一种体声波谐振器和滤波器的制作方法

本申请涉及谐振器，具体而言，涉及一种体声波谐振器和滤波器。

背景技术：

1、目前的滤波器主要由薄膜体声波谐振器(fbar)或声表面波谐振器(saw)组成的。高性能滤波器是以高性能谐振器为基础的，而高性能谐振器的一个重要的特点是具有高品质因子，高品质因子能让滤波器具有更小的插入损耗和更陡峭的滚降特性，从而拥有更优越的滤波性能。

2、目前提升体声波谐振器品质因子的方法需要借助上电极在非工作区域的部分形成悬空结构，该悬空结构工艺难度大，且容易塌陷或碎裂，影响上电极内电流的流通。

技术实现思路

1、本申请的目的在于，针对上述现有技术中的不足，提供一种体声波谐振器和滤波器。

2、为实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案如下：

3、本申请实施例的一方面，提供一种体声波谐振器，包括基底，以及依次层叠于基底上的第一电极、压电层和第二电极，第一电极、压电层和第二电极具有沿层叠方向的交叠区域，在交叠区域外还设置有位于压电层的第一横向声反射结构，第一横向声反射结构包括沿远离交叠区域排布的多个第一凸部，相邻两个第一凸部之间具有间隙。

4、可选的，第一凸部为凸条，凸条沿交叠区域的周长延伸。

5、可选的，第一凸部包括多个子凸柱，多个子凸柱沿交叠区域的周长排布，或者，第一凸部包括沿基底厚度方向层叠的多个子层，相邻两个子层叠合。

6、可选的，第一横向声反射结构包括在压电层上开设的多个声学孔，多个声学孔位于交叠区域外且沿远离交叠区域的方向排布，相邻两个声学孔间隔设置。

7、可选的，声学孔贯穿压电层，或，声学孔依次贯穿压电层和第一电极。

8、可选的，声学孔为长条孔，长条孔沿交叠区域的周长延伸；或，声学孔包括多个子孔，多个子孔沿交叠区域的周长排布。

9、可选的，第二电极包括位于交叠区域内的上电极部和位于交叠区域外的上电极引出部，上电极部和上电极引出部连接，上电极引出部具有第二横向声反射结构。

10、可选的，第二横向声反射结构包括沿远离交叠区域排布的多个第二凸部，相邻两个第二凸部之间具有间隙。

11、可选的，在压电层上设置有第一信号端，上电极引出部还具有连接第一信号端和上电极部的连接部，连接部与多个第二凸部连接。

12、本申请实施例的另一方面，还提供一种滤波器，包括上述任一种的体声波谐振器。

13、本申请的有益效果包括：

14、本申请提供了一种体声波谐振器和滤波器，包括基底，以及依次层叠于基底上的第一电极、压电层和第二电极，第一电极、压电层和第二电极具有沿层叠方向的交叠区域，在交叠区域外还设置有位于压电层的第一横向声反射结构，通过第一横向声反射结构能够对交叠区域内的横向声波进行反射，以便于使得能量集中于交叠区域内，从而提高体声波谐振器的品质因子。由于第一横向声反射结构与第二电极相对独立，因此，可以避免利用第二电极构成悬空结构，可以有效避免对第二电极产生影响。由于第一横向声反射结构在远离交叠区域的方向依次形成多个声阻抗不匹配的界面，进而对声波进行多次反射，有助于进一步的降低能量的泄露，提高体声波谐振器的品质因子。

技术特征：

1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括基底，以及依次层叠于所述基底上的第一电极、压电层和第二电极，所述第一电极、所述压电层和所述第二电极具有沿层叠方向的交叠区域，在所述交叠区域外还设置有位于所述压电层的第一横向声反射结构，所述第一横向声反射结构包括沿远离所述交叠区域排布的多个第一凸部，相邻两个所述第一凸部之间具有间隙。

2.如权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第一凸部为凸条，所述凸条沿所述交叠区域的周长延伸。

3.如权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第一凸部包括多个子凸柱，所述多个子凸柱沿所述交叠区域的周长排布，或者，所述第一凸部包括沿所述基底厚度方向层叠的多个子层，相邻两个所述子层叠合。

4.如权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第一横向声反射结构还包括在所述压电层上开设的多个声学孔，所述多个声学孔位于所述交叠区域外且沿远离所述交叠区域的方向排布，相邻两个所述声学孔间隔设置。

5.如权利要求4所述的体声波谐振器，其特征在于，所述声学孔贯穿所述压电层，或，所述声学孔依次贯穿所述压电层和所述第一电极。

6.如权利要求4所述的体声波谐振器，其特征在于，所述声学孔为长条孔，所述长条孔沿所述交叠区域的周长延伸；或，所述声学孔包括多个子孔，所述多个子孔沿所述交叠区域的周长排布。

7.如权利要求1至6任一项所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第二电极包括位于所述交叠区域内的上电极部和位于所述交叠区域外的上电极引出部，所述上电极部和所述上电极引出部连接，所述上电极引出部具有第二横向声反射结构。

8.如权利要求7所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第二横向声反射结构包括沿远离所述交叠区域排布的多个第二凸部，相邻两个所述第二凸部之间具有间隙。

9.如权利要求8所述的体声波谐振器，其特征在于，在所述压电层上设置有第一信号端，所述上电极引出部还具有连接所述第一信号端和所述上电极部的连接部，所述连接部与所述多个第二凸部连接。

10.一种滤波器，其特征在于，包括如权利要求1至9中任一项所述的体声波谐振器。

技术总结
本申请提供一种体声波谐振器和滤波器，涉及谐振器技术领域，包括基底，以及依次层叠于基底上的第一电极、压电层和第二电极，第一电极、压电层和第二电极具有沿层叠方向的交叠区域，在交叠区域外还设置有位于压电层的第一横向声反射结构，通过第一横向声反射结构能够对交叠区域内的横向声波进行反射，以便于使得能量集中于交叠区域内，从而提高体声波谐振器的品质因子。由于第一横向声反射结构与第二电极相对独立，因此，可以避免利用第二电极构成悬空结构，可以有效避免对第二电极产生影响。由于第一横向声反射结构在远离交叠区域的方向依次形成多个声阻抗不匹配的界面，进而对声波进行多次反射，有助于提高体声波谐振器的品质因子。

技术研发人员：童欣,蔡耀,孙博文,林炳辉,孙成亮,皮本松,刘文娟,王健
受保护的技术使用者：武汉敏声新技术有限公司
技术研发日：20230627
技术公布日：2024/2/1