一种声表面波谐振器的制作方法

本技术涉及谐振器，具体涉及一种声表面波谐振器。

背景技术：

1、声表面波谐振器作为声表面波滤波器的核心，其频率、机电耦合系数和q值(品质因数)等参数都直接影响声表面波滤波器的性能。随着声表面波谐振器技术的发展，相关技术中的声表面波谐振器已经具有了高频、高机电耦合系数和高q值，但是在声表面波谐振器中存在横向谐振模，导致声表面波谐振器导纳特性曲线产生毛刺型波纹，用在声表面波滤波器上时影响通带纹波，是一种有害杂波。因此，想要提高声表面波滤波器的性能，需要抑制声表面波谐振器的横向谐振模。

技术实现思路

1、本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。

2、为此，本实用新型的实施例提出一种声表面波谐振器，以抑制声表面波谐振器的横向谐振模。

3、本实用新型实施例的声表面波谐振器包括压电基板和设置在所述压电基板上的叉指换能器，所述叉指换能器包括第一叉指汇流条和第二叉指汇流条；所述第一叉指汇流条延伸出第一叉指电极和第一虚设电极，所述第二叉指汇流条延伸出与所述第一虚设电极对应的第二叉指电极以及与所述第一叉指电极对应的第二虚设电极；其中，所述第一叉指电极与所述第二叉指电极交叉的区域形成叉指电极区，所述叉指换能器沿其表面声波传播方向对称布置，所述叉指电极区的宽度沿远离所述叉指换能器的对称轴线的方向逐渐减小；所述第一叉指电极的与对应的所述第二虚设电极相对的端面为第一倾斜面，所述第一倾斜面沿所述表面声波传播方向倾斜布置；所述第二叉指电极的与对应的所述第一虚设电极相对的端面为第二倾斜面，所述第二倾斜面沿所述表面声波传播方向倾斜布置；沿所述表面声波传播方向，同一方向上，各所述第一倾斜面的倾斜角度一致，且位于同一倾斜平面上，和/或，同一方向上，各所述第二倾斜面的倾斜角度一致，且位于同一倾斜平面上。

4、在一些实施例中，所述第一虚设电极的与对应的所述第二叉指电极相对的端面为第三倾斜面，所述第三倾斜面沿所述表面声波传播方向倾斜布置；所述第二虚设电极的与对应的所述第一叉指电极相对的端面为第四倾斜面，所述第四倾斜面沿所述表面声波传播方向倾斜布置；沿所述表面声波传播方向，同一方向上，所述第三倾斜面与所述第一倾斜面的倾斜方向相反，同一方向上，各所述第三倾斜面的倾斜角度一致，且位于同一倾斜平面上，和/或，同一方向上，所述第四倾斜面与所述第二倾斜面的倾斜方向相反，同一方向上，各所述第四倾斜面的倾斜角度一致，且位于同一倾斜平面上。

5、在一些实施例中，所述第一倾斜面和/或所述第二倾斜面的倾斜角度为2°～15°。

6、在一些实施例中，所述第一叉指汇流条的远离所述第一叉指电极的端面为第五倾斜面，所述第五倾斜面沿所述表面声波传播方向倾斜布置；和/或，所述第二叉指汇流条的远离所述第二叉指电极的端面为第六倾斜面，所述第六倾斜面沿所述表面声波传播方向倾斜布置。

7、在一些实施例中，所述叉指换能器还包括在所述表面声波传播方向上设于所述叉指电极区两侧的反射栅，所述反射栅包括多个反射指电极；其中，所述反射栅的设有所述反射指电极的区域为反射电极区，所述反射电极区对应所述叉指电极区设置，所述反射电极区的宽度沿远离所述对称轴线向的方向逐渐减小。

8、在一些实施例中，所述反射栅的远离所述反射指电极设置的其中一个端面为第七倾斜面，所述第七倾斜面沿所述表面声波传播方向倾斜布置；所述反射栅的远离所述反射指电极设置的另一个端面为第八倾斜面，所述第八倾斜面沿所述表面声波传播方向倾斜布置。

9、在一些实施例中，所述叉指换能器的材料为铝、铜、钛、铬、银和镍中的一种或多种组合。

10、在一些实施例中，所述压电基板包括依次设置的支撑层、介电层和压电层，所述叉指换能器设置在所述压电层上。

11、在一些实施例中，所述支撑层的材料为si、sic或蓝宝石；和/或，所述介电层的材料为sio2；和/或，所述压电层的材料为litao3或linbo3。

12、本实用新型实施例的声表面波谐振器，通过将叉指换能器沿其表面声波传播方向对称布置，可以使得位于叉指换能器的对称轴线两侧的能量分布较均匀，实现信号稳定与稳定传播；通过将第一叉指电极与第二叉指电极交叉形成的叉指电极区的宽度设为沿远离叉指换能器的对称轴线的方向逐渐减小，可以减小声表面波谐振器的横向谐振模，即抑制声表面波谐振器的横向谐振模；通过在表面声波传播方向上，将同一方向上各第一倾斜面的倾斜角度设为一致且位于同一倾斜平面上，和/或，将同一方向上各第二倾斜面的倾斜角度设为一致且位于同一倾斜平面上，可以使得各第一叉指电极的端面保持较好的连续性，有利于提高声表面波谐振器的q值。由此，可以有效提高声表面波谐振器的性能，从而可以有效提高具有该声表面波谐振器的声表面波滤波器的性能。

技术特征：

1.一种声表面波谐振器（100），其特征在于，包括：

2. 根据权利要求1所述的声表面波谐振器（100），其特征在于，

3.根据权利要求1所述的声表面波谐振器（100），其特征在于，所述第一虚设电极（24）的与对应的所述第二叉指电极（25）相对的端面为第三倾斜面（241），所述第三倾斜面（241）沿所述表面声波传播方向倾斜布置；

4. 根据权利要求1所述的声表面波谐振器（100），其特征在于，所述第一倾斜面（231）和/或所述第二倾斜面（251）的倾斜角度为2°~15°。

5.根据权利要求1所述的声表面波谐振器（100），其特征在于，所述第一叉指汇流条（21）的远离所述第一叉指电极（23）的端面为第五倾斜面（211），所述第五倾斜面（211）沿所述表面声波传播方向倾斜布置；和/或

6.根据权利要求1所述的声表面波谐振器（100），其特征在于，所述反射栅（27）的远离所述反射指电极（271）设置的其中一个端面为第七倾斜面（272），所述第七倾斜面（272）沿所述表面声波传播方向倾斜布置；

7.根据权利要求1~5中任意一项所述的声表面波谐振器（100），其特征在于，所述叉指换能器（2）的材料为铝、铜、钛、铬、银和镍中的一种或多种组合。

8. 根据权利要求1~5中任一项所述的声表面波谐振器（100），其特征在于，所述压电基板（1）包括依次设置的支撑层（11）、介电层（12）和压电层（13），所述叉指换能器（2）设置在所述压电层（13）上。

9. 根据权利要求8所述的声表面波谐振器（100），其特征在于，所述支撑层（11）的材料为si、sic或蓝宝石；和/或

技术总结
本技术公开了一种声表面波谐振器，所述声表面波谐振器包括压电基板和设置在压电基板上的叉指换能器，叉指换能器包括第一叉指汇流条和第二叉指汇流条；第一叉指汇流条延伸出第一叉指电极和第一虚设电极，第二叉指汇流条延伸出第二叉指电极和第二虚设电极；其中，叉指电极区的宽度沿远离叉指换能器的对称轴线的方向逐渐减小；第一叉指电极的与对应的第二虚设电极相对的端面为第一倾斜面，第二叉指电极的与对应的第一虚设电极相对的端面为第二倾斜面，沿表面声波传播方向，同一方向上，各第一倾斜面和/或第二倾斜面的倾斜角度一致，且位于同一倾斜平面上。本技术实施例的声表面波谐振器可以有效抑制横向谐振模。

技术研发人员：张树民,请求不公布姓名
受保护的技术使用者：杭州左蓝微电子技术有限公司
技术研发日：20230426
技术公布日：2024/1/14