一种IC载板生产加工用蚀刻装置的制作方法

本发明涉及半导体生产加工设备，具体为一种ic载板生产加工用蚀刻装置。

背景技术：

1、在ic载板生产加工的过程中，需要利用喷淋蚀刻设置被待蚀刻的ic载板进行非等向性刻蚀。现有的喷淋蚀刻设备包括有若干个滚轮组组成的输送带，输送带上方和下方均设置有向输送带上的载板喷淋蚀刻液的喷淋管，进行蚀刻时，若干个平面放置的载板依次经过喷淋管下方，对载板的上下面进行蚀刻。

2、但传统的喷淋蚀刻设备在使用的过程中，喷淋到载板上表面的蚀刻液在完成蚀刻后容易积累在蚀刻出的蚀刻槽内，该废弃蚀刻液的浓度低于喷淋管中的蚀刻液，堆积在蚀刻槽内形成水池效应，进而导致载板的蚀刻效率和质量下降，并且相邻的喷淋的蚀刻液有部分落到响铃的载板之间，直接落到下方的回收槽内，导致蚀刻液的浪费。

技术实现思路

1、针对背景技术中提出的现有喷淋蚀刻设备在使用过程中存在的不足，本发明提供了一种ic载板生产加工用蚀刻装置，具备避免水池效应、提高蚀刻质量和节省蚀刻液的优点，解决了上述背景技术中提出的技术问题。

2、本发明提供如下技术方案：一种ic载板生产加工用蚀刻装置，包括壳体，所述壳体的中心转动连接有花键轴，所述壳体的内侧转动设置有用于带动载板转动的固定板，所述固定板的数量设置为若干个且若干个固定板两两之间通过转轴转动连接有用于夹持载板的夹板,所述夹板用于夹持并带动载板翻转额定角度，所述花键轴的通过花键传动连接有传动轴，所述传动轴的外侧固定连接有用于带动固定板转动的一号传动杆；

3、所述壳体的内侧设置有用于喷淋刻蚀载板的内喷淋板，所述壳体的内侧设置有用于喷淋刻蚀载板的外喷淋板，所述壳体的内侧固定连接有用于调节载板离心面的齿环，所述夹板传动连接有与齿环配合的翻转齿轮，所述翻转齿轮与齿环配合传动带动夹板翻转额定角度。

4、优选的，所述花键轴包括连接部和花键部，所述传动轴与花键部滑动套接，所述花键部转动通过花键带动传动轴转动，所述三号齿轮和四号齿轮均设置为锥齿轮且相互啮合；

5、所述夹板的一侧通过转轴固定连接有三号齿轮，所述固定板的一侧转动连接有与三号齿轮适配的四号齿轮，所述四号齿轮的底端固定连接有传动杆，所述传动杆的底端与翻转齿轮固定连接，夹板翻转的角度为180°。

6、优选的，所述内喷淋板的内侧固定连接有连接板，所述连接板与花键轴传动连接，所述内喷淋板的顶部固定连接有若干个二号传动杆，所述二号传动杆的一端与外喷淋板固定连接。

7、优选的，所述传动杆的底部半径增大且开设有限位槽，所述限位槽的数量设置为两个且两个限位槽关于传动杆的轴线对称设置，所述固定板的内部滑动设置有与限位槽适配的磁杆，所述磁杆杆身的一端固定套接有挡块，所述磁杆的外侧活动套接有用于推动磁杆嵌入于限位槽内的弹簧，所述齿环的顶部固定连接有与磁杆配合的磁板，所述磁板和磁杆之间的作用力为吸引力。

8、优选的，所述壳体内侧的顶部固定连接有上支撑杆，所述上支撑杆的中点处固定连接有连接块，所述连接块的内侧转动连接有用于连接旋转管道与固定的管道分流管；

9、所述分流管包括固定管和转动管，所述固定管和转动管之间转动连接，所述固定管和转动管均设置为内、外两层且对应的内、外层之间连通，所述转动管的内层通过二号管道与外喷淋板的喷嘴连通，所述转动管的外层通过一号管道与内喷淋板的喷嘴连通。

10、优选的，所述转动管的外侧固定套接有导电环，所述导电环的数量与载板的数量相适配，所述上支撑杆10的内部固定设置有与导电环适配的导电块，所述导电环设置有弧形缺口，所述导电环与对应载板的喷头中的电磁阀电性连接。

11、优选的，所述花键轴的底端传动连接有伺服电机，所述花键轴的底部设置有传动耦合器，所述花键轴的连接部与传动耦合器的一端轴体固定连接，所述伺服电机的输出端与传动耦合器的另一端轴体固定连接。

12、优选的，所述花键轴的连接部靠底端固定套接有二号齿轮，所述壳体内侧的靠底端处固定连接有下支撑杆，所述下支撑杆的一侧通过转轴转动连接有凸轮，所述凸轮的一侧通过转轴固定连接连一号齿轮；

13、所述一号齿轮与二号齿轮啮合，所述下支撑杆一侧靠顶部处滑动连接有用于调节传动轴高度的调节杆，所述调节杆的一端固定连接有支撑环，支撑环转动卡接与传动轴的外侧。

14、优选的，所述连接板与连接部的固定连接，所述一号传动杆与传动轴固定连接。

15、本发明具备以下有益效果：

16、1、本发明通过伺服电机带动花键轴转动，花键轴配合传动轴分别带动载板和载板两侧的喷淋板同步转动，在转动的过程中，喷淋板对于对应载板喷淋的角度固定，使载板在转动的过程中，载板的刻蚀面受到近似于垂直方向的离心力，使刻蚀槽内的已刻蚀的废弃刻蚀液离心甩出，在转动过程中，再配合翻转齿轮和齿环，传动带动夹板水平翻转载板的离心面，进一步排出蚀刻槽内的废弃蚀刻液以及使载板的离心面交替更换，在使喷淋的角度固定进而在保证喷淋面有效、均匀的同时，避面可能出现的水池效应，提高该刻蚀装置刻蚀ic载板的质量，并且喷淋的蚀刻液不会落到相邻载板的间隙处，避免蚀刻液的浪费。

17、2、本发明通过导电环与导电块的配合，使夹板在带动载板翻转时，导电块脱离与导电环的接触，使喷淋板上的喷嘴中电磁阀断开关闭，避免在载板翻转时进行喷淋，进一步避免的蚀刻液的浪费，同时利用一号齿轮配合二号齿轮和凸轮传动带动支撑环升降，进而在载板与对应的喷淋板同步转动过程中，使载板平滑升降，一方面使喷淋区域相对往复扫掠，提高喷淋的均匀性，进而保证蚀刻的质量，另一方面，使载板往复移动进一步排出蚀刻槽内可能的蚀刻液，配合载板的翻转，进一步增强排出蚀刻液的效果，提高该蚀刻装置蚀刻的质量。

技术特征：

1.一种ic载板生产加工用蚀刻装置，包括壳体（1），其特征在于：所述壳体（1）的中心转动连接有花键轴（23），所述壳体（1）的内侧转动设置有用于带动载板（6）转动的固定板（4），所述固定板（4）的数量设置为若干个且若干个固定板（4）两两之间通过转轴转动连接有用于夹持载板（6）的夹板（5）,所述夹板（5）用于夹持并带动载板（6）翻转额定角度，所述花键轴（23）的通过花键传动连接有传动轴（25），所述传动轴（25）的外侧固定连接有用于带动固定板（4）转动的一号传动杆（15）；

2.根据权利要求1所述的一种ic载板生产加工用蚀刻装置，其特征在于：所述花键轴（23）包括连接部（2301）和花键部（2302），所述传动轴（25）与花键部（2302）滑动套接，所述花键部（2302）转动通过花键带动传动轴（25）转动，所述三号齿轮（27）和四号齿轮（28）均设置为锥齿轮且相互啮合；

3.根据权利要求2所述的一种ic载板生产加工用蚀刻装置，其特征在于：所述内喷淋板（3）的内侧固定连接有连接板（13），所述连接板（13）与花键轴（23）传动连接，所述内喷淋板（3）的顶部固定连接有若干个二号传动杆（34），所述二号传动杆（34）的一端与外喷淋板（7）固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种ic载板生产加工用蚀刻装置，其特征在于：所述传动杆（29）的底部半径增大且开设有限位槽（33），所述限位槽（33）的数量设置为两个且两个限位槽（33）关于传动杆（29）的轴线对称设置，所述固定板（4）的内部滑动设置有与限位槽（33）适配的磁杆（32），所述磁杆（32）杆身的一端固定套接有挡块（36），所述磁杆（32）的外侧活动套接有用于推动磁杆（32）嵌入于限位槽（33）内的弹簧（31），所述齿环（11）的顶部固定连接有与磁杆（32）配合的磁板（30），所述磁板（30）和磁杆（32）之间的作用力为吸引力。

5.根据权利要求4所述的一种ic载板生产加工用蚀刻装置，其特征在于：所述壳体（1）内侧的顶部固定连接有上支撑杆（10），所述上支撑杆（10）的中点处固定连接有连接块（12），所述连接块（12）的内侧转动连接有用于连接旋转管道与固定的管道分流管（2）；

6.根据权利要求5所述的一种ic载板生产加工用蚀刻装置，其特征在于：所述转动管（202）的外侧固定套接有导电环（26），所述导电环（26）的数量与载板（6）的数量相适配，所述上支撑杆10的内部固定设置有与导电环（26）适配的导电块（35），所述导电环（26）设置有弧形缺口，所述导电环（26）与对应载板（6）的喷头中的电磁阀电性连接。

7.根据权利要求6所述的一种ic载板生产加工用蚀刻装置，其特征在于：所述花键轴（23）的底端传动连接有伺服电机（21），所述花键轴（23）的底部设置有传动耦合器（20），所述花键轴（23）的连接部（2301）与传动耦合器（20）的一端轴体固定连接，所述伺服电机（21）的输出端与传动耦合器（20）的另一端轴体固定连接。

8.根据权利要求2-7任一所述的一种ic载板生产加工用蚀刻装置，其特征在于：所述花键轴（23）的连接部（2301）靠底端固定套接有二号齿轮（22），所述壳体（1）内侧的靠底端处固定连接有下支撑杆（16），所述下支撑杆（16）的一侧通过转轴转动连接有凸轮（18），所述凸轮（18）的一侧通过转轴固定连接连一号齿轮（19）；

9.根据权利要求8所述的一种ic载板生产加工用蚀刻装置，其特征在于：所述连接板（13）与连接部（2301）的固定连接，所述一号传动杆（15）与传动轴（25）固定连接。

10.根据权利要求8所述的一种ic载板生产加工用蚀刻装置，其特征在于：所述连接板（13）与传动轴（25）固定连接，所述一号传动杆（15）与连接部（2301）固定连接。

技术总结
本发明涉及半导体生产加工设备技术领域，且公开了一种IC载板生产加工用蚀刻装置，包括壳体，所述壳体的中心转动连接有花键轴，所述壳体的内侧转动设置有用于带动载板转动的固定板，所述固定板的数量设置为若干个且若干个固定板两两之间通过转轴转动连接有用于夹持载板的夹板。本发明通过夹板带动载板绕着花键轴的轴线转动，使载板与内喷淋板和外喷淋板同步转动，在保证喷淋蚀刻液相对对应载板角度，保证蚀刻均匀性的同时，通过近似于垂直与蚀刻面的离心作用甩出蚀刻槽内经过蚀刻的废弃蚀刻液，并且通过载板的水平翻转进一步增强了排出废弃蚀刻液的效果，以及对载板离心面的交替更换，提高该蚀刻装置蚀刻的质量。

技术研发人员：庄欣岳,张晓峰,周灿彬
受保护的技术使用者：芯聚德科技（安徽）有限责任公司
技术研发日：
技术公布日：2025/1/13