声表面波器件、滤波器及射频前端模组的制作方法

本技术属于射频滤波，尤其涉及一种声表面波器件、滤波器及射频前端模组。

背景技术：

1、声表面波器件是一种利用材料的压电特性制作的元器件。声表面波器件的叉指换能器(叉指换能器)的制作方法通常采用剥离工艺(lift-off)，该方法先采用光刻工艺在晶片表面形成光刻胶图形，然后在光刻胶图形上镀一层或多层金属薄膜，最后通过去胶液溶解光刻胶并剥离掉不需要的图形形成叉指换能器电极。通常情况下，声表面波器件的反射栅电极也是采用如上的剥离工艺制作而成。

2、但是，反射栅通常为封闭式结构，去胶液(剥离液)难以进入反射栅内部，无法充分与光刻胶接触发生作用，因此，剥离工艺过程中经常出现光刻胶不能完全被剥离的问题，如图1所示，使得反射栅10a存在相邻的两根指条1a之间残留有光刻胶20a，进而导致反射栅20a失效。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种声表面波器件、滤波器及射频前端模组，旨在解决剥离反射栅上的光刻胶时，剥离液难以进入反射栅内部，进而导致程中经常出现光刻胶不能完全被剥离的问题。

2、为了解决上述问题，本实用新型实施例提供一种声表面波器件，包括叉指换能器以及设置在所述叉指换能器两端的反射栅；所述反射栅包括连接指以及多个指条；沿着所述反射栅和所述叉指换能器的排布方向，多个指条依次间隔排布；相邻两个所述指条通过一个所述连接指电连接；相邻两个所述指条以及连接所述相邻两个所述指条的连接指所构成的结构在所述指条的长度方向上具有至少一个开口。

3、可选的，所述连接指的数量为多个；沿着所述反射栅和所述叉指换能器的排布方向，多个所述连接指分为依次设置的至少一个连接组，一个所述连接组具有至少一个所述连接指，相邻两个所述连接组内的连接指在指条的长度方向上间隔设置。

4、可选的，在所述指条的长度方向上，所述指条具有相背设置的第一端和第二端；一个所述连接组中的各连接指均连接所述指条的第一端，或者均连接所述指条的第二端。

5、可选的，所述多个连接组中的各连接组内的连接指的数量不同，或者所述多个连接组中的至少存在两个连接组的连接指的数量相同。

6、可选的，在所述指条的长度方向上，所述指条具有相背设置的第一端和第二端；所述多个连接组中的至少一个连接组的连接指与所述第一端之间存在第一距离，且所述至少一个连接组的连接指与所述第二端之间存在第二距离。

7、可选的，所述叉指换能器包括边缘区域，所述至少一个连接组的连接指与所述边缘区域相对。

8、可选的，至少一个相邻的两个所述指条之间设置有连接结构，所述连接结构与相邻两个所述指条中的一个指条连接，并与另一个指条间隔设置；其中，在所述至少一个相邻的两个指条之间的连接结构和连接指之间存在间隔。

9、可选的，至少一个相邻两个所述指条之间设置的连接结构的数量为多个，设置在至少一个相邻两个所述指条的不同指条上的任意两个连接指不连接。

10、可选的，所述至少一个相邻两个所述指条之间设置的连接结构设置在任意指条的一端，和/或，所述至少一个相邻两个所述指条之间设置的连接结构与所述至少一个相邻两个所述指条的两端均存在间隔。

11、为了解决上述问题，本实用新型实施例还提供一种滤波器，包括权上述任意一项所述的声表面波器件。

12、为了解决上述问题，本实用新型实施例还提供一种射频前端模组，包括权上述的滤波器。

13、在本实用新型实施例提供的声表面波器件、滤波器及射频前端模组中，邻两个指条以及连接相邻两个指条的连接指所构成的结构在指条的长度方向上具有至少一个开口，去胶液能够从该开口处进入相邻两个指条之间(即进入反射栅的内部)，使去胶液能迅速有效地溶解相邻两个指条之间的光刻胶，进而可以使光刻胶被完全剥离，这样也可以同时剥离掉不需要的图形，最终得到需要的反射栅，以此保证反射栅的可靠性。

技术特征：

1.一种声表面波器件，其特征在于，包括叉指换能器以及设置在所述叉指换能器两端的反射栅；

2.根据权利要求1所述的声表面波器件，其特征在于，所述连接指的数量为多个；

3.根据权利要求2所述的声表面波器件，其特征在于，在所述指条的长度方向上，所述指条具有相背设置的第一端和第二端；

4.根据权利要求2或3所述的声表面波器件，其特征在于，所述多个连接组中的各连接组内的连接指的数量不同，或者所述多个连接组中的至少存在两个连接组的连接指的数量相同。

5.根据权利要求2所述的声表面波器件，其特征在于，在所述指条的长度方向上，所述指条具有相背设置的第一端和第二端；

6.根据权利要求5所述的声表面波器件，其特征在于，所述叉指换能器包括边缘区域，所述至少一个连接组的连接指与所述边缘区域相对。

7.根据权利要求1所述的声表面波器件，其特征在于，至少一个相邻的两个所述指条之间设置有连接结构，所述连接结构与相邻两个所述指条中的一个指条连接，并与另一个指条间隔设置；其中，在所述至少一个相邻的两个指条之间的连接结构和连接指之间存在间隔。

8.根据权利要求7所述的声表面波器件，其特征在于，至少一个相邻两个所述指条之间设置的连接结构的数量为多个，设置在至少一个相邻两个所述指条的不同指条上的任意两个连接指不连接。

9.根据权利要求7或8所述的声表面波器件，其特征在于，所述至少一个相邻两个所述指条之间设置的连接结构设置在任意指条的一端，和/或，所述至少一个相邻两个所述指条之间设置的连接结构与所述至少一个相邻两个所述指条的两端均存在间隔。

10.一种滤波器，其特征在于，包括权利要求1-9任意一项所述的声表面波器件。

11.一种射频前端模组，其特征在于，包括权利要求10所述的滤波器。

技术总结
本技术涉及一种声表面波器件、滤波器及射频前端模组，包括叉指换能器以及设置在所述叉指换能器两端的反射栅；所述反射栅包括连接指以及多个指条；沿着所述反射栅和所述叉指换能器的排布方向，多个指条依次间隔排布；相邻两个所述指条通过一个所述连接指电连接；相邻两个所述指条以及连接所述相邻两个所述指条的连接指所构成的结构在所述指条的长度方向上具有至少一个开口。在剥离工艺中，去胶液能够从该开口处进入相邻两个指条之间(即进入反射栅的内部)，使去胶液能迅速有效地溶解相邻两个指条之间的光刻胶，进而可以使光刻胶被完全剥离。这样也可以同时剥离掉不需要的图形，最终得到需要的反射栅。

技术研发人员：补强,曹家强,李阳,曾雲东,王华磊,倪建兴
受保护的技术使用者：锐石创芯（重庆）科技有限公司
技术研发日：20230705
技术公布日：2024/1/15