一种能实现四点压膜的真空压膜结构的制作方法

本技术属于压膜设备领域，具体涉及到一种能实现四点压膜的真空压膜结构。

背景技术：

1、线路板/半导体/面板等产品一般会贴附有感光干膜、abf、rcc、铜箔、铝箔、锡箔等膜材或其类似的膜材。基板和膜材之间需要进行真空压膜工序，才能将膜材与基板进行固定连接，其中基板，尤其是表面凹凸状的基板需要在真空腔体内进行均匀的加热压合，使膜材均匀的、无气泡的敷贴在基板上；

2、目前市场上的真空压膜结构和压膜方式主要存在以下问题：真空压膜动作执行合拢和压膜两套动作时只有一个动力进行，容易导致压力分散和受力不均匀，影响压膜效果，且为单个区域压膜，容易引起区域受力不均匀，无法保证整个压膜平面的压膜均匀度，大大影响压膜效果。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于克服上述现有技术的不足，提供了一种能实现四点压膜的真空压膜结构。

2、本实用新型是这样实现的：一种能实现四点压膜的真空压膜结构，包括依次设置的上动板和下基础板，所述上动板上设有上真空框，所述下基础板上设有下真空框，所述上真空框和所述下真空框组合成真空腔体，所述上真空框内设有上加热组件，所述下真空框内设有下加热组件，膜材和基板放置于所述上加热组件和下加热组件之间，所述上动板上至少设有四个加压油缸，每一所述加压油缸的输出轴穿过所述上动板与所述上加热组件连接，所述下基础板的下方设有若干驱动油缸，每一所述驱动油缸的输出轴穿过所述下基础板与所述上动板连接。

3、进一步的，所述加压油缸设有四个，且四个所述加压油缸呈方形排布设于所述上动板上。

4、进一步的，所述上加热组件和所述下加热组件的结构相一致，均包括隔热垫、加热板、缓冲垫和充气膨胀装置，每一所述加压油缸的输出轴穿过所述上加热组件中的所述隔热垫与所述加热板连接。

5、进一步的，所述充气膨胀装置为硅胶垫或气囊中的其中一种。

6、进一步的，所述上加热组件和所述下加热组件均设有热电偶组件，所述热电偶组件包括固定于所述上动板/下基础板上的底座，固定于所述加热板上的压盖，设于所述底座和所述压盖之间的弹簧座，所述弹簧座内设有压缩弹簧，所述压缩弹簧上设有此意穿过所述加热板、所述缓冲垫和所述充气膨胀装置的温度传感器。

7、进一步的，所述弹簧座内还设有导向块，所述压缩弹簧穿过所述导向块与所述压缩弹簧连接。

8、进一步的，每一所述加压气缸上还设有检测所述加压气缸移动的距离和位置的位移传感器。

9、本实用新型提供的一种能实现四点压膜的真空压膜结构，由驱动气缸驱动上动板移动以使得上真空框个下真空框的合拢，再由加压气缸驱动上加热组件的移动以实现与下加热组件的紧密压紧，使得膜材和基板有效压合，两套施压装置可以避免压力分散，保证各分运动的施加压力有效和准确，以确保合拢和压合运动的执行度，可以更好的保证区域受力均匀和压膜效果。

技术特征：

1.一种能实现四点压膜的真空压膜结构，其特征在于：包括依次设置的上动板(1)和下基础板(2)，所述上动板(1)上设有上真空框(3)，所述下基础板(2)上设有下真空框(4)，所述上真空框(3)和所述下真空框(4)组合成真空腔体，所述上真空框(3)内设有上加热组件(5)，所述下真空框(4)内设有下加热组件(6)，膜材和基板放置于所述上加热组件(5)和下加热组件(6)之间，所述上动板(1)上至少设有四个加压油缸(7)，每一所述加压油缸(7)的输出轴穿过所述上动板(1)与所述上加热组件(5)连接，所述下基础板(2)的下方设有若干驱动油缸(8)，每一所述驱动油缸(8)的输出轴穿过所述下基础板(2)与所述上动板(1)连接。

2.根据权利要求1所述的一种能实现四点压膜的真空压膜结构，其特征在于：所述加压油缸(7)设有四个，且四个所述加压油缸(7)呈方形排布设于所述上动板(1)上。

3.根据权利要求2所述的一种能实现四点压膜的真空压膜结构，其特征在于：所述上加热组件(5)和所述下加热组件(6)的结构相一致，均包括隔热垫(51)、加热板(52)、缓冲垫(53)和充气膨胀装置(54)，每一所述加压油缸(7)的输出轴穿过所述上加热组件(5)中的所述隔热垫(51)与所述加热板(52)连接。

4.根据权利要求3所述的一种能实现四点压膜的真空压膜结构，其特征在于：所述充气膨胀装置(54)为硅胶垫或气囊中的其中一种。

5.根据权利要求3所述的一种能实现四点压膜的真空压膜结构，其特征在于：所述上加热组件(5)和所述下加热组件(6)均设有热电偶组件(9)，所述热电偶组件(9)包括固定于所述上动板(1)/下基础板(2)上的底座(91)，固定于所述加热板(52)上的压盖(92)，设于所述底座(91)和所述压盖(92)之间的弹簧座(93)，所述弹簧座(93)内设有压缩弹簧(94)，所述压缩弹簧(94)上设有此意穿过所述加热板(52)、所述缓冲垫(53)和所述充气膨胀装置(54)的温度传感器(95)。

6.根据权利要求5所述的一种能实现四点压膜的真空压膜结构，其特征在于：所述弹簧座(93)内还设有导向块(96)，所述压缩弹簧(94)穿过所述导向块(96)与所述压缩弹簧(94)连接。

7.根据权利要求2所述的一种能实现四点压膜的真空压膜结构，其特征在于：每一所述加压油缸上还设有检测所述加压油缸移动的距离和位置的位移传感器(10)。

技术总结
本技术适用于压膜设备领域，提供了一种能实现四点压膜的真空压膜结构，包括上动板和下基础板，上动板设有上真空框，下基础板设有下真空框，上真空框和下真空框组合成真空腔体，上真空框内设有上加热组件，下真空框内设有下加热组件，上动板设有四个加压油缸，每一加压油缸的输出轴穿过上动板与上加热组件连接，下基础板的下方设有驱动油缸，每一驱动油缸的输出轴与上动板连接；由驱动气缸驱动上动板使得上真空框个下真空框的合拢，再由加压气缸驱动上加热组件以实现与下加热组件的紧密压紧，使得膜材和基板有效压合，两套施压装置可以避免压力分散，保证各分运动的施加压力有效和准确，可以更好的保证区域受力均匀和压膜效果。

技术研发人员：王加林,罗浩
受保护的技术使用者：有为半导体技术（广东）有限公司
技术研发日：20230530
技术公布日：2024/1/15