微通道液冷散热器的制作方法

本申请涉及散热器，特别涉及一种微通道液冷散热器。

背景技术：

1、随着电子产品的热流密度逐步增大，温度控制越来越困难，散热和温度控制技术已成为制约电子产品发展的关键性问题，如何利用现有成熟的散热技术控制电子器件的结温与温度均匀性则显得尤为重要。

2、在实现本发明的过程中，发明人发现现有技术中至少存在以下技术问题：

3、常规的平直通道设计，使得流体温度沿流动方向逐渐增大，因此热源面温度逐渐升高，温差较大。此外，电子产品的功能复合化导致单一芯片集成的热源越来越多、布局越来越复杂，控制同一热源不同区域的温度均匀性或者集成热源的不同热源的温度均匀性，从而实现算力最大化显得尤为重要。因此，如何对散热器进行合理的热设计实现高温度均匀性散热，仍面临巨大的挑战性。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请提出一种微通道液冷散热器，能够实现高温度均匀性散热。

2、为实现以上目的，本申请提供一种微通道液冷散热器，包括液冷板体，所述液冷板体内部形成供液态工质流动的腔体，所述腔体包括相互隔开的第一微通道区和第二微通道区，所述腔体内还设有连通腔，所述连通腔连通所述第一微通道区的微通道出口和所述第二微通道区的微通道入口，以使流出所述第一微通道区的液态工质经由所述连通腔进入所述第二微通道区。

3、在其中一实施例中，所述第一微通道区、所述连通腔和所述第二微通道区位于同一高度层上，且液态工质从所述第一微通道区的中间流入所述第一微通道区的各微通道中。

4、在其中一实施例中，所述连通腔从所述第一微通道区到所述第二微通道区的通道宽度逐渐减小。

5、在其中一实施例中，所述腔体还包括供液体工质进入所述第一微通道区的入口分流腔；沿所述液态工质流动方向，所述入口分流腔的入口段相对出口段在所述第一微通道区的宽度方向上逐渐扩大，所述入口分流腔的所述入口段相对所述出口段在垂直于所述第一微通道区的宽度方向上逐渐减小。

6、在其中一实施例中，所述入口分流腔的所述出口段从上方连通至所述第一微通道区的微通道中点处。

7、在其中一实施例中，所述第一微通道区在流动方向上设置连通通道，所述连通通道沿所述第一微通道区的宽度方向设置并将宽度方向上的各微通道连通。

8、在其中一实施例中，还包括入口接头、出口接头及液冷板体，所述入口接头与所述出口接头垂直设置于所述液冷板体的第一表面，所述液冷板体与所述第一表面相对的第二表面用于接触热源；所述入口接头中形成连通至所述腔体的入口通道，所述出口接头中形成连通至所述腔体的出口通道。

9、在其中一实施例中，所述腔体自液态工质的流动方向顺次包括入口分流腔、所述第一微通道区、所述连通腔、所述第二微通道区、出口汇流腔及出口缓冲腔；所述入口分流腔连通至所述入口通道，所述出口缓冲腔连通至所述出口通道。

10、在其中一实施例中，所述第一微通道区的宽度方向的两侧分别设有所述第二微通道区；每一所述第二微通道区的微通道出口连通至所述出口汇流腔，两所述出口汇流腔中的液态工质在所述出口缓冲腔中汇合。

11、在其中一实施例中，包括散热器盖板及散热器基板，所述散热器盖板与所述散热器基板连接成整体；

12、所述散热器盖板包括盖体，所述入口接头、所述出口接头设置在所述盖体的顶面；所述盖体的内部在上层分别形成所述入口分流腔、所述出口汇流腔及所述出口缓冲腔，盖体内部在下层形成底腔；

13、所述散热器基板包括底板、第一翅片组及第二翅片组，所述第一翅片组及所述第二翅片组形成在底板的上表面；

14、所述盖体的底面与所述底板的上表面装配，所述第一翅片组、所述第二翅片组嵌入所述底腔内，以使所述第一翅片组形成所述第一微通道区，所述第二翅片组形成所述第二微通道区，所述第一翅片组、所述第二翅片组旁形成所述连通腔。

15、本申请提供的微通道液冷散热器具有以下有益效果：本申请的微通道液冷散热器中，第一微通道区域和第二微通道区域可结合热源(集成多热源或热源不同区域发热量差异较大)的发热量分布特点设计，第一微通道区域用于优先冷却热功率和热流密度大的主热源或热源高发热区域，第二微通道区域用于冷却次热源或热源低发热区域，低温的液态工质先从第一微通道区进入冷却主热源或热源高发热区域，从而有效控制主热源和次热源、热源高发热区域和热源低发热区域的最高温度及温度均匀性，从而可实现芯片算力最大化。

技术特征：

1.一种微通道液冷散热器，其特征在于：包括液冷板体(130)，所述液冷板体(130)内部形成供液态工质流动的腔体，所述腔体包括相互隔开的第一微通道区(134)和第二微通道区(136)，所述腔体内还设有连通腔(135)，所述连通腔(135)连通所述第一微通道区(134)的微通道出口和所述第二微通道区(136)的微通道入口，以使流出所述第一微通道区(134)的液态工质经由所述连通腔(135)进入所述第二微通道区(136)。

2.如权利要求1所述的微通道液冷散热器，其特征在于：所述第一微通道区(134)、所述连通腔(135)和所述第二微通道区(136)位于同一高度层上，且液态工质从所述第一微通道区(134)的中间流入所述第一微通道区(134)的各微通道中。

3.如权利要求2所述的微通道液冷散热器，其特征在于：所述连通腔(135)从所述第一微通道区(134)到所述第二微通道区(136)的通道宽度逐渐减小。

4.如权利要求1所述的微通道液冷散热器，其特征在于：所述腔体还包括供液体工质进入所述第一微通道区(134)的入口分流腔(133)；沿所述液态工质流动方向，所述入口分流腔(133)的入口段相对出口段在所述第一微通道区(134)的宽度方向上逐渐扩大，所述入口分流腔(133)的所述入口段相对所述出口段在垂直于所述第一微通道区(134)的宽度方向上逐渐减小。

5.如权利要求4所述的微通道液冷散热器，其特征在于：所述入口分流腔(133)的所述出口段从上方连通至所述第一微通道区(134)的微通道中点处。

6.如权利要求1所述的微通道液冷散热器，其特征在于：所述第一微通道区(134)在流动方向上设置连通通道，所述连通通道沿所述第一微通道区(134)的宽度方向设置并将宽度方向上的各微通道连通。

7.如权利要求1所述的微通道液冷散热器，其特征在于：还包括入口接头(110)、出口接头(120)及液冷板体(130)，所述入口接头(110)与所述出口接头(120)垂直设置于所述液冷板体(130)的第一表面(131)，所述液冷板体(130)与所述第一表面(131)相对的第二表面(132)用于接触热源(900)；所述入口接头(110)中形成连通至所述腔体的入口通道(111)，所述出口接头(120)中形成连通至所述腔体的出口通道(121)。

8.如权利要求7所述的微通道液冷散热器，其特征在于：所述腔体自液态工质的流动方向顺次包括入口分流腔(133)、所述第一微通道区(134)、所述连通腔(135)、所述第二微通道区(136)、出口汇流腔(137)及出口缓冲腔(138)；所述入口分流腔(133)连通至所述入口通道(111)，所述出口缓冲腔(138)连通至所述出口通道(121)。

9.如权利要求8所述的微通道液冷散热器，其特征在于：所述第一微通道区(134)的宽度方向的两侧分别设有所述第二微通道区(136)；每一所述第二微通道区(136)的微通道出口连通至所述出口汇流腔(137)，两所述出口汇流腔(137)中的液态工质在所述出口缓冲腔(138)中汇合。

10.如权利要求8所述的微通道液冷散热器，其特征在于：包括散热器盖板(200)及散热器基板(300)，所述散热器盖板(200)与所述散热器基板(300)连接成整体；

技术总结
本申请提供一种微通道液冷散热器，包括液冷板体，所述液冷板体内部形成供液态工质流动的腔体，所述腔体包括相互隔开的第一微通道区和第二微通道区，所述腔体内还设有连通腔，所述连通腔连通所述第一微通道区的微通道出口和所述第二微通道区的微通道入口，以使流出所述第一微通道区的液态工质经由所述连通腔进入所述第二微通道区。本申请的微通道液冷散热器中，第一微通道区域和第二微通道区域可结合热源分布特点设计，第一微通道区域用于优先冷却主热源或热源高发热区域，第二微通道区域用于冷却次热源或热源低发热区域，从而有效控制主热源和次热源、源高发热区域和热源低发热区域的最高温度及温度均匀性，实现芯片算力最大化。

技术研发人员：杨玺,韦立川
受保护的技术使用者：深圳市英维克科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/12/17