进行加热，多组电热管均为u型结构状，使用时多组u型电热管层层排列在管道内部对管道内的药液进行加热，而u型电热管大都采用光身管结构或绕片管结构，光身管的结构整体光滑无法对加热药液起扰动作用，与管道内药液有效接触面积偏小，从而会降低管道药液的加热效率；而绕片管虽能充分增加与管道内的药液的接触面积，但是在金属管外通过铆接铝片的工序繁琐，也易发生变形，同时多组电热管排列在管道内，容易受管道内药液的流动冲击发生晃动，牢固性不高容易损坏；

3、因此，亟需设计一种加热器以解决上述缺陷，显得尤为重要。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型设计了一种加热器，该加热器旨在解决现有技术下加热器加热效率低以及管道内电热管固定的牢固性差的技术问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种加热器，包括主体外壳，所述主体外壳的内部设置有多组电热管，多组所述电热管的外侧均设置有散热组件，所述电热管的外侧且位于散热组件的前后两端均设置有固定架；

4、所述散热组件由第一散热壳和第二散热壳组成，所述第一散热壳与第二散热壳的内侧均开设有安装槽，所述第一散热壳与第二散热壳外侧的中间处均开设有弧形导流槽，所述第一散热壳与第二散热壳的外侧且位于弧形导流槽的内部设置有多组第一固定螺栓，所述第一散热壳与第二散热壳的左右两侧均设置有散热翅片。

5、作为本实用新型优选的方案，所述主体外壳底部的前后两端均设置有底座，所述底座的底端开设多组安装孔，所述主体外壳外侧的前端设置有进液管，所述主体外壳的远离进液管一端的背面设置有出液管。

6、作为本实用新型优选的方案，所述主体外壳的前端设置有连接端，所述连接端的前端设置有防护罩，所述连接端与防护罩的连接处均通过连接法兰进行连接，所述电热管位于防护罩与连接端的连接处设置有密封盘，所述电热管位于密封盘的正面设置有接线头，所述防护罩的外侧设置有接线管。

7、作为本实用新型优选的方案，所述散热翅片均位于第一散热壳与第二散热壳的外侧等间距分布，所述散热翅片与第一散热壳与第二散热壳均呈一体式结构设计，所述第一散热壳、第二散热壳与散热翅片均为铝或铝合金材料制作而成。

8、作为本实用新型优选的方案，所述固定架由第一固定框和第二固定框组成，所述第一固定框与第二固定框的左右两侧均通过第二螺栓进行连接，所述第一固定框与第二固定框的左右两侧均设置有滚轮，所述主体外壳的内侧与滚轮相对应的位置处开设有滚槽。

9、作为本实用新型优选的方案，所述第一固定框与第二固定框内侧与电热管相对应的位置处均设置有固定板，所述固定板的内侧与电热管相对应的位置处开设有固定槽。

10、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

11、1、本实用新型中，通过散热组件的设计，在对电热管进行组装时，由下而上每组装一层电热管便在电热管的外侧安装一组散热组件，将一层层电热管组装完成后每组电热管的外侧均安装有散热组件，然后再将组装完成后的电热管插入主体外壳内使用，在主体外壳的内部通入药液后，利用散热组件外侧的散热翅片能够有效增大电热管的散热面积，主体外壳内的药液在弧形导流槽的引导下在电热管的外侧流动，同时利用多组散热翅片能够在药液流动时起到扰动的作用，进一步提高了加热器对药液的加热效率。

12、2、本实用新型中，通过固定架的设计，在将电热管安装进主体外壳的内部前，将两组固定架安装固定在电热管前后两端的外侧，然后在电热管插入主体外壳的内部时，将固定架外侧的滚轮与主体外壳内侧开设的滚槽对齐，从而保障电热管水平插入主体外壳的内部，同时在电热管使用时，利用固定架与四组滚轮对将电热管稳定固定在主体外壳的内部，从而在主体外壳内药液流动时，防止药液的流动冲击造成电热管发生晃动，从而提高电热管的固定牢固性。

技术特征：

1.一种加热器，包括主体外壳（1），其特征在于：所述主体外壳（1）的内部设置有多组电热管（2），多组所述电热管（2）的外侧均设置有散热组件（3），所述电热管（2）的外侧且位于散热组件（3）的前后两端均设置有固定架（4）；

2.根据权利要求1所述的一种加热器，其特征在于：所述主体外壳（1）底部的前后两端均设置有底座（11），所述底座（11）的底端开设多组安装孔，所述主体外壳（1）外侧的前端设置有进液管（12），所述主体外壳（1）的远离进液管（12）一端的背面设置有出液管（13）。

3.根据权利要求1所述的一种加热器，其特征在于：所述主体外壳（1）的前端设置有连接端，所述连接端的前端设置有防护罩（14），所述连接端与防护罩（14）的连接处均通过连接法兰进行连接，所述电热管（2）位于防护罩（14）与连接端的连接处设置有密封盘（15），所述电热管（2）位于密封盘（15）的正面设置有接线头，所述防护罩（14）的外侧设置有接线管。

4.根据权利要求1所述的一种加热器，其特征在于：所述散热翅片（10）均位于第一散热壳（5）与第二散热壳（6）的外侧等间距分布，所述散热翅片（10）与第一散热壳（5）与第二散热壳（6）均呈一体式结构设计，所述第一散热壳（5）、第二散热壳（6）与散热翅片（10）均为铝或铝合金材料制作而成。

5.根据权利要求1所述的一种加热器，其特征在于：所述固定架（4）由第一固定框（16）和第二固定框（17）组成，所述第一固定框（16）与第二固定框（17）的左右两侧均通过第二螺栓（18）进行连接，所述第一固定框（16）与第二固定框（17）的左右两侧均设置有滚轮（19），所述主体外壳（1）的内侧与滚轮（19）相对应的位置处开设有滚槽。

6.根据权利要求5所述的一种加热器，其特征在于：所述第一固定框（16）与第二固定框（17）内侧与电热管（2）相对应的位置处均设置有固定板（20），所述固定板（20）的内侧与电热管（2）相对应的位置处开设有固定槽。

技术总结
本技术涉及半导体设备技术领域，具体涉及一种加热器，包括主体外壳，所述主体外壳的内部设置有多组电热管，多组所述电热管的外侧均设置有散热组件，所述电热管的外侧且位于散热组件的前后两端均设置有固定架；所述散热组件由第一散热壳和第二散热壳组成，所述第一散热壳与第二散热壳的内侧均开设有安装槽，所述第一散热壳与第二散热壳外侧的中间处均开设有弧形导流槽，所述第一散热壳与第二散热壳的外侧且位于弧形导流槽的内部设置有多组第一固定螺栓，所述第一散热壳与第二散热壳的左右两侧均设置有散热翅片，与现有的加热器相比较，本技术通过设计能够提升加热器的整体加热效率、牢固性以及实用性。

技术研发人员：高松,陈红霞,陈东
受保护的技术使用者：靖江新恒和半导体科技有限公司
技术研发日：20230324
技术公布日：2024/1/14